【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件及其制造方法和电子装置
本专利技术涉及半导体存储
,具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法和电子装置。
技术介绍
相变存储器(phasechangerandomaccessmemory,PCRAM)作为一种非易失存储器,由于其在读写速度、读写次数、数据保持时间、单元面积、多值实现等诸多方面的优势,在半导体存储
中得到了广泛的应用。通常地,相变存储器包括电阻单元(Resistanceunit)和选通管(Selector)。其中,选通管用于控制对相变存储器的访问。选通管一般为互补型金属氧化物半导体(CMOS)场效应晶体管、双极型晶体管(BJT)或PN结二极管三者中的一种。由于PN结二极管一般仅需占用更小的单元尺寸并可以提供更高的编程电压,因此以二极管作为选通管的PCRAM往往具有更好的性能。随着半导体器件制造技术的不断发展,相变存储器的集成度越来越高,而当半导体技术进入40nm及以下工艺节点,选通管将成为制造高集成度相变存储器的瓶颈之一。由于随着器件尺寸的减小,PN结二极管本身的开启电压(turnonvoltage)较高、串扰电流(sneakcurrent)较大等问题会凸显出来,因此,即使以PN结二极管作为相变存储器的选通管,也将难以满足相变存储器对开启电压(turnonvoltage)、串扰电流(sneakcurrent)等方面的实际需要。因此,为解决上述问题,本专利技术提出一种新的相变存储器及其制造方法。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本专利技术提供一种半导体器件及其制造方法和电子装置。本专利技术实施例一提供一种半导体器件的制造方 ...
【技术保护点】
一种半导体器件的制造方法,其特征在于,所述方法包括:步骤S101:提供P型半导体衬底,在所述半导体衬底上定义二极管阵列区和周边器件区,在所述半导体衬底位于所述二极管阵列区的部分的上部形成埋入式N+离子层;步骤S102:在所述半导体衬底位于所述周边器件区的部分和所述埋入式N+离子层上形成外延半导体层;步骤S103:在所述二极管阵列区形成沿行方向延伸的至少贯穿所述外延半导体层和所述埋入式N+离子层的深沟槽隔离;步骤S104:在所述二极管阵列区和所述周边器件区形成沿列方向延伸的至少贯穿所述外延半导体层的浅沟槽隔离;步骤S105:在位于所述二极管阵列区内的所述深沟槽隔离与所述浅沟槽隔离之间的所述外延半导体层之中形成N‑离子区;步骤S106:在所述外延半导体层形成有所述N‑离子区的部分之上形成金属硅化物。
【技术特征摘要】
1.一种半导体器件的制造方法,其特征在于,所述方法包括:步骤S101:提供P型半导体衬底,在所述半导体衬底上定义二极管阵列区和周边器件区,在所述半导体衬底位于所述二极管阵列区的部分的上部形成埋入式N+离子层;步骤S102:在所述半导体衬底位于所述周边器件区的部分和所述埋入式N+离子层上形成外延半导体层;步骤S103:在所述二极管阵列区形成沿行方向延伸的至少贯穿所述外延半导体层和所述埋入式N+离子层的深沟槽隔离;步骤S104:在所述二极管阵列区和所述周边器件区形成沿列方向延伸的至少贯穿所述外延半导体层的浅沟槽隔离,其中,在形成的所述浅沟槽隔离的底部和侧面形成有P+离子保护层;步骤S105:在位于所述二极管阵列区内的所述深沟槽隔离与所述浅沟槽隔离之间的所述外延半导体层之中形成N-离子区;步骤S106:在所述外延半导体层形成有所述N-离子区的部分之上形成金属硅化物。2.如权利要求1所述的半导体器件的制造方法,其特征在于,在所述步骤S101中,形成所述埋入式N+离子层的方法包括:进行离子注入以在所述半导体衬底位于所述二极管阵列区的部分的上部形成埋入式N+离子层;激活所述埋入式N+离子层。3.如权利要求2所述的半导体器件的制造方法,其特征在于,在所述步骤S101中,所述离子注入的剂量大于1.0×1014/cm2。4.如权利要求1所述的半导体器件的制造方法,其特征在于,在所述步骤S102中,形成所述外延半导体层的方法为外延沉积,并且,所述外延半导体层的厚度为5.如权利要求1所述的半导体器件的制造方法,其特征在于,所述步骤S104包括:步骤S1041:在所述外延半导体层位于所述二极管阵列区和所述周边器件区的部分形成浅沟槽;步骤S1042:在所述浅沟槽中形成浅沟槽隔离衬垫层;步骤S1043:进行离子注入以在所述浅沟槽隔离衬垫层的外侧形成P+离子保护层;步骤S1044:对所述P+离子保护层进行退火处理;步骤S1045:在所述浅沟槽中填充隔离材料并进行化学机械抛光以形成浅沟槽隔离。6.如权利要求5所述的半导体器件的制造方法,其特征在于,在所述步骤S1043中,所注入的离子为B,离子注入能量为5-20KeV,剂量为1.0e12-4e15,离子注入的倾角为45-70度;或者,所注入的离子为BF2,离子注入能...
【专利技术属性】
技术研发人员:张超,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造北京有限公司,中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。