一种MO源瓶制造技术

一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于：所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。本实用新型专利技术通过质量测量装置测量MO源消耗量，控制装置通过MO源消耗量调控起振装置起振，从而改善固态MO源在使用过程中产生的“沟流或扬起现象”。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体外延
，尤其涉及一种改善固态源使用效率的MO源瓶。
技术介绍
氮化镓(GaN)基发光二极管(英文为Light Emiss1n D1des，简称LED)因其高亮度、低能耗、寿命长等优点，在照明、交通信号灯、显示屏、背光源等领域得到广阔应用，LED白光照明产品将逐渐取代白炽灯，成为21世纪的绿色能源。LED外延结构生长时，需采用MO源进行晶体成长，目前常用的MO源包括三甲基铟(TMIn)和二茂镁(Cp2Mg),两者在常温下均以固态形式存在，固态MO源在使用后期容易出现“沟流现象”，即通入的载气(H2/N2)优先选择已形成的“沟流”进出，导致部分固态MO源结晶而不能有效利用(例如TMIn);或密度较低的固态源会因气体灌入而“扬起”，进而黏附于MO源瓶侧壁而不回落至钢瓶底部，降低其有效利用(例如Cp2Mg)。尤其是近些年大瓶装MO源的使用，提高固态源的使用效率是目前各LED厂家研宄的重点。中国专利CN102330071A提出一种串联提高固态源使用效率的方法，其将相同型号相同规格的两瓶MO源串联以同时使用，通过载气的运输将MO源从前一个MO源瓶运送到后一个 MO 源瓶后再输送到 MOCVD (英文为 Metal-organic Chemical Vapor Deposit1n,简称MOCVD)反应腔室。上述的串联MO源结构简单，提高了固态源的使用效率。但是，此方法不能解决固态源在使用后期出现的沟流现象，且由于两瓶串联使用，两瓶MO源同时消耗，技术人员无法精确判断每瓶固态源的剩余量，增加了更换MO源周期判断的困难。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于:所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。优选的，所述第一容器为带有密封盖的密封性容器，所述密封盖上部设有进气管和出气管，以及分别位于进气管和出气管上的手动阀和流量计。优选的，所述第二容器外部还具有位于不同侧的液体进、出口，用于连接液体进、出管路。优选的，所述液体进、出管路与一恒温槽连接，所述恒温槽内盛装有供第二容器使用的液态物质，以稳定所述第二容器内腔室温度。优选的，所述第二容器内壁置有一保温层，用于保持液态水温度的稳定性。优选的，所述第二容器下方安装有便于移动第二容器的多个滑动结构。优选的，所述滑动结构的个数大于或等于3。优选的，所述起振装置置于所述第二容器的底部或内侧壁上。优选的，所述MO源瓶还括与所述控制装置连接的报警装置。本技术至少具有以下有益效果:1.控制装置分别调控质量测量装置和起振装置，记录MO源质量，起振装置发出周期性超声波对第一容器产生震荡作用，进而改善第一容器内固态源使用过程中产生的沟流或扬起现象，提高固态源利用效率；2.增设用于提示MO源消耗量的报警装置，对人员起到提醒作用；3.第二容器底部安装滑动结构，节省搬运过程中所需人力，提高人员工作效率。【附图说明】附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。图1为本技术实施例1之MO源瓶剖视图。图2为本技术实施例2之MO源瓶部分结构剖视图。图3为本技术实施例3之MO源瓶部分结构剖视图。附图标注:1:第一容器；11:进气管；111:第一手动阀；112:第一流量计；12:出气管；121:第二手动阀；122:第二流量计；13:密封盖；2:第二容器；21:保温层；22:进水管；23:出水管；24:进口；25:出口 ；3:控制装置；31:起振装置；32:质量测量装置；33:报警装置；4:液态物质；5:固态MO源；6:保护盖；7:恒温槽；8:滑动结构；81:滚轮；82:固定件。【具体实施方式】现在结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细的说明。实施例1参看附图1，一种MO源瓶，包括用于盛放固态MO源的第一容器1、盛放液态物质4的第二容器2、起振装置31、质量测量装置32和控制装置3。其中，第一容器I放置于所述第二容器2内，共用一个封面，封面为大小与第二容器端面相同的保护盖6，本实施例中，液体物质4优选水，第一容器I为带有密封盖13的密封容器，密封盖13上设有进气管11和出气管12，进气管11和出气管12上分别设置有手动阀和流量计，手动阀包括分别与进气管11和出气管12对应的第一手动阀111和第二手动阀121，流量计包括分别与进气管11和出气管12对应的第一流量计112和第二流量计122 ;第二容器2外部还具有位于不同侧的液体进口 24和出口 25，用于连接液体进、出管路，即进水管22和出水管23，进水管22和出水管23的一端分别连接第二容器2外部的液体进口 24和出口 25，另一端连接至恒温槽7内，恒温槽7为第二容器2提供循环液态物质4，用于稳定第二容器2内腔室温度；起振装置31位于第二容器2的底部或内侧壁上，质量测量装置32位于第二容器2的底部，第一容器I放置于质量测量装置32上，质量测量装置32用于测量第一容器I的质量。为了节省空间，控制装置3可设置于第二容器2的外壁上，并分别与起振装置31和质量测量装置32连接，用于调控其运转。第二容器2内壁上还设有保温层21，用于保持液态物质4的温度稳定。不同类型的固态MO源5的密度大小不同，例如三甲基铟(TMIn)质量密度较大，通常以密实结构沉积在第一容器I底部，在使用时容易形成“沟流现象”，针对该类型的固态MO源5，本实施例优选将起振装置31置于第二容器2底部，质量测量装置32则位于起振装置31上，位于第当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于：所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周圣伟，郭晃亨，张家宏，林兓兓，
申请(专利权)人：安徽三安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34