调制装置和电源配置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种在多细射束带电粒子光刻系统中根据图案数据来调制带电粒子细射束的调制装置。该装置包括：板状主体；由多个细射束偏转器组成的阵列；多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；多个控制电路；以及导电板条(201)，用于供电给电源终端(202至205)中的一者或多者。该板状主体被分成狭长的射束区(51)以及狭长的非射束区(52)，该射束区(51)与该非射束区(52)被定位成使得它们的长边彼此相邻。细射束偏转器被放置在射束区中。控制电路被放置在非射束区中。导电板条被连接至非射束区中的控制电路。导电板条包括多个薄的导电平板(202至205)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及光刻系统，且更明确地说，本专利技术涉及带电粒子细射束调制装置以及用于细射束调制装置的电源系统。
技术介绍
带电粒子光刻系统在本领域中是已知的，举例来说，可从以本案申请人所有的美国专利第6,958,804号中得知。此光刻系统使用多个电子细射束(electron beamlet)将图案转印至目标表面。图案数据被发送至调制装置，该调制装置亦称为细射束阻断器阵列。在此，例如通过对这些细射束进行静电偏转用以接通或切断选定的细射束，来调制这些细射束。这些经过调制的细射束被投射到要被曝光的目标的表面上。为了能将图案高速转印至目标表面，可能会使用光学传送方式将控制数据传送至该调制装置。为制造能够以非常高的生产量实施具有较小临界图案尺寸的曝光的光刻系统，已经有人提出具有非常大量的带电粒子细射束的带电粒子系统。适用于较小临界尺寸的带电粒子系统中的射束数量大小可能为数万道、数十万道、或是数百万道。为达到光刻目的，进行最终投射的区域通常会限制到单个场，以及在细射束维持基本上平行的带电粒子系统中，这会造成该调制装置的区域被限制到约27x27mm。调制装置的电力需求相当大，而且在调制装置中流动的电流会产生磁场。在这样的小区域中，这些磁场的效应会变得非常明显。调制装置的区域中的任何磁场会施加一偏转作用力在通过该装置的电子细射束上，而且即使细射束非常小的偏转仍可能在该目标上造成写入误差。
技术实现思路
<br>所以，本专利技术的目的是降低因为在细射束调制装置中流动的电流而造成的不希望的磁场的效应。本专利技术由独立权利要求来定义。从属权利要求定义了有利的实施例。据此，根据随附权利要求，本专利技术涉及一种调制装置并且涉及一种带电粒子光刻系统，而且涉及一种电源配置。在第一方面，本专利技术涉及一种使用在带电粒子光刻系统(100)中的调制装置，该带电粒子光刻系统(100)适于产生带电粒子细射束(123)。该调制装置被配置成用以根据图案数据来调制该等带电粒子细射束并且包括：i)板状主体(106)；ii)由多个细射束偏转器(30)组成的阵列，所述细射束偏转器设置在所述板状主体(106)上，用于偏转所述细射束；iii)多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；iv)多个控制电路(40、41)，设置在所述板状主体(106)上，以接收所述图案数据和供应对应的控制信号给所述细射束偏转器(30)，其中，所述控制电路(40、41)由所述多个电源终端(202至205)来馈电；以及v)导电板条(201)，被配置成为所述电源终端(202至205供电。再者，该调制装置的主体被分成狭长的射束区(51)以及被定位在该射束区(51)旁边的狭长的非射束区(52)，使得该射束区(51)的一长边邻接一相邻非射束区(52)的一长边。这些细射束偏转器设置在射束区(51)中。控制电路(40、41)被放置在非射束区(52)中，用于提供控制信号给细射束偏转器(30)。导电板条(201)被连接至非射束区(52)中的控制电路(40、41)，该导电板条(201)包括多个薄的导电平板(202至205)，其中，导电板条(201)形成电源配置的一部分。设置在该板状主体“上”的多个细射束偏转器和控制电路并不意味着它们必须完全仅设置在板状主体的表面上。偏转器和控制电路的一部分，或是全部，也可能设置在板状主体中。电源配置提供了相对短的电源线路至控制电路和细射束偏转器。包括多个薄的导电平板(优选的是，每个平板连接至不同的电源终端，但是并非必要)的导电板条可能沿着该板条长度的全部或是大部分被连接至调制装置的控制电路，使得将电源连接至控制电路和细射束偏转器的导电线路会在基本上垂直于导电板条板面的方向中延伸，以便最小化它们的长度。结果，由这些互联线路所生成的磁场能够被最小化。降低磁场是通过该导电板条的特定结构实现的，该导电板条是由几个平行布置的薄的导电平板所组成的。