形状可变镜以及激光加工装置制造方法及图纸

目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有：第一按压部件，其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压；第二按压部件，其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压；以及变形量调整部(4)，其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置，绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式，对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位，并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化，对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。

【技术实现步骤摘要】
形状可变镜以及激光加工装置
本专利技术涉及一种用于对激光束等光波的波阵面畸变、特别是像散进行校正的形状可变镜以及利用形状可变镜的激光加工装置。
技术介绍
形状可变镜对光波的波阵面畸变进行校正，使用在各种光学制品中。例如，在天文望远镜中，用于对由大气运动等引起的波阵面的畸变(像差)进行校正，改善图像质量(例如，参照专利文献1后半部)。另外，在CD、DVD等的光拾取部中，用于对由光盘面的倾斜、起伏等产生的像差进行校正(例如，参照专利文献2)。并且，在激光加工机中，用于对由透镜、反射镜等的变形引起的激光束的波阵面畸变进行校正，以得到圆度高且光斑直径小的激光束(例如，参照专利文献1后半部)。如上所述的形状可变镜均是通过多个驱动元件的驱动，由此使镜面变化为希望的形状。然而，利用多个驱动元件这一点导致构造变得复杂，并且控制也变得复杂。因此，例如提出有下述形状可变镜，即，如激光加工机那样，也具有仅对光波的像散进行校正即可的用途，对于上述用途，利用1个驱动元件，使镜面变形为鞍形(例如，参照专利文献3)。专利文献1：日本特开平7-66463号公报(0007～0009、图1～图2/第0019～0012段、图6～图7)专利文献2：日本特开2005-122878号公报(第0028～0033段、图1)专利文献3：日本特开2007-171703号公报(第0012～0015段、图1～图2)如上所述的形状可变镜构成为，即使在如专利文献3所示变形为简单的鞍形的情况下，也是将用于使反射镜变形的部件的至少一部分与镜面的背面侧粘接，从背面侧拉拽镜面。然而，在上述结构中，例如，在反射镜使用玻璃圆板基板、不能使用粘接材料等的环境下，仅能够从镜面的背面侧向进行按压的方向施加力，难以使反射镜变形为希望的形状。
技术实现思路
本专利技术的目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。本专利技术所涉及的形状可变镜的特征在于，具有：反射镜；第一按压部件，其与所述反射镜的反射面外周部的相对的2个部位接触，从所述反射面侧按压所述反射镜；第二按压部件，其与所述反射镜的背面外周部的相对的2个部位接触，从所述背面侧按压所述反射镜；以及变形量调整部，其以所述第一按压部件按压所述反射面的位置、和所述第二按压部件按压所述背面的位置，绕穿过所述反射面的中心的轴而成为不同的位置的方式，对所述第二按压部件相对于所述第一按压部件的绕所述轴的位置进行定位，并且使所述轴向上的所述第一按压部件和所述第二按压部件的间隔变化，对由所述按压引起的所述反射镜的变形量进行调整。专利技术的效果根据本专利技术，其目的在于得到一种形状可变镜以及激光加工装置，由于不使用相对于反射镜进行粘接的部件，即可施加变形力，因此，不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正。附图说明图1是用于说明在本专利技术的实施方式1所涉及的形状可变镜中，反射镜的形状变化的概念的图。图2是本专利技术的实施方式1所涉及的形状可变镜的剖面图。图3是用于说明本专利技术的实施方式1所涉及的形状可变镜的构造的组装图。图4是本专利技术的实施方式2所涉及的形状可变镜的剖面图。图5是用于说明本专利技术的实施方式2所涉及的形状可变镜的构造的组装图。图6是本专利技术的实施方式3所涉及的形状可变镜的剖面图。图7是本专利技术的实施方式4所涉及的激光加工装置的结构图。图8是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束具有第一例的形状的图。图9是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，第一例的形状的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。图10是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束具有第二例的形状的图。图11是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，第二例的形状的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。图12是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束具有第三例的形状的图。图13是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，第三例的形状的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。图14是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，入射至反射镜的光束为正圆形的图。图15是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，正圆形的光束入射至反射镜时的反射面处的入射光分布的图。图16是表示在本专利技术的实施方式5所涉及的形状可变镜中，考虑了入射至反射镜的光束的形状后的第一保持部件的形状的图。图17是本专利技术的实施方式6所涉及的形状可变镜的剖面图。图18是用于说明本专利技术的实施方式6所涉及的形状可变镜的构造的组装图。标号的说明1：反射镜，1sf：镜面(反射面)，1sb：背面，Pxf：镜面的外周圆和X轴的交点，Pyb：背面的外周圆和Yb轴的交点，2：螺纹部件，2st、2sb：螺纹部，2W：螺纹止动圆板(止转机构)，3第一保持部件(第一按压部件)，3a：开口，3c：径向内螺纹部，3d：径向内螺纹部，3p：凸起部，3ps：支撑面，3s：螺纹部，3t：顶面，3z：锪孔面，4：变形量调整部，5：按压部件(第二按压部件)，5A：按压部，5B：位移部，5d：圆盘部，5h：定位孔，5p：凸起部，5ps：支撑面，5s：螺孔，6：第二保持部件(第一按压部件)，6h：定位孔，6se：外侧螺纹部，6si：螺孔，7：止转部件，7d：头部，7c：圆柱部，9：锁止部件，10：形状可变镜，11：径向止动螺钉，50：激光振荡器，20：电控扫描反射镜，21：检流计，60：聚光透镜，70：工作台(设置台)，80：驱动机构，200：被加工物，Ds：螺纹部件和按压部件的距离，LB：激光束，Rs：入射光照射不到的区域，Rw：加工范围。具体实施方式实施方式1.图1～图3用于对本专利技术的实施方式1所涉及的形状可变镜的结构进行说明，图1是表示在形状可变镜中，对反射镜施加载荷而使形状变化的概念的图，图2是形状可变镜的沿与反射面垂直的面(XZ面)的剖面图，图3用于说明形状可变镜的构造，是表示将各部件分离后的状态的组装图。在对本专利技术的实施方式1所涉及的形状可变镜的具体结构进行说明之前，利用图1对使反射镜发生形状变化的概念进行说明。反射镜1是具有彼此平行的平面的薄板状圆盘，对光进行反射的反射面即镜面1sf以及背面1sb为圆形。在镜面1sf上定义X轴和Y轴，该X轴为从外周圆的中心穿过的第1轴，该Y轴为在外周圆的中心处与X轴正交的第2轴。另外，在背面1sb上定义Yb轴，该Yb轴是与Y轴平行且与外周圆的中心交叉的第2轴。并且，在背面1sb的外周圆和Yb轴之间的2个交点Pyb附近，在对背面1sb垂直地进行按压的方向、即﹢Z方向上施加载荷Fb。另一方面，在镜面1sf的外周圆和X轴之间的2个交点Pxf附近，以对抗载荷Fb而向﹣Z方向施加载荷Ff的方式进行支撑，以使得不向﹢Z方向移动。这样，反射镜1的镜面1sf在与X轴平行的直线上成为中央凸出的凸形状，在与Y轴平行的直线上成为中央凹陷的凹形状，镜面1sf整体变形为鞍形。此时，在X轴上的凸形的曲线形状、和在Y轴上的凹形的曲线形状成为朝向相反的相同形状。如果使由反射镜1反射的光的焦距较短即光学能力较强的方向与X轴对齐，则在X轴中，由于成为凸面，因此进行反射的光的焦距变长，在Y轴中，由于成为凹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形状可变镜，其特征在于，具有：反射镜；第一按压部件，其与所述反射镜的反射面外周部的相对的2个部位接触，从所述反射面侧按压所述反射镜；第二按压部件，其与所述反射镜的背面外周部的相对的2个部位接触，从所述背面侧按压所述反射镜；以及变形量调整部，其以所述第一按压部件按压所述反射面的位置、和所述第二按压部件按压所述背面的位置，绕穿过所述反射面的中心的轴而成为不同的位置的方式，对所述第二按压部件相对于所述第一按压部件的绕所述轴的位置进行定位，并且使所述轴向上的所述第一按压部件和所述第二按压部件的间隔变化，对由所述按压引起的所述反射镜的变形量进行调整。

