下载氧化物烧结体及溅射靶的技术资料

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一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85%以上,对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时,Zn2SnO4相和InGaZnO4相以规定的比例包含。...
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