【技术实现步骤摘要】
高稳定性ITO玻璃刻蚀系统
本专利技术涉及一种刻蚀系统,具体地涉及一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统。
技术介绍
目前,在平板显示行业大世代线体中,如3.5代线以上,ITO玻璃在清洗工艺制程中会经过刻蚀、高低压喷淋、液切、风切等制程。在这些制程中,为了保持基板行进的稳定性,必须在基板的上表面边缘5mm范围内使用压片滚轮压住玻璃基板,且这种压力必须均匀、稳定。在目前所知的所有清洗设备中,所有设备制造商均采用固定式的压片滚轮对基板进行压紧。这种滚轮在使用前必须根据基板的厚度调出合适的间隙,而且每次间隙调整均极其耗时,且调整完毕后,受机械振动,材料蠕变等因素影响,长时间使用依然会有卡片、碎片、打滑等风险。而且现有的ITO玻璃刻蚀系统均采用喷淋式的刻蚀方式,即在基板上方设置多组摇摆喷管,该种方式在使用传统刻蚀液时效果良好,而在使用活性较强的新式刻蚀液(如HCl)时,往往产生严重的刻蚀不均现象(原因)。因此有必要在此基础上开发出具有更高性能和更高稳定性的ITO玻璃刻蚀系统。
技术实现思路
本专利技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统。为达到上述目的,本专利技术所采用的技术方案为:一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统,它包括相连接的刻蚀组件和水洗组件,所述刻蚀组件和所述水洗组件安装有多个分离式传动组件,所述分离式传动组件包括安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件外的第一磁力轮、安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件内且与所述第一磁力轮相对应的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮以及用于带动所述第一磁力轮转动的传动机构。优 ...
【技术保护点】
一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统,它包括相连接的刻蚀组件(1)和水洗组件(2),其特征在于:所述刻蚀组件(1)和所述水洗组件(2)安装有多个分离式传动组件(4),所述分离式传动组件(4)包括安装在所述刻蚀组件(1)或所述水洗组件(2)外的第一磁力轮(421)、安装在所述刻蚀组件(1)或所述水洗组件(2)内且与所述第一磁力轮(421)相对应的第二磁力轮(422)、端部与所述第二磁力轮(422)相连接的滚轴(43)以及安装在所述滚轴(43)上且间隔设置的滚轮(44)以及用于带动所述第一磁力轮(421)转动的传动机构(41)。
【技术特征摘要】
1.一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统,它包括相连接的刻蚀组件(1)和水洗组件(2),其特征在于:所述刻蚀组件(1)和所述水洗组件(2)安装有多个分离式传动组件(4),所述分离式传动组件(4)包括安装在所述刻蚀组件(1)或所述水洗组件(2)外的第一磁力轮(421)、安装在所述刻蚀组件(1)或所述水洗组件(2)内且与所述第一磁力轮(421)相对应的第二磁力轮(422)、端部与所述第二磁力轮(422)相连接的滚轴(43)以及安装在所述滚轴(43)上且间隔设置的滚轮(44)以及用于带动所述第一磁力轮(421)转动的传动机构(41);所述水洗组件(2)设置于所述刻蚀组件(1)的下方,包括依次相连接的多个大流量水洗单元(21)和风干单元(22);所述刻蚀组件(1)通过安装在其端部的升降组件(3)与所述水洗组件(2)相连接;所述刻蚀组件(1)和所述水洗组件(2)内安装有设置在所述分离式传动组件(4)上方且与其相配合的多个间隙自适应压片滚轮(5),所述间隙自适应压片滚轮(5)包括:滚轮外套(51),所述滚轮外套(51)内圈设置有间隔的多个凸起(511);卡套(52),所述卡套(52)设置有与所述凸起(511)相配合的多个卡齿(521),它通过所述卡齿(521)卡合于所述滚轮外套(51)的一侧;支撑件(54),所述支撑件(54)包括设置于所述滚轮外套(51)另一侧的第一柱体(541)以及与所述第一柱体(541)侧面相连接且插入所述滚轮外套(51)和所述卡套(52)的第二柱体(543),所述第一柱体(541)的直径大于所述凸起(511)内端形成的圆形直径;弹性件(53),所述弹性件(53)放置在被所述支撑件(54)和所述卡套(52)围住的所述凸起(511)之间,所述弹性件(53)向所述滚轮外套(51)中心轴的方向延伸。2.根据权利要求1所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统,其特征在于:所述刻蚀组件(1)包括依次相连接的预处理单元(11)、刻蚀单元(12)和水洗单元(13),所述预处理单元(11)包括分别安装于其两端部的第一离子泵(113)、安装在所述第一离子泵(113)之间的紫外灯(111)以及用于向其内导入氧气的氧气阀(112),所述刻蚀单元(12)包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第一喷淋管(121)、设置于其内部并位于所述第一喷淋管(121)上游的第一液刀(122)以及设置于其内部并位于所述第一喷淋管(121)下游的一组第一风刀(123)以及用于收集刻蚀液并将所述刻蚀液导入所述第一喷淋管(121)和所述第一液刀(122)中的循环机构(124),所述水洗单元(13)包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第二喷淋管(131)、设置于其内部并位于所述第二喷淋管(131)上游的第二液刀(132)以及设置于其内部并位...
【专利技术属性】
技术研发人员:施利君,徐鸽,
申请(专利权)人:苏州晶洲装备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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