【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于激光位移传感器的预对准装置，用于预对准晶圆，其特征在于，包括第一激光传感器、第二激光传感器、预对准机控制器；所述第一、第二激光传感器设置在所述晶圆周边，用于检测晶圆的位置；所述预对准控制器接收所述第一、第二激光传感器获取的位置信息，并进行通信和处理计算。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曲道奎，栾显晔，徐方，宋吉来，邹风山，董状，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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