一种磁控溅射镀膜磁钢制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射镀膜磁钢，包括磁轭、安装在磁轭上的磁铁，磁铁包括第一S极部、与第一S极部呈并排设置的第二S极部、位于第一S极部和第二S极部之间的N极部；第一S极部和第二S极部为相同的结构，其均包括S极本体、位于S极本体两端的缩小段，缩小段包括与S极本体相连接的第一缩小段、与第一缩小段相连接的第二缩小段；N极部包括N极本体、位于N极本体两端的倾斜段，倾斜段包括第一倾斜段、第二倾斜段以及第三倾斜段。本实用新型专利技术可将磁钢端部累计效应进行抵消，在靶材端部形成一个无凹陷的平缓区，可有效地解决靶材两端消耗快的问题，可较好地防止靶材端部形成凹槽的现象，显著提高靶材的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种磁钢，具体涉及一种配合靶材使用的磁控溅射镀膜磁钢。
技术介绍
目前，在LOW-E镀膜线、ITO镀膜线、太阳能镀膜线、玩具五金、卷绕等行业中均涉及到磁控溅射镀膜设备。现有的磁控溅射镀膜线所配阴极的磁钢的结构为:中间为N极，周边为S极，这些磁铁均排列在磁轭上，S极与N极组成闭合的磁力线，这些磁钢处于平面靶材的后边或者旋转靶材的靶管内部。以配合旋转靶材使用的磁钢为例进行使用说明，在真空环境下，电子在电场的作用下，与工艺气体发生碰撞，使其电离产生出正离子和新的电子，新电子飞向基片，正离子在电场作用下加速飞向靶材，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。然而，在磁钢的端部存在累计效应，具体表现为靶材首尾端的端部溅射速度快，中间慢，端部与中间的靶材不能同步消耗，在端部形成凹槽，严重影响靶材的利用率。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术目的旨在于提供一种磁控溅射镀膜磁钢，可较好地防止靶材端部形成凹槽的现象，显著提高靶材的利用率。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案:一种磁控溅射镀膜磁钢，包括磁轭、安装在磁轭上的磁铁，所述磁铁包括第一 S极部、与第一 S极部呈并排设置的第二 S极部、位于第一 S极部和第二 S极部之间的N极部；所述第一 S极部和第二 S极部为相同的结构，其均包括S极本体、位于S极本体两端的缩小段，所述缩小段包括与S极本体相连接的第一缩小段、与第一缩小段相连接的第二缩小段；所述N极部包括N极本体、位于N极本体两端的倾斜段，所述倾斜段包括与N极本体相连接的第一倾斜段、与第一倾斜段相连接的第二倾斜段、与第二倾斜段相连接的第三倾斜段。优选地，所述第一倾斜段的首端的宽度和N极本体的宽度相同，所述第一倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的5/6 ;所述第二倾斜段的首端的宽度和第一倾斜段的末端的宽度相同，所述第二倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的2/3 ;所述第三倾斜段的首端的宽度和第二倾斜段的末端的宽度相同，所述第三倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的1/2。优选地，所述第一缩小段的宽度是S极本体的宽度的4/5，所述第二缩小段的宽度是S极本体的宽度的1/2。优选地，所述N极部的长度值比第一 S极部的长度值小10毫米。本技术有益效果在于:本技术通过在S极本体的两端设置有缩小段，在N极本体的两端设置有倾斜段，可将磁钢端部累计效应进行抵消，在靶材端部形成一个无凹陷的平缓区，可有效地解决靶材两端消耗快的问题，可较好地防止靶材端部形成凹槽的现象，显著提高靶材的利用率；同时，第一倾斜段的首端的宽度和N极本体的宽度相同，第一倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的5/6，第二倾斜段的首端的宽度和第一倾斜段的末端的宽度相同，第二倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的2/3，第三倾斜段的首端的宽度和第二倾斜段的末端的宽度相同，第三倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的1/2，经过多次试验证明，如此设置的磁钢可使得靶材的利用率得到显著的提升。【附图说明】图1为本技术的结构示意图；图2为图1中I处的放大示意图；图3为图2中A-A的剖视图；图4为图2中B-B的剖视图；图5为图2中C-C的剖视图；图6为图2中D-D的剖视图。