【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于ZnO薄膜钝化半导体激光器腔面的方法，该方法包括在磁控溅射系统内采用氩、氢混合等离子体分别对激光器前后腔面进行清洗，清洗后原位溅射ZnO钝化薄层，最后按常规工艺镀制前腔面增透膜和后腔面高反膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：薄报学，周路，王云华，许留洋，高欣，乔忠良，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：
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