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本发明公开了一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，包括：一个放大器(G)，3个电阻(A、B、C)，3个开关(D、E、F)。换档有3个量程，分别为100mA、10mA、1mA，通过比较得到的束流值，用这3个档位，从模拟量到数字量，在数字量...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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