一种圆片级扇出PoP封装结构及其制造方法技术

技术编号:11263302 阅读:124 留言:0更新日期:2015-04-08 08:42
本发明专利技术公开了一种圆片级扇出PoP封装结构及其制造方法,该圆片级扇出PoP封装通过至少一个扇出PoP封装单元堆叠形成,相邻扇出PoP封装单元之间通过第二焊球实现互联,采用第二塑封材料进行包覆密封。扇出PoP封装单元包含IC芯片、第一塑封材料、第二粘贴材料、金属凸点结构、第一金属层、第二金属层、第一再布线金属走线层、第一介电材料层、第二再布线金属走线层、第二介电材料层、第一焊球和第二焊球。IC芯片的键合焊盘与第一再布线金属走线层互联。金属凸点结构构成模塑料通孔,模料通孔实现扇出PoP封装单元内的上、下封装体之间以及与外部结构的三维集成互联。制造该圆片级扇出PoP封装结构的主要方法:在第一载体圆片上配置金属基材圆片,在金属基材圆片上表面制作金属凸点结构,上芯,塑封,制作第一再布线金属走线层,配置第二载体圆片,去除第一载体圆片,对金属基材圆片下表面进行蚀刻,形成第二再布线金属走线层,堆叠回流焊,去除第二载体圆片,植球和回流焊工艺后形成扇出PoP封装单元,至少一个扇出PoP封装单元进行堆叠回流焊,塑封后形成圆片级扇出PoP封装。该发明专利技术解决了现有PoP封装技术所存在的封装密度、成本和可靠性问题。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了,该圆片级扇出PoP封装通过至少一个扇出PoP封装单元堆叠形成,相邻扇出PoP封装单元之间通过第二焊球实现互联,采用第二塑封材料进行包覆密封。扇出PoP封装单元包含IC芯片、第一塑封材料、第二粘贴材料、金属凸点结构、第一金属层、第二金属层、第一再布线金属走线层、第一介电材料层、第二再布线金属走线层、第二介电材料层、第一焊球和第二焊球。IC芯片的键合焊盘与第一再布线金属走线层互联。金属凸点结构构成模塑料通孔,模料通孔实现扇出PoP封装单元内的上、下封装体之间以及与外部结构的三维集成互联。制造该圆片级扇出PoP封装结构的主要方法:在第一载体圆片上配置金属基材圆片,在金属基材圆片上表面制作金属凸点结构,上芯,塑封,制作第一再布线金属走线层,配置第二载体圆片,去除第一载体圆片,对金属基材圆片下表面进行蚀刻,形成第二再布线金属走线层,堆叠回流焊,去除第二载体圆片,植球和回流焊工艺后形成扇出PoP封装单元,至少一个扇出PoP封装单元进行堆叠回流焊,塑封后形成圆片级扇出PoP封装。该专利技术解决了现有PoP封装技术所存在的封装密度、成本和可靠性问题。【专利说明】 【技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆片级扇出PoP封装结构,其特征在于,通过至少一个扇出PoP封装单元堆叠形成;一个扇出PoP封装单元由两个相同结构的封装体构成;所述一个封装体包括有金属凸点结构(2)、IC芯片(3)、键合焊盘(4)、第二粘贴材料(5),第一塑封材料(6)、第一再布线金属走线层(7)、第一金属层(8)、第一介电材料层(9)、第二再布线金属走线层(10)、第二介电材料层(11)、第二金属层(12);所述IC芯片(3)带有键合焊盘(4),第二粘贴材料(5)粘贴于IC芯片(3)的表面,第一塑封材料(6)包围金属凸点结构(2)和IC芯片(3),IC芯片(3)的键合焊盘(4)与第一再布线金属走线层(7)连接,第一再布...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:夏国峰于大全
申请(专利权)人:华天科技西安有限公司
类型:发明
国别省市:陕西;61

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