调制装置的一个实施例包括被配置成向电源终端供电的多个导电板条。调制装置的主体被分成多个狭长的射束区以及被定位在射束区旁边的多个狭长的非射束区，使得每个射束区的一长边邻接一相邻非射束区的一长边。细射束偏转器被分群布置，每一群细射束偏转器均放置在射束区的其中一者中。控制电路被放置在非射束区中，用于为细射束偏转器提供控制信号。每个控制电路被放置在相邻于射束区中其中一者的非射束区中其中一者之中，射束区含有从该控制电路处接收控制信号的细射束偏转器中的一者或多者。再者，导电板条被连接至非射束区中的控制电路，每个导电板条包括多个薄的导电平板，其中，多个导电板条形成该电源配置的一部分。此种交替的调制装置设计的优点是：该调制装置能够被制造成更大型(也就是，提高该带电粒子光刻系统的写入能力)，同时保持与电源终端的短距且低阻抗的连接。在调制装置的实施例中，每个薄的导电平板被配置成用于连接到电源终端中各自的一个电源终端。如果控制电路具有有不同供应电压的多个电源终端，这会特别有利。在调制装置的实施例中，导电板条中其中一者的每个导电平板均有以一个或多个边终止的板面，而且这些平板设置成使得它们的板面基本上彼此平行。第一种效应是这些平板充当彼此的屏蔽平板。再者，此种结构允许有位于附近的电流返回路径，使得电流回路能够保持为较小的。这会导致电源线路电感较小，有利于电源噪声。在调制装置的实施例中，导电板条中其中一者的每个导电平板的板面有基本上相等的面积。此实施例的优点是屏蔽效应会提高，也就是，这些平板中没有任何一者会延伸超越其它平板。在调制装置的实施例中，每个导电平板具有基本上均匀的厚度。这还会造成这些平板有均匀的电阻值和均匀的最大电流容量。在调制装置的实施例中，导电平板中其中一者的厚度与该平板板面的面积的平方根的比值小于0.01。这种结构会导致在电源连接的低电源电阻值方面有非常好的电气性能。在调制装置的实施例中，导电板条中其中一者的每个导电平板具有相对于该导电板条其它导电平板基本上相同的电阻率。此较厚的导电板条可以有利地被选为共同的电源终端，也就是，电气接地终端，其充当所有电源终端的电流返回路径。在调制装置的实施例中，导电板条中其中一者的每个导电平板在其范围中的每个位置处具有相对于该导电板条其它导电平板基本上相同的电阻率。此种配置的优点是电源电位会被最佳定义(比较不会受到处理和设计变化的影响)。在调制装置的实施例中，每个导电平板的至少一个边适于连接至电源，而且每个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于带电粒子光刻系统(100)的调制装置，该带电粒子光刻系统(100)适于产生带电粒子细射束(123)，该调制装置被配置成用于根据图案数据来调制所述带电粒子细射束并且包括：‑板状主体(106)；‑被设置在所述板状主体(106)上用于偏转所述细射束的细射束偏转器(30)的阵列；‑多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；‑多个控制电路(40、41)，设置在所述板状主体(106)上，以接收所述图案数据和供应对应的控制信号给所述细射束偏转器(30)，其中，所述控制电路(40、41)由所述多个电源终端(202至205)馈电；以及‑导电板条(201)，配置成为所述电源终端(202至205)中的一者或多者供电，其中，所述调制装置的所述主体被分成狭长的射束区(51)以及狭长的非射束区(52)，所述非射束区(52)被定位成邻近所述射束区(51)，使得所述射束区(51)的一长边邻接相邻的非射束区(52)的一长边，其中，所述细射束偏转器设置在所述射束区(51)，其中，所述控制电路(40、41)设置在所述非射束区(52)，用于向所述细射束偏转器(30)提供控制信号；以及其中，所述导电板条(201)连接至所述非射束区(52)中的控制电路(40、41)，所述导电板条(201)包括多个薄的导电平板(202至205)，其中，所述导电板条(201)形成电源配置的一部分。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.05.14 US 61/646,835;2012.12.14 US 61/737,1881.一种用于带电粒子光刻系统(100)的调制装置，该带电粒子光刻系统
(100)适于产生带电粒子细射束(123)，该调制装置被配置成用于根据图
案数据来调制所述带电粒子细射束并且包括：
-板状主体(106)；
-被设置在所述板状主体(106)上用于偏转所述细射束的细射束偏转
器(30)的阵列；
-多个电源终端(202至205)，用于供应至少两个不同的电压；
-多个控制电路(40、41)，设置在所述板状主体(106)上，以接收所
