检测背板水氧透过率的方法和封装结构技术

本发明专利技术提供了一种检测背板水氧透过率的方法和封装结构，该方法包括：在待检测的背板上形成金属电极图形；在形成有金属电极图形的背板上形成钙膜；将形成有金属电极图形和钙膜的背板作为隔板阻隔干燥室和潮湿室；通过所述金属电极图形测量钙膜的电导率的变化值，根据测量得到的变化值确定背板的水氧透过率。本发明专利技术中，将钙膜设置在待检测的背板上，将整个背板作为阻隔干燥室和潮湿室的隔板进行水氧透过率的检测，相比与现有技术中仅检测背板封装材料的方式，能够更真实反映需要保护的器件所面临的真实环境，提高了背板水氧透过率检测的精确度。再一方面，将检测导电率用的电极制作在待检测的背板上，能够降低检测的难度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种检测背板水氧透过率的方法和封装结构。
技术介绍
有机电致发光器件(Organic Light Emitting Device，OLED)由于具有轻薄，高亮度、响应快、低功耗等优点，广泛应用于显示领域。研究表明，环境中的水氧对OLED的寿命有很大的影响，其原因主要有:1、水氧容易与低功函的阴极金属(如铝、镁、钙)反应；2、水氧与有机材料发生化学反应。因此对OLED进行有效封装，有效阻隔大气中的水汽与器件的各功能层接触，就能延长器件寿命。现有技术中对OLED背板的水氧透过率检测时，一般是检测背板中的水汽阻隔层能力或者封装材料的水汽透过率(Water Vapor Transmission Rate,WVTR(g/m2/day))。具体的水汽透过率测试方法包括称重法、钙膜腐蚀法、湿度传感器法，氦质谱检漏法和放射性同位素法等，其原理基本上都是将待测样品制备成薄膜，由样品薄膜将腔室隔成两部分。如图1所示，为钙膜腐蚀法进行水氧透过率检测的示意图：将待检测样品薄膜1作为隔板阻隔在干燥室R1和已知特定温湿度的潮湿室R2，待测薄膜两侧因水汽含量不同，形成湿度梯度，水汽由潮湿室经扩散进入干燥室，最终导致玻璃台2上的钙膜3被腐蚀，通过电极4测量钙膜的导电率变化能够确定水汽的透过率。对于OLED器件，WVTR的值一般要求达到1*10-6g/m2/day。这种测试方法需要将待测的样品制备成薄膜，得到的结果是材料本身的水汽透过率性能。但是它不能反映OLED器件实际的水汽透过率，因为实际封装时，背板(backplane)上有复杂的金属排线和拐角，在这些地方容易出现封接不良。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种提高水氧透过率检测精度的方法和封装结构。为了实现上述目的，本专利技术一种检测背板水氧透过率的方法，包括：在待检测的背板上形成金属电极图形；在形成有所述金属电极图形的背板上形成钙膜；将形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板作为隔板阻隔干燥室和潮湿室；通过所述金属电极图形测量所述钙膜的电导率的变化值，根据测量得到的变化值确定所述背板的水氧透过率。进一步的，所述在形成有所述金属电极图形的背板上形成钙膜包括：形成覆盖在所述金属电极图形上的绝缘层；在形成的所述绝缘层上形成所述钙膜；其中，所述绝缘层上形成有过孔，所述钙膜通过所述过孔与所述金属电极图形相连。进一步的，所述金属电极图形包括多个独立的电极，所述多个独立的电极对应形成在所述背板上的不同区域；所述通过所述金属电极图形测量所述钙膜的电导率的变化值，根据测量得到的变化值确定所述背板的水氧透过率包括：通过特定的独立电极测量相应区域的钙膜的电导率的变化值，根据测量得到的变化值确定该相应区域的水氧透过率。进一步的，在形成所述钙膜之后，将形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板作为隔板阻隔干燥室和潮湿室之前，所述方法还包括：使用盖板对形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板进行封装。进一步的，所述使用盖板对形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板进行封装包括：在形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板上涂覆封框胶；将所述盖板与背板进行对盒，并使用激光照射所述封框胶，使所述封框胶固化。进一步的，所述在待检测的背板上形成金属电极图形包括：在待检测的背板上形成缓冲层，在所述缓冲层上形成金属电极图形。进一步的，所述背板为太阳能电池背板或者OLED器件的背板。进一步的，所述在待检测的背板上形成金属电极图形，包括：在待检测的背板上沉积金属层；对所述金属层进行图案化工艺形成金属电极图形。进一步的，所述在形成有所述金属电极图形的背板上形成钙膜包括：在形成有所述金属电极图形的背板上通过蒸镀的方式形成钙膜。一种检测背板水氧透过率的封装结构，包括：待检测的背板；形成在待检测的背板上的金属电极图形；形成在形成有所述金属电极图形的背板上的钙膜。进一步的，还包括：覆盖在所述金属电极图形上的绝缘层；所述钙膜具体形成在所述绝缘层上；其中，所述绝缘层上形成有过孔，所述钙膜通过所述过孔与所述金属电极图形相连。进一步的，所述金属电极图形包括多个独立的电极，所述多个独立的电极对应形成在背板上的不同区域。