本实用新型专利技术提供一种废气处理装置，至少包括文丘里管清洗器，所述文丘里管清洗器包括依次连接的入口圆筒腔、圆锥收缩腔、废气清洗腔；还包括与在圆锥收缩腔的头部相通的吸附腔，所述吸附腔连接溶剂槽；所述废气清洗腔的外壁设置冷凝器。本实用新型专利技术借助于燃烧处理后的废气作为文丘里管清洗器中压缩气体，不需要额外耗费气体压缩的能量，另外，利用文丘里管清洗器的吸附腔可以将溶剂吸入腔中形成微小液滴，节省动力。本实用新型专利技术的废气处理装置结构简单，不需要额外填充料，省去定期维护更换的成本。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体工艺
，涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种由文丘里管改进的节能废气处理装置。
技术介绍
在半导体生产工艺过程中，会产生大量有毒有害的气体副产物，如C4F6 (全氟丁二烯)和正硅酸乙酯(TEOS)，其中，TEOS的分子式为Si (OC2H5)4，为易燃液体，在高温下可产生爆炸性蒸汽。这些有毒有害气体不能直接排到大气当中，需要经过燃烧和溶剂吸收两道无害化处理，直到达到气体安全标准才能排到大气中。例如，对于副产物气体C4F6,需要先通入天然气(主要成分为C2H4)，利用电弧/加热使气体在高温下反应，形成hf/co2/h2o，然后溶于水中，形成酸性废液在处理，最后排出。用到的气废气处理装置如图1所示，该装置主要包括一废气燃烧反应室和一废气清洗室，废气经过废气燃烧反应室处理后进入废气清洗室中。废气清洗室壁上连接有一水槽，水槽中的溶剂水需要利用气泵将溶剂水抽到废气清洗室上方，并喷淋形成微小液滴，同时，在清洗室内需要充满填充料。以使气体尽可能多在清洗室室内停留，这些都是为了增加对废气的吸收几率，提高无害化处理的效率。但是，这种气体处理装置要用到气泵，需要消耗大量的外部能量，即电能，并且废气清洗室内还需要充满大量的填充料，这部分填充物质长期处于酸性废液中，会被腐蚀，需要定期维护更换，浪费人力物力，增加成本。因此，提供一种节能的废气处理装置实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种废气处理装置，用于解决现有技术中废气处理装置需要消耗高的外部能量导致成本增高的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种废气处理装置，所述废气处理装置至少包括文丘里管清洗器，所述文丘里管清洗器包括依次连接的入口圆筒腔、圆锥收缩腔、废气清洗腔；还包括与在圆锥收缩腔的头部相通的吸附腔，所述吸附腔连接溶剂槽；所述废气清洗腔的外壁设置冷凝器，所述废气清洗腔上还设置有气体排出口以及废液排出口。作为本技术废气处理装置的一种优化的结构，所述废气清洗腔包括扩张段和与扩张段连接的清洗段，所述冷凝器设置在所述清洗段的外壁。作为本技术废气处理装置的一种优化的结构，所述气体排出口设置在所述清洗段的头部。作为本技术废气处理装置的一种优化的结构，所述文丘里管清洗器由外壳包覆，所述吸附腔沿径向设置在与所述圆锥收缩腔的头部相通的外壳中。作为本技术废气处理装置的一种优化的结构，所述入口圆筒腔、圆锥收缩腔和废气清洗腔同轴设置。作为本技术废气处理装置的一种优化的结构，所述废气处理装置还包括与所述入口圆筒腔相连的废气燃烧反应室，所述废气燃烧反应室上设有废气输入口。作为本技术废气处理装置的一种优化的结构，所述溶剂槽为水槽。如上所述，本技术的废气处理装置，至少包括文丘里管清洗器，所述文丘里管清洗器包括依次连接的入口圆筒腔、圆锥收缩腔、废气清洗腔；还包括与在圆锥收缩腔的头部相通的吸附腔，所述吸附腔连接溶剂槽；所述废气清洗腔的外壁设置冷凝器。本技术借助于燃烧处理后的废气作为文丘里管清洗器中压缩气体，不需要额外耗费气体压缩的能量，另外，利用文丘里管清洗器的吸附腔可以将溶剂吸入腔中形成微小液滴，节省动力，并且本技术的废气处理装置结构简单，不需要额外填充料，省去定期维护更换的成本。【附图说明】图1为现有技术中的气体处理装置示意图。图2为现有技术中的文丘里管的结构示意图。图3为本技术的文丘里管清洗器结构示意图。图4为本技术的废气处理装置的结构示意图。元件标号说明100文丘里管清洗器101入口圆筒腔102圆锥收缩腔103废气清洗腔1031扩张段1032清洗段104吸附腔105溶剂槽106冷凝器107气体排出口108废液排出口109 外壳200废气燃烧反应室201废气输入口【具体实施方式】以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图2所示为现有的一种文丘里管(Venturi tube)，也称文氏管，文丘里效应的原理是当风吹过阻挡物时，在阻挡物的背风面上方端口附近气压相对较低，从而产生吸附作用并导致空气流动。它把气流由粗变细，以加快气体流速，使气体在文丘里管出口的后侧形成一个真空区，当这个真空区靠近工件时会对工件产生一定的吸附作用。文丘里管在工业上多用于空气过滤器。具体地，如图2的文丘里管空气过滤器当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置至少包括文丘里管清洗器，所述文丘里管清洗器包括依次连接的入口圆筒腔、圆锥收缩腔、废气清洗腔；还包括与在圆锥收缩腔的头部相通的吸附腔，所述吸附腔连接溶剂槽；所述废气清洗腔的外壁设置冷凝器，所述废气清洗腔上还设置有气体排出口以及废液排出口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄子伦，许清秀，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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