装载端口装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种装载端口装置，该装载端口装置在对前开式晶圆传送盒的门进行开闭时能够抑制两个轴的连结部位的颗粒的产生，并且能够抑制装置自身的振动。装载端口装置具备：连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于门保持构件的主动连杆；引导件，其从水平方向朝向铅垂方向弯曲而延伸，用于对主动连杆的一端进行引导；驱动组件，其供主动连杆的另一端以能够转动的方式连结；以及门升降轴，其在铅垂方向上延伸，使驱动组件在该门升降轴的延伸方向上移动，连杆机构构成为：在主动连杆的另一端在铅垂方向上移动的状态下，允许主动连杆的一端沿着引导件从水平方向朝向铅垂方向移动或者从铅垂方向朝向水平方向移动。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种装载端口装置，该装载端口装置在对前开式晶圆传送盒的门进行开闭时能够抑制两个轴的连结部位的颗粒的产生，并且能够抑制装置自身的振动。装载端口装置具备：连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于门保持构件的主动连杆；引导件，其从水平方向朝向铅垂方向弯曲而延伸，用于对主动连杆的一端进行引导；驱动组件，其供主动连杆的另一端以能够转动的方式连结；以及门升降轴，其在铅垂方向上延伸，使驱动组件在该门升降轴的延伸方向上移动，连杆机构构成为：在主动连杆的另一端在铅垂方向上移动的状态下，允许主动连杆的一端沿着引导件从水平方向朝向铅垂方向移动或者从铅垂方向朝向水平方向移动。【专利说明】装载^ 口装直
本专利技术涉及能够对在打开、关闭前开式晶圆传送盒的门时的颗粒的产生进行抑制的装载端口装置。
技术介绍
在半导体制造工序中，使用被称作前开式晶圆传送盒(Front Open UnifiedPod / FOUP)的密闭型的收纳容器。该前开式晶圆传送盒例如为了收纳半导体晶圆并在半导体处理装置之间输送而使用。 专利文献I公开了一种装载端口装置，该装载端口装置在将收纳于前开式晶圆传送盒的半导体晶圆输送到半导体处理装置的内部时使用。 在该装载端口装置中包括--第I驱动单元，其使对前开式晶圆传送盒的门进行保持的保持构件水平地接近或者离开前开式晶圆传送盒；以及第2驱动单元，其使离开后的保持构件在铅垂方向上移动。第I驱动单元具有在水平方向上延伸的第I导轨，第2驱动单元具有在铅垂方向上延伸的第2导轨，使保持构件沿着这些导轨移动，从而使前开式晶圆传送盒的门开闭。 专利文献 专利文献1:日本特开2012 - 54271号公报 近年来，形成于半导体晶圆表面的布线越来越精密化(微细化)，即使微量颗粒附着，半导体晶圆的品质也有可能降低而无法得到目标的半导体性能。 若如专利文献I所公开的装载端口装置那样分别独立地设置与门的开闭相关的驱动机构和与升降相关的驱动机构，则存在将各导轨彼此连结的连结部位会产生颗粒的问题。具体而言，由于具备两个驱动机构，所以构造变得复杂，难以实现顺畅的开闭动作，因而对导轨的连结位置造成负担，容易产生颗粒。另外，通过使一个驱动机构工作，振动、冲击也会传递到另一个驱动机构，有时也会从各驱动机构的内部也产生颗粒。此外，使用两个驱动机构进行的门的开闭动作没有顺利地进行，从而在用于保持门的门保持构件中也有可能会产生颗粒。
技术实现思路
_9] 专利技术要解决的问题 本专利技术的目的在于有效地解决这样的问题，具体而言，本专利技术的目的在于提供一种装载端口装置，该装载端口装置在打开、关闭前开式晶圆传送盒的门时能够抑制在导轨等的轴的连结位置处产生颗粒，并且能够顺利地进行门的开闭动作。 用于解决问题的方案 本专利技术为了实现以上目的而采用了以下方法。 S卩，本专利技术的装载端口装置对能够收纳多个半导体晶圆的收纳容器进行支承，通过使该收纳容器的门从第I方向朝向与该第I方向不同的第2方向相互移动而进行开闭，其特征在于，该装载端口装置包括:门保持构件，其用于保持上述收纳容器的门；连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于该门保持构件的主动连杆；引导部件，其从第I方向朝向第2方向弯曲而延伸，并用于对上述主动连杆的一端进行引导；往返移动部件，其至少具有一个供上述主动连杆的另一端以能够转动的方式连结的驱动构件，并用于使上述门保持构件能够往返移动；主轴，其在第2方向上延伸，用于使上述驱动构件在该主轴的延伸方向上移动；以及驱动部件，其用于使上述驱动构件沿着上述主轴进行驱动；上述连杆机构构成为:在上述主动连杆的另一端朝向第2方向移动的状态下，允许上述主动连杆的一端沿着上述引导部件从第I方向朝向第2方向移动或者从第2方向朝向第I方向移动。 