【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种清洗装置,尤其涉及一种芯片专用清洗治具。
技术介绍
芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程,其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低,使得元件获得良好而稳定的特性,以及使制程具有良好的再现性。申请号为201310311113.9的《一种LED芯片清洗提篮》公开了一种LED芯片清洗提篮。清洗提篮包括:抓取板、调整板、调整螺钉、前后板、固定板,前后板与两个固定板组成提篮主体,前后板与固定底部设有调整板,调整板一端通过圆轴固定在前后板上,另一端通过调整螺钉连接在固定板上,调整板角度通过调整螺钉,其倾斜角度可在 0°-6°之间任意调节 ;前后板上端设有抓取板,用于抓取提篮。该提篮清洗效果好,但容易对芯片表面造成磨损。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,而提供一种芯片专用清洗治具。本专利技术是通过以下技术方案来完成的:一种芯片专用清洗治具,包括底板和侧板,所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板,所述底板上设置有多个横板和多个竖板,所述横板与第一侧板平行,所述竖板与第三侧板平行,所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板,第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。所述的一种芯片专用清洗治具,所述底板有多个,互相平行设置,所述第三侧板和第四侧板上开有多个相对的凹槽,可同时放置多个底板。所述的一种芯片专用清洗治具,所述限位板的上端为斜面。所述的一种芯片专用清洗治具,所述一个横板上的多个限位板 ...
【技术保护点】
一种芯片专用清洗治具,包括底板和侧板,所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板,其特征在于,所述底板上设置有多个横板和多个竖板,所述横板与第一侧板平行,所述竖板与第三侧板平行,所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板,第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。
【技术特征摘要】
1.一种芯片专用清洗治具,包括底板和侧板,所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板,其特征在于,所述底板上设置有多个横板和多个竖板,所述横板与第一侧板平行,所述竖板与第三侧板平行,所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板,第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。
2.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具,其特征在于,所述底板有多个,互相平行设置,所述第三侧板和第四侧板上开...
【专利技术属性】
技术研发人员:周天毫,
申请(专利权)人:苏州速腾电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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