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本发明公开了一种用于柔性膜转移的多自由度机械手，包括拾取单元、α转动模块、γ转动模块、XYZ三轴平移模块、气路分配单元和视觉定位单元，其中拾取单元具备绕Y轴转动的β转动自由度，并可在轴向和周向上对吸附区域进行调整；α、γ转动模块和XYZ三轴...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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