一种氮化物LED垂直芯片结构及其制备方法技术

技术编号:11485179 阅读:74 留言:0更新日期:2015-05-21 01:49
本发明专利技术涉及一种氮化物LED垂直芯片结构及其制备方法,包括n型电极、氮化物LED外延片结构及p型电极;所述n型电极位于所述氮化物LED外延片结构的下方,且附着在所述氮化物LED外延片结构上,所述p型电极位于所述氮化物LED外延片结构的上方,且附着在所述氮化物LED外延片结构上。在复合衬底上制作完二维衍生膜与氮化物外延层后,首先在复合衬底背面制作n型电极;然后,在氮化物外延层表面制作p型电极;最后,对LED器件晶圆进行切割得到分离器件。使用本发明专利技术制备的氮化物LED垂直芯片具有适合大电流密度(≥100A/cm2)驱动、高光功率密度输出等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氮化物LED垂直芯片结构,其特征在于,包括n型电极、氮化物LED外延片结构及p型电极;所述n型电极位于所述氮化物LED外延片结构的下方,且附着在所述氮化物LED外延片结构上,所述p型电极位于所述氮化物LED外延片结构的上方,且附着在所述氮化物LED外延片结构上;其中,所述氮化物LED外延片结构包括复合衬底、一层以上的二维衍生膜及氮化物外延层,所述二维衍生膜位于所述复合衬底及所述氮化物外延层之间,且所述二维衍生膜附着在所述复合衬底的上表面上,所述氮化物外延层附着在所述二维衍生膜上;所述n型电极附着在所述复合衬底的下表面上,所述p型电极附着在所述氮化物外延层上;所述二维衍生膜由一层或两层以上的二维纳米片材料构成,所述二维纳米片材料包括石墨烯、硅烯中的任意一种或两种的组合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:马亮胡兵李金权裴晓将刘素娟
申请(专利权)人:北京中科天顺信息技术有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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