一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法技术

本发明专利技术公开了一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，包括：一个放大器(G)，3个电阻(A、B、C)，3个开关(D、E、F)。换档有3个量程，分别为100mA、10mA、1mA，通过比较得到的束流值，用这3个档位，从模拟量到数字量，在数字量到确定的档位，得到最适合的档位。通过法拉第杯的自动换档，开始时用最大档位，在比较实际束流值与档位之间的相差值，得到最适合的档位，用这3个量程的使得到的束流值更加准确。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，包括：一个放大器(G)，3个电阻(A、B、C)，3个开关(D、E、F)。换档有3个量程，分别为100mA、10mA、1mA，通过比较得到的束流值，用这3个档位，从模拟量到数字量，在数字量到确定的档位，得到最适合的档位。通过法拉第杯的自动换档，开始时用最大档位，在比较实际束流值与档位之间的相差值，得到最适合的档位，用这3个量程的使得到的束流值更加准确。【专利说明】
本专利技术涉及离子注入机的束流检测。通过法拉第杯的自动换档后得到的束流值。
技术介绍
半导体集成电路制造工艺已发展到12英寸晶片、纳米技术节点时期。随着晶圆片尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也就越来越高。离子注入机是半导体集成电路器件制造工艺中必不可少的关键设备。为了提高离子注入机的性能，使其满足现代大晶圆片、纳米器件生产工艺的要求和适应将来半导体工艺技术的发展，必须要开发高效的全自动控制系统。 离子注入机中，在进行束流值检测时，通过法拉第杯来检测束流值。 通过法拉第自动换档的方法，提高了检查束流值的精度，同时也有效的减小了束流值的误差。
技术实现思路
本专利技术是针对离子注入机法拉第杯自动换档的控制，影响设备的束流值检测，而开发出的。 本专利技术通过以下技术方案实现: 1.，如图1所示包括:一个放大器 (6)，3个电阻(六、8、0，3个开关(03、？)。换档有3个量程，分别为100mA、10mA、1mA。电阻A、B、C的阻值A〈B〈C，对应的档位100mA、10mA、1mA。 2.，如图1中所示:通过开关改变不同阻值的电阻，从而改变档位 3.，如图2中所示:开始为最高档位，100mA，可以得到一定精度的束流值，通过一定的O到1V模拟量值，对应到O到65536的数字量值，再对应到O到10mA的档位，得到束流值m(其中m值的得到为O到65535中的某个值n，m=n*100 / 65535)，当m〈10mA时，切换档位为10mA，当m〈lmA时，切换档位为1mA。从而提高束流精度。 4.，通过自动换档，在引束过程中束流变化中，可以自动的换档，使引束过程更加方便，观察束流值更加清晰，准确。 本专利技术具有如下显著优点: 1.对束流值的精度值的提高。 2.对束流值的自动准确找到精度，在一定范围内，减少误差。 3.最开始用最大档位，虽然精度较低，但更容易确定精度范围，提高自动找到档位的时间，从而提闻精度，提闻自动换档的效率。 【专利附图】【附图说明】 图1为离子注入机法拉第杯自动换档的电路说明图。 图2为离子注入机法拉第杯自动换档的控制流程说明图。3个档位对应模拟量与数字量的关系。 【具体实施方式】 下面结合附图1和附图2对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。 如图1所示，通过开关改变不同阻值的电阻，从而改变档位。如图2所示，在法拉第杯自动换档的控制方法中，开始为选择最高档位，100mA，可以得到一定精度的束流值。通过设备中O到1V模拟量值，对应到数字信号分段，数字信号值为O?65535，通过数据的分段映射，对应到O到10mA的档位，得到束流值m(其中m值的得到为O到65535中的某个值n，m=n*100 / 65535)，当m〈10mA时，切换档位为10mA，当m〈lmA时，切换档位为1mA。从而提高束流精度。通过自动换档，在引束过程中束流变化中，当在ImA的档位时，得到束流值1mA，进行升换档，换档到1mA的档位，当在1mA的档位时，得到束流值10，再次进行升换档，换档到10mA的档位，通过自动的换档,使引束过程更加方便,观察束流值更加清晰，准确。 本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。【权利要求】1.，其特征在于:通过法拉第杯的自动换档，增加束流值的精度值。2.，其特征在于:通过法拉第杯的自动换档，确定束流的真实值，尽可能的减少误差。3.，其特征在于:通过切换档位，能够控制所需数据的精确度，根据实际需要，确定最后的精度。【文档编号】H01J37/244GK104465288SQ201310415466【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月12日 优先权日:2013年9月12日 【专利技术者】万伟 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，其特征在于：通过法拉第杯的自动换档，增加束流值的精度值。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：万伟，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11