喷嘴端口制造技术

本发明专利技术公开了一种喷嘴端口，该喷嘴端口耦接至喷嘴头座，使得在洗涤基板的过程期间朝向基板喷射洗涤水，该喷嘴端口包括：凸缘，具有形成在该凸缘中的中空部分；以及管体，具有形成在该管体的前端部分中的排出狭缝，以与凸缘的中空部分连通。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴端口相关申请的交叉引证本申请要求于2013年8月12日提交的题为“Nozzle Tip (喷嘴端口)”的韩国专利申请系列号10-2013-0095412的外国优先权权益，由此通过引证方式将其全部内容结合于本申请中。
本专利技术涉及一种喷嘴端口，并且更具体地，涉及一种在洗涤基板的过程期间朝向基板的表面喷射洗涤水的喷嘴端口。
技术介绍
通常，针对洗涤以及蚀刻基板的处理，涂污在基板的表面上的各种异物通过利用双流体喷嘴喷射的薄雾而去除。 即，水和空气被引入到双流体喷嘴中并且然后被雾化，以便双流体喷嘴以预定角度朝向基板的表面喷射薄雾，该薄雾是雾化的水和空气的混合物。 根据现有技术的上述双流体喷嘴通常通过使薄雾的喷射角度宽而执行基板的清洁，并且该双流体喷嘴通过使喷射厚度薄而用于提高击打力。 双流体喷嘴的喷射角度根据形成为环形形状的喷射角度调节构件的厚度或位置来调节。 然而，在薄雾喷射期间喷射角度需要调节的情况下，根据现有技术的双流体喷嘴是不方便的，这是因为为了使用该双流体喷嘴，首先需要将喷射角度调节构件与该双流体喷嘴分离，并且然后将另一个喷射角度调节构件插入到该双流体喷嘴中。 具体地，在替换喷射角度调节构件的过程期间，在喷射角度调节构件被迫与双流体喷嘴分离之后，该喷射角度调节构件可被替换，这使得可操作性会被降低。 此外，因为双流体喷嘴具有大量的部件，该喷嘴还具有大量的装配和处理，并且在双流体喷嘴的内部结构、其流体路径中的直线流体路径部分和流线流体路径部分彼此连接的情况下，会使得加工性显著地降低。 [现有技术文献] [专利文献] (专利文献I)引用参考:韩国专利公开第2005-0102966号
技术实现思路
本专利技术的目的是通过减少部件的数量提供一种具有优异的可加工性和装配特性的喷嘴端口。 本专利技术的另一个目的是提供一种通过将流体的流体路径构造为流线型形状而改善流体的流动性的喷嘴端口。 根据本专利技术的示例性实施方式，提供了一种喷嘴端口，该喷嘴端口耦接至喷嘴头座，使得在洗涤基板的过程期间朝向基板喷射洗涤水，该喷嘴端口包括:凸缘，具有形成在该凸缘中的中空部分；以及管体，具有形成在该管体的前端部分中的排出狭缝，以与凸缘的中空部分连通。 喷嘴头座和凸缘可分别设置有对准突出部和对准孔，至少一个对准突出部可以形成在喷嘴头座上，并且对准孔可以形成为与喷嘴头座的对准突出部的数量和位置相对应。 管体可以具有形成在该管体的内表面上的流体路径引导部，以使得通过中空部分弓I入的洗涤水移动至排出狭缝的中央。 流体路径引导部可以以朝向一位置的流线型形状形成，在该位置处，管体的排出狭缝形成。 管体的排出狭缝可以具有形成在该排出狭缝的中央部分中的连通孔，以使得引入的洗涤水被流出。 流体路径引导部可以具有连接直至超过排出狭缝深度的一半的位置的端部，并且排出狭缝可以根据该排出狭缝的宽度和长度来确定洗涤水的喷射角度。 凸缘可以通过螺母固定至喷嘴头座，该喷嘴头座具有形成在喷嘴头座的圆周表面上的螺纹。 【附图说明】 图1是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的立体图； 图2是根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的截面图； 图3A和图3B是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的喷射角度的示意图； 图4是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口安装的情况的示意图；以及 图5是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的启动情况的示意图。 【具体实施方式】 下文中，将参考附图详细地描述本专利技术的示例性实施方式。 图1是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口(tip)的立体图，图2是根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的截面图，图3A和图3B是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的喷射角度的示意图，图4是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口安装的情况的示意图，以及图5是示出了根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口的致动情况的示意图。 如图1至图4所示，在洗涤基板的过程期间，根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口 100通过朝向基板喷射洗涤水而去除涂污在基板的表面上的异物。 喷嘴端口 100的每个均耦接至喷嘴头座(header，顶座)10，这些喷嘴头座设置成通过预定间距而彼此间隔开，并且这些喷嘴端口设置成使得喷嘴端口的喷射角度不与相邻的喷嘴头座10相交。 根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口 100包括凸缘20以及管体40，该凸缘紧密地附接至喷嘴头座10的前端表面并且具有在凸缘的中央部分中形成的中空部分，该管体具有在前端部分中形成的排出狭缝42，从而与凸缘20的中空部分连通。 凸缘20可以构造成具有与喷嘴头座10的直径相同的直径。在这种情况下，喷嘴头座10具有在喷嘴头座的前端表面上形成的对准突出部12。相反，凸缘20设置有喷嘴头座的对准突出部12插入的对准孔22。 S卩，凸缘20和喷嘴头座10每个均可以设置有至少一个对准孔22和对准突出部12，并且在一些情况下可以设置有两个或更多个对准孔22和对准突出部12，以从而插入到彼此中。 此外，凸缘20具有与凸缘整体构造的管体，该管体具有圆柱形形状。管体40与凸缘20的中空部分连通，并且除了在管体的中央部分中形成的排出狭缝42之外，该管体还具有敞开的一个表面和被阻断的相对的表面。 S卩，管体40具有其中一个表面是敞开的杯形形状，并且具有用于引进并且排出洗涤水的排出狭缝42，该排出狭缝形成在管体的中央部分中。 排出狭缝42具有冲压(punch)在排出狭缝中的连通孔43，以便与管体40的内部连通。以上提及的排出狭缝42可以形成为包括具有预定深度的凹槽。 此外，洗涤水的喷射角度可以通过排出狭缝42的宽度和长度来确定。S卩，随着排出狭缝42的宽度和长度变长，洗涤水的喷射角度变大。相反，随着排出狭缝42的宽度和长度变小，喷射角度变窄。 因此，当排出狭缝42在管体40中形成时，待喷射的角度被提前计算，并且然后排出狭缝42需要根据计算出的角度来形成。 同时，管体40可以具有在管体的内表面上形成的流体路径引导部44，以便通过中空部分引入的洗涤水移动至排出狭缝42的中央部分。 流体路径引导部44具有这样的形状，即在该形状中，该流体路径引导部的内径在凸缘20与管体40的连接部分处以流线型形状变窄。 以流线型形状形成的流体路径引导部44的前端部分可以形成为直至这样的位置，即在该位置穿过排出狭缝的连通孔43并且部分地超过排出狭缝42的深度的一半。这允许洗涤水通过流体路径引导部44流畅地移动至连通孔43。 如上所述，如图5所示，根据本专利技术的示例性实施方式的喷嘴端口通过将凸缘20紧密地附接至以预定间距设置的多个喷嘴头座10而形成为一体，以便对准突出部12插入到对准孔22中，并且然后紧固有螺帽N。 当然，喷嘴头座10具有在喷嘴头座的圆周表面上形成的螺纹，使得当喷嘴端口100紧密地附接至喷嘴头座10并且然后螺帽N拧紧时，喷嘴头座10和喷嘴端口 100通过螺帽N而彼此固定。 一旦喷嘴端口 100如上所述固定，则洗涤水供应给喷嘴头座10。 供应至喷嘴头座10的洗涤水穿过喷嘴头座10，并且移动至管体40的中空部分。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴端口，耦接至喷嘴头座，使得在洗涤基板的过程期间朝向所述基板喷射洗涤水，所述喷嘴端口包括：凸缘，具有形成在所述凸缘中的中空部分；以及管体，具有形成在所述管体的前端部分中的排出狭缝，以与所述凸缘的所述中空部分连通。

【技术特征摘要】
2013.08.12 KR 10-2013-00954121.一种喷嘴端口，耦接至喷嘴头座，使得在洗涤基板的过程期间朝向所述基板喷射洗涤水，所述喷嘴端口包括: 凸缘，具有形成在所述凸缘中的中空部分；以及 管体，具有形成在所述管体的前端部分中的排出狭缝，以与所述凸缘的所述中空部分连通。2.根据权利要求1所述的喷嘴端口，其中，所述喷嘴头座和所述凸缘分别设置有对准突出部和对准孔。3.根据权利要求2所述的喷嘴端口，其中，至少一个所述对准突出部形成在所述喷嘴头座上。4.根据权利要求2或3所述的喷嘴端口，其中，所述对准孔形成为与所述喷嘴头座的所述对准突出部的数量和位置相对应。5.根据权利要求1所述的喷嘴端口，其中，所述管体具有形成在所述管体的内表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：高民喆，成天模，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR