【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于柔性膜转移的多自由度机械手,其特征在于,该多自由度机械手包括拾取单元(1)、α转动模块(2)、γ转动模块(3)、XYZ三轴平移模块(4)和气路分配单元(5),其中:所述拾取单元(1)通过α‑β转动连接座(25)悬挂安装在所述α转动模块(2)的下方,并可实现β方向也即绕着Y轴转动的自由度;它包括拾取头腔体(10)、右侧板(11)、左侧板(12)、β转动电机(13)、丝杆同步带组件(14)、调节隔板(15)和真空气管接头(16),其中该拾取头腔体(10)呈竖直放置的中空滚轮结构,并在其圆弧外表面上沿着轴向和周向方向加工有阵列化排列的真空吸附孔(10b);该左、右侧板呈圆环结构分别配套安装在所述拾取头腔体(10)的两侧,用于对拾取头腔体内部实现密封,并且它们的内壁上分别开设有多个沿着径向方向分布的T型槽以及多个沿着厚度方向贯穿的梯形螺纹孔;该β转动电机(13)安装在所述拾取头腔体(10)的内部中央,并通过联轴器(17)为拾取头腔体提供在β方向上转动的驱动力;该丝杆同步带组件(14)整体安装在所述拾取头腔体(10)一侧,并包括沿着拾取头腔体侧壁周向分布的多个梯形丝杆(14a)、数量相等 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈建魁,叶晓斌,黄永安,尹周平,马亮,徐洲龙,唐伟,
申请(专利权)人:华中科技大学,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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