下载高可靠性LED及其制备方法的技术资料

文档序号:40877345

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本发明公开了一种高可靠性LED及其制备方法,涉及发光二极管技术领域。制备方法包括:提供外延片,形成光刻胶层;将光刻胶层曝光显影形成具有底切部的第一孔洞,在第一孔洞中形成至少一层第一金属层;在60℃~120℃烘烤5min~15min,以使位于...
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