一种高透过率光子筛制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于衍射光学元器件领域领域，尤其涉及一种高透过率光子筛。
技术介绍
传统的光学透镜由玻璃制成，玻璃透镜的聚焦和成像是通过折射入射光实现的，所以成为折射透镜。另外有种透镜，是一种衍射光学聚焦元件，通过选择过滤入射光的波前，让过滤后的光波在空间衍射，形成聚焦，因此被成为衍射透镜，由于是根据菲涅耳衍射定理制作的，所以又称为菲涅耳波带片。菲涅尔波带片的分辨率取决于它的最外环宽度，但是，该尺寸受到加工工艺的限制，所以菲涅耳波带片的分辨率难以进一步提高。有鉴于此，在2000年，有人提出了一种叫做光子筛衍射光学器件。光子筛是基于菲涅尔波带片的一种新型的衍射光学器件，它将菲涅耳波带片上亮环对应的区域用大量随机分布的透光小孔来代替，小孔的直径为相应波带片环带宽度的1.5倍。因此，可以放宽对加工工艺的要求，进而制作更大口径的光子筛，提高了数值孔径，从而提高成像的分辨率。此外，这些位置随机分布的透光小孔使得衍射光之间相互干涉，从而能够有效的抑制旁瓣效应和高级衍射，提高了分辨率，得到更为锐利的焦斑。而且，光子筛的重量比相同参数的菲涅尔波带片更轻，因而在高分辨率成像、亚波长光刻...
【技术保护点】
一种高透过率光子筛，其特征在于，包括：多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，第m个圆环的半径rm和环带宽度wm满足关系式：rm2＝2mfλ+m2λ2，wm＝rm?rm?1，m＝1、2、3...所述λ是入射光波长，所述f是光子筛焦距；并且分布在第m个圆环的方形微孔的边长am满足关系式：am＝0.5wm～2wm。
【技术特征摘要】
1.种高透过率光子筛，其特征在于，包括: 多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，第m个圆环的半径rm和环带宽度Wm满足关系式:rm2 = 2mf λ +m2 λ 2, wm = rm-rm_1, m = 1、2、3...所述λ是入射光波长，所述f是光子筛焦距； 并且分布在第m个圆环的方形微孔的边长am满足关系式: aIH = 0.5wm 2wm。2.据权利要求1所述光子筛，其特征在于，所述方形微孔的对角线与其所在环带的切线平行或垂直。3.据权利要求2所述光子筛，...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢常青，辛将，朱效立，刘明，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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0来自[北京市联通] 2015年01月18日 10:241.光量子，简称光子，是传递电磁相互作用的基本粒子，是一种规范玻色子。光子是电磁辐射的载体，而在量子场论中光子被认为是电磁相互作用的媒介子。与大多数基本粒子（如电子和夸克）相比，光子没有静止质量（爱因斯坦的运动质量公式m=m0/sqr[1-(v/c)2]中，光子的v=C，使得公式分母为0，但光子的运动质量m具有有限值，故光子的静止质量必须为零。），光子有速度、能量、动量、质量，这意味着其在真空中的传播速度是光速。但现代物理量子粒子学发展到今，人们发现每一中粒子物质的存在都有它们的反粒子的特性，因此，光子也因当在能量的驱导下，在特定的空间维度环境下也应当有凝聚，这个凝聚因是一种质体量子能荷的凝聚，单质碳基原子可能就是‘光子的凝聚’，开起2015年“光量子之年”的门。--‘光子也凝聚’。