一种发光二极管制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种发光二极管，所述发光二极管除包括：衬底、氮化镓基、反射镜层、多个电极孔洞、绝缘层、和电极结构外，还包括位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面的导热层，从而可以在所述发光二极管工作时，利用所述导热层对所述发光二极管工作过程中产生的热量进行散热，提高所述发光二极管的导热性，降低所述发光二极管工作时的温度，提高所述发光二极管的性能，使得所述发光二极管可以工作在更大的电流下，扩大所述发光二极管的使用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种发光二极管
本技术涉及发光二极管
，尤其涉及一种发光二极管。
技术介绍
氮化镓基发光二极管(LED)由于其使用寿命长、节能，已经引起人们很大的关注和广泛应用，如汽车照明、室内照明、室外照明和街道照明。蓝宝石衬底作为LED外延生长的主要衬底，其导电性能和散热性能都比较差，从而导致氮化镓基器件的散热问题比较严重，影响了 LED的性能。尤其是在大电流密度注入下，高的产热量严重影响了 LED在大电流上的使用。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术实施例提供了一种发光二极管，以提高所述发光二极管的散热性能，从而降低所述发光二极管工作时的温度，提高所述发光二极管的性能，扩大其使用范围。 为解决上述问题，本技术实施例提供了如下技术方案: —种发光二极管，包括: 衬底； 氮化镓基，所述氮化镓基位于所述衬底表面包括:位于所述衬底表面的第一氮化镓层，位于所述第一氮化镓层背离所述衬底一侧的有源层，位于所述有源层背离所述第一氮化镓层一侧的第二氮化镓层； 多个电极孔洞，所述电极孔洞位于所述氮化镓基内，完全贯穿所述第二氮化镓层和所述有源层，延伸至所述第一氮化镓层表面； 反射镜层，所述反射镜层位于所述第二氮化镓层背离所述有源层一侧表面； 绝缘层，所述绝缘层位于所述电极孔洞侧壁，且覆盖相邻电极孔洞之间反射镜层表面； 电极结构，所述电极结构包括:位于所述绝缘层表面且完全填充所述电极孔洞的第一电极，和位于未覆盖有所述绝缘层的反射镜层背离所述第二氮化镓层一侧表面的第二电极； 导热层，所述导热层位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面。 优选的，所述导热层包括:位于所述第一电极背离所述反射镜层一侧表面的第一导热层，和位于所述第二电极背离所述反射镜层一侧表面的第二导热层。 优选的，所述发光二极管还包括: 贯穿所述导热层的共晶层孔洞，所述共晶层孔洞包括:贯穿所述第一导热层的第一共晶层孔洞和贯穿所述第二导热层的第二共晶层孔洞； 完全填充所述第一共晶层孔洞和第二共晶层孔洞的共晶层。 优选的，所述第一共晶层孔洞与所述第二共晶层孔洞之间的距离不小于75 μπι。 优选的，所述发光二极管还包括: 位于所述第二氮化镓层与所述反射镜层之间的欧姆接触层。 优选的，所述发光二极管还包括: 位于所述反射镜层背离所述第二氮化镓层一侧表面的防扩散层，所述防扩散层部分位于所述第二氮化镓层与所述绝缘层之间，部分位于所述第二氮化镓层与所述第二电极之间。 优选的，所述导热层为类金刚石碳膜层。 优选的，所述导热层的厚度不小于I μπι。 与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点: 本技术实施例所提供的发光二极管除包括:衬底、氮化镓基、反射镜层、多个电极孔洞、绝缘层、和电极结构外，还包括位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面的导热层，从而可以在所述发光二极管工作时，利用所述导热层对所述发光二极管工作过程中产生的热量进行散热，提高所述发光二极管的导热性，降低所述发光二极管工作时的温度，提高所述发光二极管的性能，使得所述发光二极管可以工作在更大的电流下，扩大所述发光二极管的使用范围。 【附图说明】 为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 图1为本技术一个实施例所提供的发光二极管的结构示意图； 图2-图10为本技术一个实施例中所提供的发光二极管制作方法的流程示意图。 【具体实施方式】 正如
技术介绍