进一步的，还包括：对形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板进行封装的盖板。进一步的，还包括：设置在形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板和盖板之间的封框胶。进一步的，还包括：形成在待检测的背板的缓冲层；所述金属电极图形成在所述缓冲层上。进一步的，所述背板为太阳能电池背板或者OLED器件的背板。本专利技术中，将钙膜设置在待检测的背板上，将整个背板作为阻隔干燥室和潮湿室的隔板进行水氧透过率的检测，相比与现有技术中仅检测背板封装材料的方式，能够更真实反映需要保护的器件所面临的真实环境，提高了背板水氧透过率检测的精确度。再一方面，将检测导电率用的电极制作在待检测的背板上，能够降低检测的难度。附图说明图1为检测水氧透过率的方法的示意图；图2为本专利技术提供的一种检测背板水氧透过率的方法的流程示意图；图3为经图2中的步骤S2后得到的背板的纵向截面示意图；图4为经图2中的步骤S2后得到的背板的横向界面的俯视图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。本专利技术提供了一种检测背板水氧透过率的方法，如图2所示，包括：步骤S1，在待检测的背板上形成金属电极图形；步骤S2，在形成有金属电极图形的背板上形成钙膜；步骤S3，将形成有金属电极图形和钙膜的背板作为隔板阻隔干燥室和潮湿室；步骤S4，通过所述金属电极图形测量钙膜的电导率的变化值，根据测量得到的变化值确定背板的水氧透过率。本专利技术中，将钙膜设置在待检测的背板上，将整个背板作为阻隔干燥室和潮湿室的隔板进行水氧透过率的检测，相比与现有技术中仅检测背板封装材料的方式，能够更真实反映需要保护的器件所面临的真实环境，提高了背板水氧透过率检测的精确度。再一方面，将检测导电率用的电极制作在待检测的背板上，能够降低检测的难度。本专利技术提供的方法可用于对太阳能电池背板或者OLED器件的背板的水氧透过率进行检测，以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测背板水氧透过率的方法，其特征在于，包括：在待检测的背板上形成金属电极图形；在形成有所述金属电极图形的背板上形成钙膜；将形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板作为隔板阻隔干燥室和潮湿室；通过所述金属电极图形测量所述钙膜的电导率的变化值，根据测量得到的变化值确定所述背板的水氧透过率。

【技术特征摘要】
1.一种检测背板水氧透过率的方法，其特征在于，包括：
在待检测的背板上形成金属电极图形；
在形成有所述金属电极图形的背板上形成钙膜；
将形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板作为隔板阻隔干
燥室和潮湿室；
通过所述金属电极图形测量所述钙膜的电导率的变化值，根据测
量得到的变化值确定所述背板的水氧透过率。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在形成有所述
金属电极图形的背板上形成钙膜包括：
形成覆盖在所述金属电极图形上的绝缘层；
在形成的所述绝缘层上形成所述钙膜；其中，所述绝缘层上形成
有过孔，所述钙膜通过所述过孔与所述金属电极图形相连。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述金属电极图形包括多个独立的电极，所述多个独立的电极对
应形成在所述背板上的不同区域；
所述通过所述金属电极图形测量所述钙膜的电导率的变化值，根
据测量得到的变化值确定所述背板的水氧透过率包括：
通过特定的独立电极测量相应区域的钙膜的电导率的变化值，根
据测量得到的变化值确定该相应区域的水氧透过率。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在形成所述钙膜之
后，将形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板作为隔板阻隔干燥
室和潮湿室之前，所述方法还包括：
使用盖板对形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板进行封
装。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述使用盖板对形
成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板进行封装包括：
在形成有所述金属电极图形和所述钙膜的背板上涂覆封框胶；
将所述盖板与背板进行对盒，并使用激光照射所述封框胶，使所
述封框胶固化。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在待检测的背
板上形成金属电极图形包括：
在待检测的背板上形成缓...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋志亮，嵇凤丽，玄明花，盖人荣，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11