【技术特征摘要】
2013.11.22 JP 2013-241524;2014.09.29 JP 2014-197911.一种形状可变镜，其特征在于，具有：反射镜；第一按压部件，其与所述反射镜的反射面外周部的相对的2个部位接触，从所述反射面侧按压所述反射镜；第二按压部件，其与所述反射镜的背面外周部的相对的2个部位接触，从所述背面侧按压所述反射镜；以及变形量调整部，其以所述第一按压部件按压所述反射面的位置和所述第二按压部件按压所述背面的位置，绕穿过所述反射面的中心的轴而成为不同的位置的方式，对所述第二按压部件相对于所述第一按压部件的绕所述轴的位置进行定位，并且使轴向上的所述第一按压部件和所述第二按压部件的间隔变化，对由所述按压引起的所述反射镜的变形量进行调整。2.根据权利要求1所述的形状可变镜，其特征在于，所述第二按压部件构成为，在板材的周缘部的2个部位形成有与所述背面接触的凸起，且所述板材的刚性比所述反射镜的刚性低。3.根据权利要求1或2所述的形状可变镜，其特征在于，所述变形量调整部利用螺纹部件，使所述间隔变化，其中，所述螺纹部件在所述轴向的两侧分别设置有彼此螺距不同的螺纹。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：石塚智彦，小林信高，泷川靖弘，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP