一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置，涉及柔性显示技术领域，可减小该薄膜晶体管在弯曲时发生图案断裂的几率，使显示装置在弯曲状态下也能够保证正常的显示。该薄膜晶体管，包括依次位于柔性衬底之上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层、以及源极和漏极；所述薄膜晶体管还包括分别贯通所述层间绝缘层和所述栅绝缘层的至少1个第一过孔和至少1个第二过孔；所述源极、所述漏极分别通过所述第一过孔、所述第二过孔与所述有源层相接触；其中，所述有源层的图形、所述栅极的图形、所述源极的图形、以及所述漏极的图形均为防断裂结构图形。用于可减少弯曲时图案断裂的薄膜晶体管的制备。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术实施例提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置，涉及柔性显示
，可减小该薄膜晶体管在弯曲时发生图案断裂的几率，使显示装置在弯曲状态下也能够保证正常的显示。该薄膜晶体管，包括依次位于柔性衬底之上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层、以及源极和漏极；所述薄膜晶体管还包括分别贯通所述层间绝缘层和所述栅绝缘层的至少1个第一过孔和至少1个第二过孔；所述源极、所述漏极分别通过所述第一过孔、所述第二过孔与所述有源层相接触；其中，所述有源层的图形、所述栅极的图形、所述源极的图形、以及所述漏极的图形均为防断裂结构图形。用于可减少弯曲时图案断裂的薄膜晶体管的制备。【专利说明】—种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置
本技术涉及柔性显示
，尤其涉及一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，研发人员开发出了可折叠或卷起的柔性显示装置，与传统的刚性显示装置(即制作在玻璃等不可弯曲的基材上的显示装置)相比，柔性显示装置具有诸多优势，如重量轻、体积小、携带更为方便；更高的耐冲击性以及更强的抗震性能。 如图1所示，柔性显示装置目前面临的主要问题是在弯曲时，像素单元或周边驱动电路中的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT) 01容易在有源层20、源极61及漏极62对应区域发生图案的断裂，导致TFT的源极61与漏极62无法导通，使得相应的信号电压无法传输至像素电极或相应的电路结构内，以至于显示不良。 因此，如何使TFT的图案在弯曲状态下不易发生断裂是目前亟待解决的技术难点。
技术实现思路
本技术的实施例提供一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置，可减小该薄膜晶体管在弯曲时发生图案断裂的几率，使显示装置在弯曲状态下也能够保证正常的显示。 为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案: —方面、本技术实施例提供了一种薄膜晶体管，包括依次位于柔性衬底之上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层、以及源极和漏极；所述薄膜晶体管还包括分别贯通所述层间绝缘层和所述栅绝缘层的至少I个第一过孔和至少I个第二过孔；所述源极、所述漏极分别通过所述第一过孔、所述第二过孔与所述有源层相接触；其中，所述有源层的图形、所述栅极的图形、所述源极的图形、以及所述漏极的图形均为防断裂结构图形。 可选的，所述防断裂结构图形包括环形、曲线、折线中至少一种图形。 优选的，所述环形包括正方形环、长方形环、菱形环、圆形环。 可选的，所述有源层的图形由I个所述环形构成。 可选的，所述有源层的图形由2个所述环形组成的8字型双环构成，或，所述有源层的图形由I个所述环形以及与所述环形相交的曲线或折线构成。 可选的，所述栅极的图形由曲线、或折线、或I个所述环形构成。 可选的，所述源极的图形由曲线或折线构成；所述漏极的图形由曲线或折线构成。 可选的，所述有源层的图形由N个单元图形平行排列构成；所述单元图形由2个所述环形组成的8字型双环构成，或，所述单元图形由I个所述环形以及与所述环形相交的曲线或折线构成；所述栅极的图形由N个所述环形平行排列构成，或，所述栅极的图形由N段曲线或N段折线构成；所述源极的图形由N段曲线或N段折线构成；所述漏极的图形由N段曲线或N段折线构成；其中，N为大于等于2的正整数。 在上述基础上优选的，其特征在于，所述有源层为低温多晶硅有源层。 另一方面、本技术实施例还提供了一种阵列基板，包括上述的薄膜晶体管。 再一方面、本技术实施例又提供一种显示装置，包括上述的阵列基板。 本技术实施例中，由于所述薄膜晶体管中的所述有源层的图形、所述栅极的图形、所述源极的图形、以及所述漏极的图形均为防断裂结构图形，这样的图形在整体发生弯曲时可以使张力部分分散，从而减小了柔性显示装置弯曲时导致薄膜晶体管中的图形断裂的几率，保证了柔性显示装置能够正常显示。 【专利附图】【附图说明】 为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 图1为现有技术提供的一种薄膜晶体管的结构示意图； 图2为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管的结构示意图一； 图3为沿图2中k_k'方向的剖面结构示意图； 图4为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管中的结构示意图二； 图5为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管中的结构示意图三； 图6为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管中的结构示意图四； 图7为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管中的结构示意图五； 图8为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管中的结构示意图六； 图9为本技术实施例提供的一种薄膜晶体管中的结构示意图七。 附图标记: 01-薄膜晶体管；10_柔性衬底；20_有源层；20a_单元图形；30_栅绝缘层；40_栅极；50_层间绝缘层；61_源极；62_漏极；71_第一过孔；72_第二过孔。 【具体实施方式】 下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。 本技术实施例提供了一种薄膜晶体管01，如图2-3所示，包括依次位于柔性衬底10之上的有源层20、栅绝缘层30 (图2中未标示出)、栅极40、层间绝缘层50 (图2中未标示出)、以及源极61和漏极62 ;所述薄膜晶体管01还包括分别贯通所述层间绝缘层50和所述栅绝缘层30的至少I个第一过孔71和至少I个第二过孔72 ;所述源极61、所述漏极62分别通过所述第一过孔71、所述第二过孔72与所述有源层20相接触；其中，所述有源层20的图形、所述栅极40的图形、所述源极61的图形、以及所述漏极62的图形均为防断裂结构图形。 这里，图2仅示意出了所述防断裂结构图形的形状之一，所述防断裂结构图形不限于此，只要满足在弯曲状态下不易发生断裂即可。 其中，上述的柔性衬底10例如可以是塑料衬底、不锈钢衬底、具有可绕曲性的超薄玻璃衬底、改性的纸质衬底、以及复合薄膜衬底等。 本技术实施例中，由于所述薄膜晶体管中的所述有源层20的图形、所述栅极40的图形、所述源极61的图形、以及所述漏极62的图形均为防断裂结构图形，具有这样图形的图案在整体发生弯曲时可以使张力部分分散，从而减小了柔性显示装置弯曲时导致薄膜晶体管中的图形断裂的几率，保证了柔性显示装置能够正常显示。 在上述基础上，为了更好地分解所述薄膜晶体管01完全时图案受到的内部张力，所述防断裂结构图形包括环形、曲线、折线中至少一种图形。 此处，所述环形不限于圆环，只要是一个具有较大面积的图形与另一个具有较小面积的图形之间限定的区域部分即可称之为环形。 这样一来，对于上述的这种环形、或曲线、或折线结构的图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜晶体管，其特征在于，包括依次位于柔性衬底之上的有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层、以及源极和漏极；所述薄膜晶体管还包括分别贯通所述层间绝缘层和所述栅绝缘层的至少1个第一过孔和至少1个第二过孔；所述源极、所述漏极分别通过所述第一过孔、所述第二过孔与所述有源层相接触；其中，所述有源层的图形、所述栅极的图形、所述源极的图形、以及所述漏极的图形均为防断裂结构图形。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：永山和由，宋松，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11