述图案数据和供应对应的控制信号给所述细射束偏转器(30)，其中，所述
控制电路(40、41)由所述多个电源终端(202至205)馈电；以及
-导电板条(201)，配置成为所述电源终端(202至205)中的一者或
多者供电，
其中，所述调制装置的所述主体被分成狭长的射束区(51)以及狭长的
非射束区(52)，所述非射束区(52)被定位成邻近所述射束区(51)，使得
所述射束区(51)的一长边邻接相邻的非射束区(52)的一长边，
其中，所述细射束偏转器设置在所述射束区(51)，
其中，所述控制电路(40、41)设置在所述非射束区(52)，用于向所
述细射束偏转器(30)提供控制信号；以及
其中，所述导电板条(201)连接至所述非射束区(52)中的控制电路
(40、41)，所述导电板条(201)包括多个薄的导电平板(202至205)，其
中，所述导电板条(201)形成电源配置的一部分。
2.根据权利要求1所述的调制装置，其包括多个导电板条(201)，配置
成为所述电源终端(202至205)供电；
其中，所述调制装置的所述主体被分成多个狭长的射束区(51)以及多
个狭长的非射束区(52)，该非射束区(52)被定位成邻近所述射束区，使
得每个射束区的一长边邻接相邻的非射束区的一长边；
其中，所述细射束偏转器按群设置，每群细射束偏转器被放置在所述射
束区之一中；
其中，所述控制电路放置在所述非射束区，用于提供控制信号给所述细

\t射束偏转器(30)，每个控制电路被放置在与所述射束区之一相邻的一个非
射束区，所述射束区包含从所述控制电路接收控制信号的一个或多个所述细
射束偏转器；以及
其中，所述导电板条(201)被连接至所述非射束区中的所述控制电路，
每个导电板条(201)包括多个薄的导电平板(202至205)，其中，所述多
个导电板条(201)形成所述电源配置的一部分。
3.根据权利要求1或2所述的调制装置，其中，每个薄的导电平板(202
至205)配置成连接至各自一个所述电源终端(202至205)。
4.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，所述导电板条
(201)之一中的每个导电平板均具有一个以一个或多个边终止的板面，以
及所述平板设置成使得其板面基本上彼此平行。
5.根据权利要求4所述的调制装置，其中，所述导电板条之一的每个导
电平板的板面具有基本上相等的面积。
6.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，每个所述导电平
板具有基本上均匀的厚度。
7.根据权利要求4-6中任一项所述的调制装置，其中，所述导电平板之
一的厚度与所述平板的所述板面面积的平方根的比值小于0.01。
8.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，所述导电板条之
一的每个导电平板具有相对于该导电板条的其它导电平板基本上相同的电
阻率。
9.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，所述导电板条之
一的每个导电平板在其范围中的每个位置处具有相对于该导电板条的其它
导电平板基本上相同的电阻率。
10.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，每个导电平板的
至少一个边适于连接至电源，以及每个平板的其他至少一个边适于连接至多
个所述控制电路。
11.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，所述控制电路分
布在与相邻射束区长边邻接的非射束区长边的基本上整个长度中。
12.根据权利要求11所述的调制装置，其中，所述导电板条之一与非射
束区中控制电路之间的连接分布在邻接相邻射束区长边的非射束区长边的
基本上整个长度上。
13.根据前述权利要求中任一项所述的调制装置，其中，所述导电板条与
所述控制电路之间的连接是通过所述调制装置的所述主体的表面上的多个
导电凸块或焊接点形成的。
14.根据权利要求13所述的调制装置，其中，所述导电板条包括：第一
部分，其有一面平行于所述主体中放置所述凸块的表面；以及较大的第二部
分，其基本上垂直于所述主体的所述表面。
15.根据权利要求13或14所述的调制装置，其中，第一多个所述导电凸
块或焊接点连接导电板条的所述导电平板中的第一导电平板；第二多个所述
导电凸块连接所述导电板条的所述导电平板中的第二导电平板。
16.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：T范德普特，H登博尔，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL