由耦合到谐振器上的纳米计制成的压力传感器制造技术

一种由半导体材料制成的压力传感器，所述传感器包括盒子(1)，所述盒子在二次真空下限定外壳(2)；至少一个谐振器(3)，所述谐振器被接纳在所述外壳中且通过柔性横梁(4)从至少一个可弹性变形的膜片(3)悬挂，所述膜片封闭还含有用于激励所述谐振器以便将所述谐振器设定成振动的装置(7、12)和用于检测所述谐振器的振动频率的检测器装置的所述外壳。所述检测器装置包括至少一个第一悬挂压阻式应变计(9)，所述应变计使一个端部固定到所述横梁中的一者且使一个端部固定到所述膜片。所述谐振器和所述第一应变计经布置以形成种类和浓度基本上相同的掺杂区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】由耦合到谐振器上的纳米计制成的压力传感器
本专利技术涉及一种流体压力传感器，例如，可用于车辆车轮以便检测所述车轮上的充气轮胎的充气压力的流体压力传感器。
技术介绍
在需要小尺寸的传感器的应用中，已知依靠通过蚀刻晶体材料的板制成的传感器。被称为谐振类型且被认为具有比包括具有应变计的膜片的一般微机械加工传感器更好的性能的一个此类压力传感器，包括限定容腔的盒子、以及至少一个谐振器，所述谐振器被接纳在容腔中且通过柔性横梁从封闭容腔的至少一个可弹性变形的膜片悬伸。所述容腔还含有用于将谐振器设定成振动的谐振器激励装置和用于检测谐振器的振动频率的检测器装置。所述可变形的膜片因此与谐振器相互作用，其方式为使得在来自周围流体的压力下的膜片的变形导致谐振器的频率的相对应的变化。所述激励装置布置成将谐振器设定成以其谐振频率振动，且检测器装置(例如)由电容元件或由应变计构成，所述应变计向控制单元提供表示谐振器的振动频率的信号。所述控制单元布置成从它检测到的频率推导作用在膜片上的压力。业已发现，那些传感器中的许多传感器呈现低灵敏度。至少在理论上，电容检测研发起来较复杂，因此没有应变计检测有效。实际上，业已发现本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种由半导体材料制成的压力传感器，所述传感器包括盒子(1)，所述盒子限定在二次真空下的外壳(2)，至少一个谐振器(3)被接纳在所述外壳中且通过柔性横梁(4)从至少一个可弹性变形的膜片(3)悬挂，所述膜片(3)封闭还含有用于激励所述谐振器以便将所述谐振器设定成振动的装置(7，12)和用于检测所述谐振器的振动频率的检测器装置的所述外壳，所述检测器装置包括至少第一压阻式应变计(9)，所述传感器的特征在于，所述第一应变计被悬挂，并具有固定到所述横梁中的一者的一个端部和固定到所述膜片的一个端部，其特征还在于，所述谐振器和所述第一应变计布置成形成种类和浓度基本上相同的掺杂区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.09.26 FR 12590671.一种由半导体材料制成的压力传感器，所述传感器包括盒子(1)，所述盒子限定处于二次真空下的外壳(2)，至少一个谐振器(3)被接纳在所述外壳中且通过柔性横梁(4)从至少一个可弹性变形的膜片(5)悬挂，所述膜片(5)封闭所述外壳，所述外壳还含有用于激励所述谐振器以便将所述谐振器设定成振动的装置(7，12)和用于检测所述谐振器的振动频率的检测器装置，所述检测器装置包括压阻式的至少第一应变计(9)，所述传感器的特征在于：所述第一应变计被悬挂，并具有固定到所述横梁中的一者的一个端部和固定到所述膜片的一个端部；以及所述谐振器和所述第一应变计布置成能够形成种类和浓度基本上相同的掺杂区域；其中所述传感器具有单一谐振器(3)；所述横梁(4)被安排为对应地将所述谐振器(3)的成对相对的四个侧面连接到所述膜片(5.1、5.2)的两个平行的第一横梁(4.1)和两个平行的第二横梁(4.2)，所述传感器具有各自连接到所述横梁(4)中的一者的四对应变计(9.1A、9.1B、9.2A、9.2B)，所述第一横梁(4.1)基本上垂直于所述第二横梁(4.2)。2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，连接到所述第一横梁(4.1)中的一者的所述应变计(9.1A)垂直于所述第一横梁延伸，连接到所述第一横梁中的另一者的所述应变计(9.1B)垂直于所述第一横梁延伸，而连接到所述第二横梁(4.2)的所述应变计(9.2A、9.2B)以与连接到所述第一横梁的所述应变计相同的方式来布置。3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述盒子(1)承载：第一对膜片(5.1)，所述第一对膜片垂直于所述第一横梁(4.1)且各自连接到所述第一横梁中的一者以及连接到...

【专利技术属性】
技术研发人员：JC·利欧，G·里赫，
申请(专利权)人：萨甘安全防护公司，
类型：发明
国别省市：法国;FR