一种半导体激光器装条装置及装条方法制造方法及图纸

一种半导体激光器装条装置及装条方法，该装置包括支座和夹具，夹具置于支座上，支座上带有间隔的四条脊，两个外侧脊的高度相同，中间两个脊的高度相同，中间两个脊的高度小于两个外侧脊的高度；夹具包括固定夹板、活动夹板和导柱，固定夹板上设置有导柱，活动夹板安装在导柱上，活动夹板和固定夹板之间设置有弹簧，活动夹板上设置有与支座上四条脊相对应的四条槽；装条时，将夹具放置到支座上，使夹具的固定夹板和活动夹板处于支座上的四条脊之间，使支座倾斜放置，自下至上陪条和巴条逐次相间地放置在支座上并夹在固定夹板和活动夹板之间。上述装置可以消除巴条间的遮挡，镀膜后可以保证巴条腔面膜层均匀性，提高管芯的合格率与性能稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器装条装置及装条方法
本专利技术涉及一种用于半导体激光器腔面镀膜时的装条装置及装条方法，属于半导体激光器腔面镀膜

技术介绍
半导体激光器凭借体积小、寿命长等优点已广泛应用到军事、医疗、光通信、加工等领域。在半导体激光器的生产过程中，需要将外延片解理成巴条，为避免腔面氧化和提高激光器的功率等性能，通常需要在巴条腔面上进行镀膜。目前，巴条腔面镀膜存在的一个主要问题是：因腔长误差、装条技术等原因，巴条在装架后腔长方向出现高低不平。镀膜时，高低不平的巴条因遮挡导致膜层不均；膜层不均引起腔面的反射率不一致，最终导致管芯功率低、稳定性差。尤其对瓦级以上的激光器产品而言，上述问题尤为明显，且严重影响了激光器产品的性能与合格率。中国专利文献CN102545041A公开的《半导体激光器腔面陪条及制备方法》，提出了一种防止相邻的半导体激光器巴条粘到一起，避免“阴影”效应的方法。该方法是用“凸”字型的陪条将巴条间隔开，陪条的宽度小于巴条，巴条一端比陪条高，陪条的厚度作为巴条间隔距离；另一端与陪条平齐，陪条槽的深度作为陪条和巴条间隔距离。上述方法存在以下不足之处：1、陪条需要加工相应尺寸的槽，工艺相对复杂。2、激光巴条两端的有效间距不同；巴条两个腔面去除“阴影”效果不一致，尤其是激光巴条与陪条平齐的一端，靠近非脊面的一侧还会出现“阴影”效应。摆放巴条时，要求巴条带脊的一侧必须与陪条带槽面相邻，操作难度相对较大。
技术实现思路
本专利技术针对现有半导体激光器腔面镀膜时的装条技术存在的不足，提供一种结构简单、操作方便，能够保证腔面膜层均匀性的半导体激光器装条装置，同时提供一种该装置的装条方法。本专利技术的半导体激光器装条装置，采用以下技术方案：该装置，包括支座和夹具，夹具置于支座上，支座上带有间隔的四条脊，两个外侧脊的高度相同，中间两个脊的高度相同，中间两个脊的高度小于两个外侧脊的高度；中间两个脊的间距小于所装巴条的长度，两个外侧脊的间距大于所装巴条的巴条长度并且小于所需陪条的长度；夹具包括固定夹板、活动夹板和导柱，固定夹板上设置有导柱，活动夹板安装在导柱上，活动夹板和固定夹板之间设置有弹簧，活动夹板上设置有与支座上四条脊相对应的四条槽。中间两个脊的高度小于两个外侧脊的高度0.01mm。通过上述半导体激光器装条装置进行装条的方法，包括以下步骤：（1）解理的巴条长度大于支座中间两个脊的间距，而小于两个外侧脊的间距，使巴条能够搭放在两个中间脊而又接触不到两个外侧脊；巴条腔长根据设计要求而定；（2）制作陪条：陪条的厚度与巴条一致，陪条腔长比巴条腔长小0.02mm，陪条长度大于支座上两个外侧脊的间距；（3）将夹具放置到支座上，使夹具的固定夹板和活动夹板处于支座上的四条脊之间，固定夹板抵在支座的四条脊的下端，活动夹板上的导向槽对应地卡在支座上的四条脊上；使支座倾斜放置，倾斜角度保证在放置巴条和陪条后整体不会倾倒；向上推开活动夹板，先将一个陪条置于支座两条外侧脊上并落在固定夹板上，再在该陪条上放置一个巴条，巴条支撑在支座的中间两条脊上，如此自下至上陪条和巴条逐次相间地放置在支座上，上下两侧最终为陪条；放置完毕，放开活动夹板，活动夹板在弹簧的作用下夹住陪条和巴条。最后将夹装有巴条的夹具放置到镀膜设备中进行镀膜生产。本专利技术结构简单、操作难度较低，可以消除巴条间的遮挡，镀膜后可以保证巴条腔面膜层均匀性，大大提高了管芯的合格率与性能稳定性，镀膜后的巴条合格率由不足88%提高到97%以上。附图说明图1是本专利技术半导体激光器装条装置的结构示意图。图2是图1的俯视图。图3是图1的左视图。图4是支座上四条脊的位置关系示意图。