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氧化物烧结体及溅射靶制造技术
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文档序号:11454443
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一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85%以上,对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时,Zn2SnO4相和InGaZnO4相以规定的比例包含。...
该专利属于株式会社钢臂功科研所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社钢臂功科研授权不得商用。
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