混合滤波器及其制备方法、滤波装置制造方法及图纸

本公开提供了一种混合滤波器及其制备方法、滤波装置。混合滤波器包括相对设置的第一基板(100)和第二基板(200)，第一基板(100)和第二基板(200)之间设置有第一空间(300)，第一基板(100)和第二基板(200)中的至少一个设置有薄膜体声波谐振器(30)，第一基板(100)和第二基板(200)中的至少一个设置有至少一个无源滤波器(40)，薄膜体声波谐振器(30)设置在第一空间(300)内，且与无源滤波器(40)连接，无源滤波器(40)包括滤波电感和滤波电容，滤波电感为三维螺旋电感结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立会，李月，魏秋旭，任艳飞，肖月磊，冯昱霖，曹雪，韩基挏，常文博，吴艺凡，安齐昌，李慧颖，周毅，曲峰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：