氧化物烧结体及溅射靶制造技术

一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相以规定的比例包含。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种氧化物烧结体，其特征在于，是将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体，所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相的体积比分别满足下述式(1)～(3)，(Zn2SnO4相+InGaZnO4相)/(Zn2SnO4相+InGaZnO4相+In2O3相+SnO2相+(ZnO)mIn2O3相)≥75体积％···(1)Zn2SnO4相/(Zn2SnO4相+InGaZnO4相+In2O3相+SnO2相+(ZnO)mIn2O3相)≥30体积％···(2)InGaZnO4相/(Zn2SnO4相+InGaZnO4相+I...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：田尾幸树，金丸守贺，南部旭，畠英雄，
申请(专利权)人：株式会社钢臂功科研，
类型：发明
国别省市：日本;JP