本实用新型专利技术公开了一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。在能够满足MOCVD设备的暂存腔室真空密封的同时，又能够方便的开启使用，非常便于MOCVD设备的使用、调试及维修，生产效率也随之提高。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及MOCVD设备制造
，更具体地涉及一种用于MOCVD设备的旋转式密封门。
技术介绍
MOCVD全称金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。目前全球MOCVD设备制造商主要有两家，分别是德国的AIXTR0N公司和美国的VEECO公司，其中AIXTR0N公司大约占60-70%的国际市场份额，VEECO公司占30-40%。在MOCVD设备
中几乎所有核心技术均被上述两家公司占有垄断，国内还没有这一领域的核心专利和成熟的设计技术。我国的MOCVD设备主要依赖于进口，随着国家能源的紧缺和半导体照明工程的发展，国产MOCVD设备的研发工作的重要性愈加凸显。目前，MOCVD设备中都配有载片盘暂存区，载片盘用于送入、送出石墨物料盘，载片盘暂存区成为操作室与反应室之间载片盘的周转站。载片盘暂存区为真空密闭的暂存腔室，暂存腔室设有后门，通常用于在设备进行调试或维修时开启使用，后门采用固定的密封门板来实现真空密封。现有的后门固定密封结构非常不方便开启使用，每次开启、关闭后门都很费力，从而增加了 MOCVD设备的调试、维修难度，同时也影响了生产效率。因此，为了便于调试、维修MOCVD设备，如何设计一种方便开启的MOCVD密封门，是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种MOCVD旋转式密封门，既能实现暂存腔室的真空密封又能方便的开启，非常利于MOCVD设备的使用、调试及维修。本技术解决上述技术问题采用的技术方案是:一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。所述暂存腔室的上端密封设有盖板、与门扇相对的侧面开设有用于机械手传输石墨物料盘的通口。所述铰链包括固定在门框侧边的铰链座、及贯穿铰链座的铰链轴，所述门扇边上对应铰链轴设有带有轴孔的凸起，铰链轴安装在轴孔内且门扇以其为转轴旋转。所述搭扣门锁包括水平设置的把手、与把手朝向门扇边缘的一端活动连接的锁舌、及相对应门框上设置的具有锁舌收容腔的固定扣。所述铰链设在门扇的竖直侧边上或者水平底边上。 所述铰链优选设置两个，所述搭扣门锁也优选设置两个。与现有技术相比，本技术的有益效果:针对暂存腔室设计新的密封方式，将原来固定的密封门板增加铰链连接，实现可活动的旋转门，再选择合适的具有一定压力的搭扣门锁结构，对旋转门施加初始密封所需要的压力，从而构成了旋转式密封门，在能够满足真空密封的同时，又能够方便的开启使用，减少MOCVD设备调试时间，减轻调试使用人员的劳动强度，生产效率也随之提高。【附图说明】图1为本技术的正面结构示意图；图2为图1中A-A的剖面结构示意图。【具体实施方式】下面将结合附图以及【具体实施方式】，对本技术做进一步描述。请参见图1至图2，本技术涉及一种MOCVD旋转式密封门，包括门扇1、铰链、搭扣门锁、及暂存腔室8，门扇I的一边通过设置铰链与暂存腔室8活动连接，门扇I的另一边再设置具有一定压力的搭扣门锁，同时实现真空暂存腔室8的密封。暂存腔室8设于门扇I的内侧，且其与门扇I相接的侧面为门框，门扇I竖直覆盖在门框上，门扇I为具有一定厚度的铝合金材质门板，暂存腔室8的上端密封设有盖板，盖板是为了加工、装配需要而设置，暂存腔室8与门扇相对的侧面开设有通口，用于机械手把石墨物料盘传输进入暂存腔室。铰链包括铰链座2及铰链轴3，铰链座2突出设置在门框的底边上，铰链座2采用螺纹固定安装，根据暂存腔室8的大小，铰链座2可以设置一个或多个，本实施例中铰链座优选设置两个，铰链轴3水平贯穿设置在铰链座2突出的部分上，其中部分铰链轴3裸露在夕卜，门扇I的底边上设有连接用的凸起，在凸起上开有轴孔，铰链轴3裸露在外的部分配合安装在轴孔内，门扇I以铰链轴3为转轴旋转打开、关闭，使用非常方便。在与铰链相对的门扇I顶边上设有搭扣门锁，搭扣门锁包括把手4、锁舌5、及固定扣6，为了便于工人操作，把手4采用水平设置，在把手4朝向门扇边缘的一端设有活动连接的锁舌5，把手4以设有锁舌5的一端为转轴进行旋转，并在旋转时按压锁舌5向下运动，在门框上对应锁舌5设有固定扣6，固定扣6具有容纳锁舌5的空腔。关闭密封门时，锁舌5伸入固定在固定扣6内，紧密闭合；开启封闭门时，提拉把手4，通过把手4按压锁舌5，使锁舌5从固定扣6内脱离出来，旋转门扇I打开。搭扣门锁也优选设有两个，在门扇I顶边两侧对称设置，保证门扇I左右所受门锁压力平衡。为了确保暂存腔室8的真空密封效果，在门扇I的内侧与门框之间设有密封圈7，在关闭密封门时，通过压紧密封圈7实现暂存腔室8的密封。本技术的铰链安装位置也可以设在门扇I的竖直侧边上，同时，相对应的搭扣门锁设置在门扇I的另一竖直侧边上，其中，把手4不改变方向亦采用水平设置，通过改变安装位置也能够实施本技术。以上具体实施例仅用以举例说明本技术的结构，本领域的普通技术人员在本技术的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，其特征在于:还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。2.根据权利要求1所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述暂存腔室的上端密封设有盖板、与门扇相对的侧面开设有用于机械手传输石墨物料盘的通口。3.根据权利要求1或2所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述铰链包括固定在门框侧边的铰链座、及贯穿铰链座的铰链轴，所述门扇边上对应铰链轴设有带有轴孔的凸起，铰链轴安装在轴孔内且门扇以其为转轴旋转。4.根据权利要求1或2所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述搭扣门锁包括水平设置的把手、与把手朝向门扇边缘的一端活动连接的锁舌、及相对应门框上设置的具有锁舌收容腔的固定扣。5.根据权利要求1所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述铰链设在门扇的竖直侧边上或者水平底边上。6.根据权利要求1所述的MOCVD旋转式密封门，其特征在于，所述铰链设置有两个，所述搭扣门锁亦设置有两个。【专利摘要】本技术公开了一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。在能够满足MOCVD设备的暂存腔室真空密封的同时，又能够方便的开启使用，非常便于MOCVD设备的使用、调试及维修，生产效率也随之提高。【IPC分类】E06B3-36, E06B7-16, E06B3-70【公开号】CN2043268本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种MOCVD旋转式密封门，包括铝合金门扇、及设于门扇内侧的暂存腔室，暂存腔室与门扇相接的侧面为门框，其特征在于：还包括设于门扇一边用于与暂存腔室的门框活动连接的铰链、及设于门扇另一边上用于锁紧门扇和暂存腔室的搭扣门锁，所述门扇内侧与门框之间压紧设有确保暂存腔室真空密封的密封圈。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李致文，肖四哲，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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