一种台阶阵列阴极真空微电子压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种台阶阵列阴极真空微电子压力传感器，所述的传感器由阳极压力敏感膜、具有台阶的阴极、绝缘层和真空腔构成。传统的真空微电子压力传感器虽具有灵敏度高、温度稳定性好和抗辐射等优点，但由于传感器的阴极发射尖锥是分布在同一平面上，因而灵敏度的提高和量程的扩展都受到了限制。本发明专利技术的台阶阵列阴极真空微电子压力传感器，其特点是阴极有一个台阶，发射尖锥分布在台阶上下，有效地提高了传感器的灵敏度和量程。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种台阶阵列阴极真空微电子压力传感器，其特征在于：包括阳极压力敏感膜（1）；尖锥阵列阴极（2）；在阳极压力敏感膜（1）与尖锥阵列阴极（2）之间的真空腔（3）；阳极压力敏感膜（1）与尖锥阵列阴极（2）封接处的绝缘层（4），阴极呈台阶状。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：鞠洪建，
申请(专利权)人：大连康赛谱科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21