【技术实现步骤摘要】
一种磨片装置
本专利技术涉及一种磨片装置,尤其适用于如硅片、电池片等的薄片型样品。
技术介绍
目前,在光伏行业,为了对样品(如硅片、电池片等)进行检测,一般采用扫描电镜进行表面形貌观察和断口失效分析等作业。而在进行上述检测之前,一般需要对样品进行磨片作业,以将样片的需要观察分析处显露出来。现有技术中,一般采用普通的磨片机进行磨片作业,即用手拿住硅片(或电池片),对着砂轮进行磨片。但这种方式存在如下问题:(1)由于磨片时会产生大量热量,引起硅片发热,导致烫手无法拿捏;(2)用手对着砂轮进行磨片时,磨片角度单一,无法进行特殊角度的磨片作业,且磨片厚度不可控、硅片工作面不平。针对上述问题,现场操作人员采用了一些夹持用具,如夹子,虽然解决了上述第一个问题,但仍然无法解决第二个问题。此外,由于夹持用具夹持样片的力很难控制,且在磨片时,样品接触砂轮的力也很难控制,还会产生磨片碎裂的问题。因此,开发一种磨片装置,以实现任意角度的精确地磨片,且能有效防止磨片碎裂的问题,显然具有积极的现实意义。
技术实现思路
本专利技术的专利技术目的是提供一种磨片装置。为达到上述专利技术目的,本专利技 ...
【技术保护点】
一种磨片装置,包括机架和设于机架上的磨片机,其特征在于:还包括夹持机构(6),所述夹持机构包括可升降平台,可升降平台的表面固设有旋转轴台,且旋转轴台的旋转滑台的旋转面位于竖直平面内,使旋转滑台相对于可升降平台具有旋转自由度;所述旋转轴台的旋转滑台(12)上固设有连接板(13),连接板的一端固定连接于旋转滑台上,另一端固设有上下微调机构;所述上下微调机构包括固定板(14)、精密线型导轨(19)和锁紧块(20),所述固定板的一侧与所述连接板固定连接,固定板内设有精密线型导轨,并使精密线型导轨相对于固定板具有上下运动的自由度;精密线型导轨上固设有锁紧块;还包括样品台,样品台与所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种磨片装置,包括机架和设于机架上的磨片机,其特征在于:还包括夹持机构(6),所述夹持机构包括可升降平台,可升降平台的表面固设有旋转轴台,且旋转轴台的旋转滑台的旋转面位于竖直平面内,使旋转滑台相对于可升降平台具有旋转自由度;所述旋转轴台的旋转滑台(12)上固设有连接板(13),连接板的一端固定连接于旋转滑台上,另一端固设有上下微调机构;所述上下微调机构包括固定板(14)、精密线型导轨(19)和锁紧块(20),所述固定板的一侧与所述连接板固定连接,固定板内设有精密线型导轨,并使精密线型导轨相对于固定板具有上下运动的自由度;精密线型导轨上固设有锁紧块;还包括样品台,样品台与所述锁紧块构成可拆卸连接结构。2.根据权利要求1所述的磨片装置,其特征在于:所述样品台包括样片定位体(23)、样片压板(25),所述样片定位体上设有定位孔,定位孔内设有磁铁(24),所述样片压板上设有配合的导位柱(26),使样片压板磁性连接于样片定位体上;所述样片定位体上设有样片放置凹槽,样片压板上设有配合的压块;所述样片定位体上还设有至少2个导向...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙祥,王栩生,邢国强,
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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