一种基于外差干涉和二次衍射效应的光栅位移测量系统技术方案

一种基于外差干涉和二次衍射效应的光栅位移测量系统，包括双频激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、1/4波片、光栅、第一检偏器、第二检偏器、第一光电探测器、第二光电探测器、第一前置放大器、第二前置放大器、混频器、细分处理电路，其中：双频激光器发出具有特定频差的线偏振光f1和f2，其中f1为s偏振光，f2为p偏振光；光栅栅距为d，用于入射光的反射衍射；第一检偏器、第二检偏器用于合成新的线偏振光并产生拍频信号；第一光电探测器、第二光电探测器用于将拍频信号转换为电信号；第一前置放大器、第二前置放大器用于电信号带自动增益的高倍放大；混频器用于解调出频移信号Δf；细分处理电路用于完成电信号的细分、鉴相。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于外差干涉和二次衍射效应的光栅位移测量系统，其特征在于：所述光栅位移测量系统包括双频激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、1/4波片、光栅、第一检偏器、第二检偏器、第一光电探测器、第二光电探测器、第一前置放大器、第二前置放大器、混频器、细分处理电路，其中：双频激光器发出具有特定频差的线偏振光f1和f2，其中f1为s偏振光，f2为p偏振光；光栅栅距为d，用于入射光的反射衍射；第一检偏器、第二检偏器用于合成新的线偏振光并产生拍频信号；第一光电探测器、第二光电探测器用于将拍频信号转换为电信号；第一前置放大器、第二前置放大器用于电信号带自动增益的高倍放大；混频器用于解调出频移信号△f；细分处理电路用于完成电信号的细分、鉴相。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李金龙，胡松，赵立新，蒋薇，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51