图5是装条示意图。图6是本专利技术装条效果与传统常规装条效果对比示意图。图中：1、支座，2、脊，3、固定夹板，4、导柱，5、活动夹板，6、弹簧，7、槽，8、陪条，9、巴条。具体实施方式如图1所示，本专利技术的半导体激光器装条装置，包括支座1和夹具，夹具置于支座1上。支座1上设置四条脊2，参见图4，A、B、C、D四条脊间隔布置，两个外侧脊A和D的高度相同，中间两个脊B和C的高度相同，中间两个脊B和C的高度小于两个外侧脊A和D的高度0.01mm。中间两个脊B和C的间距小于巴条1的长度，两个外侧脊A和D的间距大于巴条长度。夹具包括固定夹板3、导柱4和活动夹板5，固定夹板3上设置有两条导柱4，活动夹板5安装在两条导柱4上，活动夹板5和固定夹板3之间设置有弹簧6。活动夹板5上设置有与支座1上四条脊相对应的四条导向槽7（参见图2）。夹具置于支座1上，固定夹板3抵在支座1的四条脊的下端，卡住四条脊的下端不动，活动夹板5上的四条槽7与支座1上的四条脊位置对应，活动夹板5可以沿导柱4和支座1的脊滑动，沿导柱4向上拉动活动夹板5时，活动夹板5会受到两边弹簧6的拉力。通过上述半导体激光器装条装置进行装条的过程如下所述：1.将外延片解理成巴条，巴条腔长根据设计要求而定，巴条长度大于两个脊B和C的的间距，而小于两个外侧脊A和D的间距，使巴条能够搭放在脊B和C上但是又接触不到脊A和D；2.制作陪条8：将Si片或其它材质解理成陪条8，尺寸要求如下：厚度与巴条1相当，腔长比巴条1小0.02mm，长度大于脊A和D的间距，但是搭放在脊A和D上时不影响其它操作；3．如图5所示，将夹具放置到支座1上，使固定夹板3和活动夹板5处于支座1上的四条脊之间，固定夹板3抵在支座1的四条脊的下端，活动夹板5上的四条槽7对应地卡在支座1上的四条脊上。使支座1倾斜放置，倾斜角度保证在放置巴条和陪条后整体不会倾倒。向上推开活动夹板5，先将陪条8置于支座1的脊A和D上，再在陪条8上放置巴条9，巴条9支撑在支座1的中间两条脊B和C上，如此自下至上陪条8和巴条9逐次相间地放置在支座3上，上下两侧最终为陪条8。最后，放开活动夹板5，活动夹板5在弹簧6的作用下夹住陪条8和巴条9。完成装条后，巴条9在腔长两端均比陪条8高0.01mm，巴条9在腔长两侧就形成了陪条厚度的间距。图6给出了本专利技术的装条效果与传统常规装条效果的对比，上图为本专利技术的装条效果，下图为传统常规装条效果，图中上下方向为腔长方向。可以明显看出本专利技术可以消除巴条间的遮挡，镀膜后可以保证巴条腔面膜层均匀性，大大提高了管芯的合格率与性能稳定性。4．将夹装有巴条的夹具放置到镀膜设备中进行镀膜生产。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器装条装置，包括支座和夹具，其特征是：夹具置于支座上，支座上带有间隔的四条脊，两个外侧脊的高度相同，中间两个脊的高度相同，中间两个脊的高度小于两个外侧脊的高度；中间两个脊的间距小于所装巴条的长度，两个外侧脊的间距大于所装巴条的巴条长度并且小于所需陪条的长度；夹具包括固定夹板、活动夹板和导柱，固定夹板上设置有导柱，活动夹板安装在导柱上，活动夹板和固定夹板之间设置有弹簧，活动夹板上设置有与支座上四条脊相对应的四条槽。

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器装条装置，包括支座和夹具，其特征是：夹具置于支座上，支座上带有间隔的四条脊，两个外侧脊的高度相同，中间两个脊的高度相同，中间两个脊的高度小于两个外侧脊的高度；中间两个脊的间距小于所装巴条的长度，两个外侧脊的间距大于所装巴条的巴条长度并且小于所需陪条的长度；夹具包括固定夹板、活动夹板和导柱，固定夹板上设置有导柱，活动夹板安装在导柱上，活动夹板和固定夹板之间设置有弹簧，活动夹板上设置有与支座上四条脊相对应的四条槽。2.根据权利要求1所述的半导体激光器装条装置，其特征是：所述中间两个脊的高度小于两个外侧脊的高度0.01mm。3.一种权利要求1所述半导体激光器装条装置进行装条的方法，其特征是，包括以下步骤：（1）解理的巴条长度大于支座中间两...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷方军，李沛旭，苏建，汤庆敏，
申请(专利权)人：山东华光光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37