高可靠性LED及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高可靠性LED及其制备方法，涉及发光二极管技术领域。制备方法包括：提供外延片，形成光刻胶层；将光刻胶层曝光显影形成具有底切部的第一孔洞，在第一孔洞中形成至少一层第一金属层；在60℃～120℃烘烤5min～15min，以使位于所述底切部上方的光刻胶层顶起预设距离，所述第一孔洞扩大形成第二孔洞；在第二孔洞内形成至少一层第二金属层，去除光刻胶层，形成N电极、P电极；形成钝化层，并开孔，即得到高可靠性LED成品。实施本发明专利技术，可形成具有良好包覆结构的电极结构，有效提升了LED的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及发光二极管，尤其涉及一种高可靠性led及其制备方法。

技术介绍

1、发光二极管(led)是一种能够将电能转化为可见光的固态的半导体器件，作为照明器件，相对传统照明器件，发光二极管有相当大优势——寿命长、光效高、无辐射、低功耗、绿色环保。目前led主要用于显示屏、指示灯、背光源等领域。

2、现行业内对led的可靠性能要求更高，其中led的电极为可靠性主要影响因素，常用的电极结构中有al、ti等容易被氧化的金属，若其被氧化，则会导致led失效，大幅降低了可靠性。因此，在制备led电极的过程中，要对电极结构形成良好的包覆，但现有的蒸镀工艺往往难以形成良好的包覆。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种高可靠性led的制备方法，其可对电极形成良好的包覆，提升led的可靠性。

2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种高可靠性led的制备方法，其包括以下步骤：

3、(1)提供外延片，所述外延片包括衬底和依次层叠于所述衬底上的n型半导体层、有源层本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高可靠性LED的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的高可靠性LED的制备方法，其特征在于，步骤(2)包括：

3.如权利要求2所述的高可靠性LED的制备方法，其特征在于，步骤(3)包括：

4.如权利要求3所述的高可靠性LED的制备方法，其特征在于，步骤(3.3)中，显影时间为40s～45s。

5.如权利要求1所述的高可靠性LED的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，步骤(5)中，所述预设距离为0.5μm～2μm。

6.如权利要求1所述的高可靠性LED的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，所述第一金属...

【技术特征摘要】

1.一种高可靠性led的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的高可靠性led的制备方法，其特征在于，步骤(2)包括：

3.如权利要求2所述的高可靠性led的制备方法，其特征在于，步骤(3)包括：

4.如权利要求3所述的高可靠性led的制备方法，其特征在于，步骤(3.3)中，显影时间为40s～45s。

5.如权利要求1所述的高可靠性led的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，步骤(5)中，所述预设距离为0.5μm～2μm。

6.如权利要求1所述的高可靠性led的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，所述第一金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洪安，张萌，刘浩斌，李彩凤，
申请(专利权)人：佛山市国星半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：