【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种设备部件,其具备内腔,上述设备部件的特征在于,具备:基板部件,其由半导体构成;中间层,其形成于上述基板部件的上表面且具有绝缘性;上面层,其形成于上述中间层的上表面且由半导体构成;开口部,其形成于上述上面层;以及透气性的密封层,其以密封在上述上面层形成的开口部的方式形成,上述内腔是由透过上述密封层的蚀刻气体来除去上述中间层而形成的内腔。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:藤田博之,年吉洋,三屋裕幸,
申请(专利权)人:国立大学法人东京大学,株式会社鹭宫制作所,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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