【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种研磨方法，其特征在于，该研磨方法使用研磨垫和向所述研磨垫供给的研磨用组合物研磨合金材料，所述研磨用组合物含有包含二氧化硅或氧化铝的研磨材料，在研磨结束时，所述研磨垫的表面温度为20℃以下。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：森永均，玉井一诚，庭野裕，浅井舞子，
申请(专利权)人：福吉米株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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