其中，1、磁轭；2、第一 S极部；21、S极本体；22、第一缩小段；23、第二缩小段；3、第二 S极部；4、N极部；41、N极本体；42、第一倾斜段；43、第二倾斜段；44、第三倾斜段。【具体实施方式】下面，结合附图以及【具体实施方式】，对本技术做进一步描述:如图1所示，为本技术的一种磁控溅射镀膜磁钢，包括磁轭1、安装在磁轭I上的磁铁，所述磁铁包括第一 S极部2、与第一 S极部2呈并排设置的第二 S极部3、位于第一S极部2和第二 S极部3之间的N极部4 ;如图2-6所示，所述第一 S极部2和第二 S极部3为相同的结构，其均包括S极本体21、位于S极本体21两端的缩小段，所述缩小段包括与S极本体21相连接的第一缩小段22、与第一缩小段22相连接的第二缩小段23 ；所述N极部4包括N极本体41、位于N极本体41两端的倾斜段，所述倾斜段包括与N极本体41相连接的第一倾斜段42、与第一倾斜段42相连接的第二倾斜段43、与第二倾斜段43相连接的第三倾斜段44。本实施例的第一 S极部2、第二 S极部3和N极部4可组成闭合的磁力线。通过上述结构的设置后，可将磁钢端部累计效应进行抵消，在靶材端部形成一个无凹陷的平缓区，可有效地解决靶材两端消耗快的问题，可较好地防止靶材端部形成凹槽的现象，显著提高靶材的利用率。优选地，所述第一倾斜段42的首端的宽度和N极本体41的宽度相同，所述第一倾斜段42的末端的宽度是N极本体41的宽度的5/6 ;所述第二倾斜段43的首端的宽度和第一倾斜段42的末端的宽度相同，所述第二倾斜段43的末端的宽度是N极本体41的宽度的2/3 ;所述第三倾斜段44的首端的宽度和第二倾斜段43的末端的宽度相同，所述第三倾斜段44的末端的宽度是N极本体41的宽度的1/2。经过多次试验证明，N极部4如此设置的磁钢可使得靶材的利用率得到显著的提升。优选地，所述第一缩小段22的宽度是S极本体21的宽度的4/5，所述第二缩小段23的宽度是S极本体21的宽度的1/2。第一 S极部2和第二 S极部3按照如此设置后，可进一步提尚革G材的利用率。优选地，所述N极部4的长度值比第一 S极部2的长度值小10毫米，即将N极部4的两端相对第一 S极部2的两端分别缩进5毫米，这样可更进一步节省N极部4的材料，更进一步提高靶材的利用率。如图2中所示，Hl的数值为3毫米，H2的数值为8毫米。本技术依据磁钢的端部累计效应，改变磁钢的结构布局，人为的减弱端部的磁场强度，使其与磁铁端部累计效应抵消，来达到磁铁的均匀一致，使靶材同步消耗，提高靶材利用效率。本技术可将靶材利用率提高到80%以上，大大的节约了生产成本，也提高了溅射薄膜的厚薄一致性，有效实现工业化的产品生产需求。对于本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及变形，而所有的这些改变以及变形都应该属于本技术权利要求的保护范围之内。【主权项】1.一种磁控溅射镀膜磁钢，其特征在于:包括磁轭、安装在磁轭上的磁铁，所述磁铁包括第一 S极部、与第一 S极部呈并排设置的第二 S极部、位于第一 S极部和第二 S极部之间的N极部； 所述第一 S极部和第二 S极部为相同的结构，其均包括S极本体、位于S极本体两端的缩小段，所述缩小段包括与S极本体相连接的第一缩小段、与第一缩小段相连接的第二缩小段； 所述N极部包括N极本体、位于N极本体两端的倾斜段，所述倾斜段包括与N极本体相连接的第一倾斜段、与第一倾斜段相连接的第二倾斜段、与第二倾斜段相连接的第三倾斜段。2.如权利要求1所述的磁控溅射镀膜磁钢，其特征在于:所述第一倾斜段的首端的宽度和N极本体的宽度相同，所述第一倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的5/6 ;所述第二倾斜段的首端的宽度和第一倾斜段的末端的宽度相同，所述第二倾斜段的末端的宽度是N极本体的宽度的2/3 ;所述第三倾斜段的首端的宽度和第二倾斜段本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜磁钢，其特征在于：包括磁轭、安装在磁轭上的磁铁，所述磁铁包括第一S极部、与第一S极部呈并排设置的第二S极部、位于第一S极部和第二S极部之间的N极部；所述第一S极部和第二S极部为相同的结构，其均包括S极本体、位于S极本体两端的缩小段，所述缩小段包括与S极本体相连接的第一缩小段、与第一缩小段相连接的第二缩小段；所述N极部包括N极本体、位于N极本体两端的倾斜段，所述倾斜段包括与N极本体相连接的第一倾斜段、与第一倾斜段相连接的第二倾斜段、与第二倾斜段相连接的第三倾斜段。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闫乃明，朱世元，
申请(专利权)人：深圳市金耀玻璃机械有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44