由于为这样的结构，因此，主动连杆的一端与驱动构件在第2方向上的往返移动连动而沿着引导部件从第I方向朝向第2方向移动或者从第2方向朝向第I方向移动。因此，只需使驱动构件在一个主轴上工作就能够使各构件顺利地移动而对保持于门保持构件的收纳容器的门进行开闭，能够抑制在两个轴的连结位置产生颗粒，并且能够顺利地进行门的开闭动作。另外，为了将驱动构件在第2方向上的移动力转换为门保持构件从第I方向朝向第2方向移动的移动力而使用主动连杆，从而能够顺利地进行该变换，由此能够进一步抑制颗粒的产生。此外，由于主轴为一个即可，因此能够简化装置结构，并且也能够使驱动源为Iv，能够抑制制造成本。 为了使门保持构件顺利且稳定地在第I方向和第2方向上移动并进一步防止颗粒的产生，优选的是，上述往返移动部件还具有从动构件，该从动构件与上述驱动构件分离且能够通过上述主轴而在第2方向上移动，上述连杆机构还具有从动连杆，该从动连杆的一端以能够转动的方式连结于上述主动连杆，另一端以能够转动的方式连结于上述从动构件，上述门保持构件以能够在第I方向上移动的方式支承于上述从动构件。 或者，优选的是，上述往返移动部件还具有第2驱动构件，该第2驱动构件由上述驱动部件驱动且能够沿着上述主轴在第2方向上移动，上述引导部件具有相同形状的第I引导部与第2引导部，上述连杆机构利用上述主动连杆和一端由第2引导部进行引导且另一端以能够转动的方式连结于上述第2驱动构件的连杆构成平行连杆，上述门保持构件以能够在第I方向上移动的方式支承于上述第2驱动构件。 为了在不另外设置紧固机构的前提下对门保持构件施加大的紧固力，优选的是，上述连杆机构和引导部件构成紧固机构，该紧固机构在向着上述门的关闭而上述主动连杆的另一端在第2方向上移动且一端在第I方向上移动时发挥肘节作用。 并且，为了提高通过上述肘节作用而得到的门的关闭力，优选的是，上述第I方向是与收纳容器的门的安装面大致正交的方向。 为了形成即使从主轴等产生了颗粒、该颗粒也难以进入半导体处理装置的内部的装置，优选的是，装载端口装置还具备板状的基体构件，该基体构件在一个面固定有上述引导构件和上述主轴，在该基体构件中形成有在第2方向上延伸且供上述门保持构件贯穿的构件贯穿开口，上述门保持构件经由该构件贯穿开口从上述基体构件的一个面侧向另一个面侧延伸，在上述一个面侧连结于上述主动连杆的一端，并且在上述另一个面侧保持上述I ]保持构件。 专利技术的效果 根据以上说明的本专利技术，能够提供一种装载端口装置，该装载端口装置只需使驱动构件在一个主轴上动作就能够使门保持构件在第I方向以及第2方向上移动而对前开式晶圆传送盒的门进行开闭，并且，通过使用连杆机构能够顺利地进行伴随门的开闭的各构件的移动，因此能够抑制颗粒的产生。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术的一实施方式的装载端口装置的侧视图。 图2是该装载端口装置的主视图。 图3是该装载端口装置的立体图。 图4是表示该装载端口装置的主要部分的分解立体图。 图5是表示配备于该装载端口装置的连杆机构的动作的说明图。 图6是表示配备于该装载端口装置的连杆机构的动作的说明图。 图7是表示配备于该装载端口装置的连杆机构的动作的说明图。 图8是表示该装载端口装置的变形例的图。 附图标记说明 10…装载端口装置；12...门保持构件；13…往返移动部件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装载端口装置，其对能够收纳多个半导体晶圆的收纳容器进行支承，通过使该收纳容器的门从第1方向朝向与该第1方向不同的第2方向移动而打开上述收纳容器的上述门，通过使上述收纳容器的上述门从上述第2方向朝向上述第1方向移动而关闭上述收纳容器的上述门，其特征在于，该装载端口装置包括：门保持构件，其用于保持上述收纳容器的门；连杆机构，其具有一端以能够转动的方式连结于该门保持构件的主动连杆；引导部件，其从第1方向朝第2方向弯曲而延伸，并用于对上述主动连杆的一端进行引导；往返移动部件，其至少具有一个驱动构件，上述主动连杆的另一端以能够转动的方式连结于该驱动构件，该往返移动部件用于使上述门保持构件能够往返移动；主轴，其在第2方向上延伸，用于使上述驱动构件在该主轴的延伸方向上移动；以及驱动部件，其用于使上述驱动构件沿着上述主轴进行驱动；上述连杆机构构成为：在上述主动连杆的另一端在第2方向上移动的状态下，允许上述主动连杆的一端沿着上述引导部件从第1方向朝向第2方向移动或者从第2方向朝向第1方向移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：船户学，夏目光夫，落合光敏，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP