本发明专利技术提供一种环境测定装置以及环境测定方法，在环境测定装置以及环境测定方法中，高精度地测定大气中的腐蚀性气体。环境测定装置(10)具备运算部(13)，其计算出第1QCM传感器(11a)的第1共振频率(f1m)的第1变化量(Δf1m)、以及第2QCM传感器(11b)的第2共振频率(f2m)的第2变化量(Δf2m)，运算部(14)基于第1期间(T1)内的第1变化量(Δf1m)和该第1期间(T1)内的第2变化量(Δf2m)，来修正该第2变化量(Δf2m)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种，在中，高精度地测定大气中的腐蚀性气体。环境测定装置(10)具备运算部(13)，其计算出第1QCM传感器(11a)的第1共振频率(f1m)的第1变化量(Δf1m)、以及第2QCM传感器(11b)的第2共振频率(f2m)的第2变化量(Δf2m)，运算部(14)基于第1期间(T1)内的第1变化量(Δf1m)和该第1期间(T1)内的第2变化量(Δf2m)，来修正该第2变化量(Δf2m)。【专利说明】
本专利技术涉及。
技术介绍
大气中包含有腐蚀电子设备的腐蚀性气体。作为腐蚀性气体的产生源，例如有制 纸工厂、橡胶工厂等化学工厂、垃圾处理场、下水处理场、火山、以及包含化学物质的日用品 等。 作为从这些产生源出来的腐蚀性气体之一有硫化氢气体，电子设备内的布线通过 该硫化氢气体腐蚀，该电子设备发生故障。特别是，在信息化社会中子设备支承社会基础建 设的系统基础的情况下，社会活动也可能由于电子设备的故障而瘫痪。 为了将由腐蚀性气体引起的电子设备的故障防患于未然，监视设置有电子设备的 环境中所包含的腐蚀性气体，预先掌握因该腐蚀性气体引起的腐蚀而电子设备发生故障的 可能性是非常有用的。 作为监视腐蚀性气体的传感器，已知有QCM(Quartz Crystal Microbalance :石晶 英体微天平）传感器。QCM传感器是能够通过利用若水晶振子的电极的质量通过腐蚀而变 化则共振频率根据其腐蚀量减少的性质，来测定极微量的质量变化的质量传感器。 该QCM传感器中，若伴随时间经过而电极的腐蚀量变多则共振频率的变化变钝， QCM传感器迎来其寿命。因此，优选在长时间地监视腐蚀气体的情况下，将寿命将至的QCM 传感器更换成新的QCM传感器，以免产生监视的空白期间。 但是，因为QCM传感器存在个体差，所以通过更换后的QCM传感器不一定能够维持 腐蚀性气体的腐蚀量的测定精度。
技术实现思路
目的在于在中，高精度地测定大气中的腐蚀性气 体。 根据以下的公开的一观点，提供了一种环境测定装置，该环境测定装置具备运算 部，其计算出第IQCM传感器的第1共振频率的第1变化量、以及第2QCM传感器的第2共振 频率的第2变化量，上述运算部基于第1期间内的上述第1变化量和该第1期间内的上述 第2变化量，来修正该第2变化量。 另外，根据该公开的另一观点，提供了一种环境测定方法，该环境测定方法具有： 计算出第IQCM传感器的第1共振频率的第1变化量的步骤；计算出第2QCM传感器的第2 共振频率的第2变化量的步骤；以及基于第1期间内的上述第1变化量和该第1期间内的 上述第2变化量，来修正该第2变化量的步骤。 【专利附图】【附图说明】 图1是其调查中使用的QCM传感器的立体图。 图2(a)、（b)是调查QCM传感器的个体差而得到的曲线图。 图3是第1实施方式的环境测定装置的构成图。 图4是第1实施方式的环境测定装置具备的振荡电路的电路图。 图5是第1实施方式的环境测定装置具备的驱动部的连接器附近的放大图。 图6是表示第1实施方式的环境测定装置具备的各QCM传感器的测定结果的一个 例子的图。 图7是用于对第1实施方式的环境测定方法进行说明的流程图。 图8是用于在第1实施方式中说明第1修正系数的计算方法的图。 图9是表示在第1实施方式中，修正后的第2曲线图的图。 图10是第2实施方式中使用的传感器单元的立体图。 图11是第2实施方式中使用的传感器单元具备的闸门的展开图。 图12是沿图10的I - I线的剖视图。 图13是第2实施方式的环境测定装置的构成图。 图14(a)?（c)是用于对第2实施方式中使用的传感器单元的动作进行说明的俯 视图。 图15是第3实施方式中使用的传感器单元的俯视图。 图16 (a)是第3实施方式中使用的第1旋转板的俯视图，图16 (b)是第3实施方 式中使用的第2旋转板52的俯视图。 图17(a)是沿图15的II - II线的剖视图，图17(b)是在第2旋转板收纳了干燥 剂的情况下的放大剖视图。 图18是第3实施方式的传感器单元的壳体的开口端的放大剖视图。 图19是第3实施方式的环境测定装置的构成图。 图20(a)?（c)是表示在第3实施方式中，第1时刻之前的时刻中的传感器单元 的状态的图。 图21 (a)?（c)是表不在第3实施方式中，第1时刻与第2时刻之间的时刻中的 传感器单元的状态的图。 图22(a)?（c)是表示在第3实施方式中，第2时刻之后的时刻中的传感器单元 的状态的图。 图23是第4实施方式的QCM传感器的俯视图。 图24是第5实施方式的环境测定装置的构成图。 图25是第5实施方式中使用的传感器单元的立体图。 图26是沿图25的III - III线的剖视图。 图27是第5实施方式中的第2QCM传感器与驱动部的放大图。 图28是表示第5实施方式中的各QCM传感器的测定结果的一个例子的图。 图29是用于对第5实施方式的环境测定方法进行说明的流程图。 图30是用于对第5实施方式中第1修正系数的计算方法进行说明的图。 图31是通过第5实施方式中生成的测定值得到的曲线图。 图32是图31的曲线图的放大图。 图33是第6实施方式中使用的传感器单元的俯视图。 图34是第6实施方式中使用的传感器单元具备的闸门的俯视图。 图35是沿图33的IV - IV线的剖视图。 图36是第6实施方式的环境测定装置的构成图。 图37 (a)?（d)是用于对第6实施方式的环境测定装置具备的传感器单元的动作 进行说明的俯视图。 图38(a)是第7实施方式中使用的传感器单元的俯视图，图38(b)是沿图38(a) 的V - V线的剖视图。 图39是第7实施方式中使用的传感器单元具备的闸门的展开图。 图40是第7实施方式的环境测定装置的构成图。 图41 (a)?（c)是用于对第7实施方式的环境测定装置具备的传感器单元的动作 进行说明的俯视图（其1)。 图42 (a)、（b)是用于对第7实施方式的环境测定装置具备的传感器单元的动作进 行说明的俯视图（其2)。 图43是表示第8实施方式中使用的各QCM传感器的测定结果的一个例子的图。 【具体实施方式】 本实施方式的说明之前，对本申请【专利技术者】进行的调查结果进行说明。该调查中，如 以下那样调查了 QCM传感器的个体差。 图1是其调查中使用的QCM传感器1的立体图。 QCM传感器1具备圆盘状的水晶振子5、形成于该水晶振子5的一方的主面的第1 电极6、以及形成于水晶振子5的另一方的主面的第2电极7。 水晶振子5的尺寸、切割并不特别限定。本调查中，使用直径是8mm的AT切割的 水晶振子5。 另外，第1电极6和第2电极7的各个的材料根据成为检测对象的腐蚀性气体选 择。例如，在检测硫化氢的情况下能够使用银作为第1电极6和第2电极7的材料。另外， 在检测氯气的情况下，能够使用铜作为第1电极6和第2电极7的材料。 而且，以金属等为材料的导线8本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种环境测定装置，其特征在于，具备运算部，该运算部计算出第1QCM传感器的第1共振频率的第1变化量、以及第2QCM传感器的第2共振频率的第2变化量，所述运算部基于第1期间内的所述第1变化量和该第1期间内的所述第2变化量，来修正该第2变化量。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：尾崎光男，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。