集成电路标准样片特性参量测量装置及方法制造方法及图纸

一种集成电路标准样片特性参量测量装置，包括：管脚划分单元，用于将标准样片的管脚划分为控制管脚和测量管脚；信号划分单元，用于将管脚信号划分为测量信号与控制信号；测量回路建立单元，用于控制外接仪表产生测量信号，通过特性参量测量板将测量信号分配到标准样片的特性参量测量管脚上形成标准样片独立的测量回路；工作回路建立单元，用于通过集成电路测试系统产生控制信号，并通过特性参量测量板将控制信号分配到标准样片的控制管脚上形成标准样片的工作回路；测量结果获取单元，用于通过使得标准样片在控制信号和测量信号的共同作用下工作，控制外接仪表对标准样片反馈的测量信号进行测定得到特性参量的测量结果。

【技术实现步骤摘要】
集成电路标准样片特性参量测量装置及方法
本专利技术涉及微电子测试与计量
，特别涉及一种集成电路标准样片特性参量测量装置及方法。
技术介绍
集成电路标准样片(简称标准样片)是已确定一种或多种特性参量的专用集成电路，主要用于集成电路测试系统的校准、实验室比对等。通过对标准样片的特性参量进行测量从而得出标准样片的定值结果，只有经过严格定值的标准样片才具有可溯源性，从而具备校准集成电路测试系统的能力。目前对标准样片特性参量的测量需要部分或完全的借助集成电路测试系统构成标准样片的测量回路。由于集成电路测试系统的量值准确度水平大体相当，通过现有的测量方法无法使标准样片具备优于集成电路测试系统的准确度水平，因此现有的测量方法限制了标准样片的使用范围，使标准样片仅能用于量值比对而无法完成量值传递/溯源。
技术实现思路
为了解决现有的标准样片特性参量测量结果无法使得标准样片具备优于集成电路测试系统的准确度水平，限制了标准样片的使用范围，使标准样片仅能用于量值比对而无法完成量值传递/溯源的缺点，提出一种集成电路标准样片特性参量测量装置及方法，本专利技术通过将标准样片的测量回路与工作回路区分开，在保证测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路标准样片特性参量测量装置，其特征在于，其包括如下单元：管脚划分单元，用于将标准样片的管脚划分为特性参量测量管脚与控制管脚，将特性参量所在的管脚均作为特性参量测量管脚，将余下管脚均作为控制管脚；信号划分单元，用于以管脚划分单元中对管脚的划分为依据，对应的将管脚信号划分为测量信号与控制信号；其中，测量信号用以形成标准样片的测量回路；控制信号用以形成标准样片的工作回路；测量回路建立单元，用于建立外接仪表、标准样片、集成电路测试系统分别与特性参量测量板的电连接，控制外接仪表产生测量信号，通过特性参量测量板将测量信号分配到标准样片的特性参量测量管脚上形成标准样片独立的测量回路；工作回路建立单...

【技术特征摘要】
1.一种集成电路标准样片特性参量测量装置，其特征在于，其包括如下单元：管脚划分单元，用于将标准样片的管脚划分为特性参量测量管脚与控制管脚，将特性参量所在的管脚均作为特性参量测量管脚，将余下管脚均作为控制管脚；信号划分单元，用于以管脚划分单元中对管脚的划分为依据，对应的将管脚信号划分为测量信号与控制信号；其中，测量信号用以形成标准样片的测量回路；控制信号用以形成标准样片的工作回路；测量回路建立单元，用于建立外接仪表、标准样片、集成电路测试系统分别与特性参量测量板的电连接，控制外接仪表产生测量信号，通过特性参量测量板将测量信号分配到标准样片的特性参量测量管脚上形成标准样片独立的测量回路；工作回路建立单元，用于通过集成电路测试系统产生控制信号，并通过特性参量测量板将控制信号分配到标准样片的控制管脚上形成标准样片的工作回路；测量结果获取单元，用于通过使得标准样片在控制信号和测量信号的共同作用下工作，控制外接仪表对标准样片反馈的测量信号进行测定得到特性参量的测量结果。2.如权利要求1所述的集成电路标准样片特性参量测量装置，其特征在于，所述测量回路建立单元中所述外接仪表包括数字多用表、电压电流源、矩阵开关；矩阵开关分别与数字多用表、电压电流源以及特性参量测量板电连接。3.如权利要求2所述的集成电路标准样片特性参量测量装置，其特征在于：数字多用表的分辨率大于等于六位半；电压电流源输出直流电压、直流电流的噪声值小于输出信号值的万分之一；矩阵开关为低热电动势的矩阵开关，矩阵开关的热电动势小于10μV，矩阵规模大于6×20。4.如权利要求3所述的集成电路标准样片特性参量测量装置，其特征在于，所述测量结果获取单元中标准样片在控制信号和测量信号的共同作用下工作，标准样片的测量管脚产生特性参量，数字多用表通过特性参量测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：李轩冕，胡勇，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七零九研究所，
类型：发明
国别省市：湖北;42