部分所述，现有技术中氮化镓基器件的散热问题比较严重，影响了LED的性能。尤其是在大电流密度注入下，高的产热量严重影响了 LED在大电流上的使用。 有鉴于此，本技术实施例提供了一种发光二极管，包括: 衬底； 氮化镓基，所述氮化镓基位于所述衬底表面，包括:位于所述衬底表面的第一氮化镓层，位于所述第一氮化镓层背离所述衬底一侧的有源层，位于所述有源层背离所述第一氮化镓层一侧的第二氮化镓层； 多个电极孔洞，所述电极孔洞位于所述氮化镓基内，完全贯穿所述第二氮化镓层和所述有源层，延伸至所述第一氮化镓层表面； 反射镜层，所述反射镜层位于所述第二氮化镓层背离所述有源层一侧表面； 绝缘层，所述绝缘层位于所述电极孔洞侧壁，且覆盖相邻电极孔洞之间反射镜层表面； 电极结构，所述电极结构包括:位于所述绝缘层表面且完全填充所述电极孔洞的第一电极，位于未覆盖有所述绝缘层的反射镜层背离所述第二氮化镓层一侧表面的第二电极； 导热层，所述导热层位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面。 相应的，本技术实施例还提供了，包括: 提供衬底； 在所述衬底表面形成氮化镓基，所述氮化镓基包括:位于所述衬底表面的第一氮化镓层，位于所述第一氮化镓层背离所述衬底一侧的有源层，位于所述有源层背离所述第一氮化镓层一侧的第二氮化镓层； [0041 ] 在所述氮化镓基内形成多个电极孔洞，所述电极孔洞完全贯穿所述第二氮化镓层和有源层，延伸至所述第一氮化镓层； 在所述第二氮化镓层背离所述有源层的一侧表面形成反射镜层； 在所述电极孔洞侧壁和相邻电极孔洞之间的反射镜层表面形成绝缘层； 在所述绝缘层表面和所述电极孔洞内形成第一电极，并在未覆盖有所述绝缘层的反射镜层背离所述第二氮化镓层的一侧形成第二电极，所述第一电极和第二电极统称为电极结构； 在所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面形成导热层。 由此可见，本技术实施例所提供的发光二极管中，除包括:衬底、氮化镓基、反射镜层、多个电极孔洞、绝缘层、和电极结构外，还包括位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面的导热层，从而可以在所述发光二极管工作时，利用所述导热层对所述发光二极管工作过程中产生的热量进行散热，提高所述发光二极管的导热性，降低所述发光二极管工作时的温度，提高所述发光二极管的性能，使得所述发光二极管可以工作在更大的电流下，扩大所述发光二极管的使用范围。 为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的【具体实施方式】做详细的说明。 在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广。因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。 如图1所示，本技术实施例提供了一种发光二极管，包括: 衬底1，优选的，所述衬底I为蓝宝石衬底，但本技术对此并不做限定，具体视情况而定； 氮化镓基，所述氮化镓基位于所述衬底I表面包括:位于所述衬底I表面的第一氮化镓层2，位于所述第一氮化镓层2背离所述衬底I 一侧的有源层3，位于所述有源层3背离所述第一氮化镓层2 —侧的第二氮化镓层4，其中，所述第一氮化镓层2和第二氮化镓层4的掺杂类型不同； 多个电极孔洞5，所述电极孔洞5位于所述氮化镓基内，完全贯穿所述第二氮化镓层4和所述有源层3，延伸至所述第一氮化镓层2表面； 反本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光二极管，其特征在于，包括：衬底；氮化镓基，所述氮化镓基位于所述衬底表面包括：位于所述衬底表面的第一氮化镓层，位于所述第一氮化镓层背离所述衬底一侧的有源层，位于所述有源层背离所述第一氮化镓层一侧的第二氮化镓层；多个电极孔洞，所述电极孔洞位于所述氮化镓基内，完全贯穿所述第二氮化镓层和所述有源层，延伸至所述第一氮化镓层表面；反射镜层，所述反射镜层位于所述第二氮化镓层背离所述有源层一侧表面；绝缘层，所述绝缘层位于所述电极孔洞侧壁，且覆盖相邻电极孔洞之间反射镜层表面；电极结构，所述电极结构包括：位于所述绝缘层表面且完全填充所述电极孔洞的第一电极，和位于未覆盖有所述绝缘层的反射镜层背离所述第二氮化镓层一侧表面的第二电极；导热层，所述导热层位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面。

【技术特征摘要】
1.一种发光二极管，其特征在于，包括: 衬底； 氮化镓基，所述氮化镓基位于所述衬底表面包括:位于所述衬底表面的第一氮化镓层，位于所述第一氮化镓层背离所述衬底一侧的有源层，位于所述有源层背离所述第一氮化镓层一侧的第二氮化镓层； 多个电极孔洞，所述电极孔洞位于所述氮化镓基内，完全贯穿所述第二氮化镓层和所述有源层，延伸至所述第一氮化镓层表面； 反射镜层，所述反射镜层位于所述第二氮化镓层背离所述有源层一侧表面； 绝缘层，所述绝缘层位于所述电极孔洞侧壁，且覆盖相邻电极孔洞之间反射镜层表面； 电极结构，所述电极结构包括:位于所述绝缘层表面且完全填充所述电极孔洞的第一电极，和位于未覆盖有所述绝缘层的反射镜层背离所述第二氮化镓层一侧表面的第二电极； 导热层，所述导热层位于所述电极结构背离所述反射镜层一侧表面。2.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述导热层包括:位于所述第一电极背离所述反射镜层一侧表面的第一导热层，和位于所述第二电极背离所述反射镜层一侧表面的第二导热...

【专利技术属性】
技术研发人员：张楠，张鹏，张冀，
申请(专利权)人：佛山市国星半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44