卧式炉炉管和卧式炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种卧式炉炉管和一种卧式炉，其中，卧式炉炉管包括：炉管腔体；LOAD端，用于盛放待送入炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将产品推入或拉出炉管腔体；石英门，设置在LOAD端上，用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时，随LOAD端进入炉管腔体，并堵塞炉管腔体的开口；固定底座，设置在LOAD端上，固定底座与石英门通过石英杆相连，以对石英门进行固定；挡板，设置在LOAD端上，且设置固定底座与石英门之间，用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时，在炉管腔体外堵塞炉管腔体的开口；连接件，用于连接石英杆与挡板。本实用新型专利技术的技术方案可以避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的而脱落损坏石英杆和石英门。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种卧式炉炉管和一种卧式炉，其中，卧式炉炉管包括：炉管腔体；LOAD端，用于盛放待送入炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将产品推入或拉出炉管腔体；石英门，设置在LOAD端上，用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时，随LOAD端进入炉管腔体，并堵塞炉管腔体的开口；固定底座，设置在LOAD端上，固定底座与石英门通过石英杆相连，以对石英门进行固定；挡板，设置在LOAD端上，且设置固定底座与石英门之间，用于在LOAD端将产品推入炉管腔体内时，在炉管腔体外堵塞炉管腔体的开口；连接件，用于连接石英杆与挡板。本技术的技术方案可以避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的而脱落损坏石英杆和石英门。【专利说明】卧式炉炉管和卧式炉
本技术涉及卧式炉
，具体而言，涉及一种卧式炉炉管和一种卧式炉。
技术介绍
在半导体器件的制造流程中，需要使用卧式炉炉管在高温环境下对硅晶片进行扩散、氧化或低压化学气相沉积的处理。而三氯氧磷淀积是半导体制造过程中常用的掺杂工艺，其工艺原理主要是通高纯氮气携带POCL3 (三氯氧磷)进入炉管，在高温下POCL3分解，同时通入一定量的氧气与分解产物PCL5(五氯化磷)进行反应，以改善硅片的表面质量，反应产物P2O5 (无氧化磷)与硅片表面接触并与硅原子发生还原反应，生成P (磷)原子和S12 (二氧化硅)，P原子在高温下扩散进入硅片内部，以实现掺P的工艺。 但制程产物磷酸具有粘附性，在产品出炉时，磷酸会使石英门与炉管腔体粘附在一起，在水平硬力的作用下，会导致支撑石英门的石英杆掉落损坏，影响了安全生产，也会由于损坏石英杆及石英门而增加生产成本。如图1A所示，在产品出炉时，石英门104与炉管腔体(图中未示出)粘附在一起，若施加水平硬力，会导致石英杆102脱落损坏，其中石英杆102的结构示意图如图1B所示。 因此，如何避免在卧式炉工艺产品出炉时，石英杆与石英门脱落损坏成为亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术正是基于上述技术问题至少之一，提出了一种新的卧式炉炉管，可以在LOAD端水平拉出方向上对石英杆施加拉力，避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的水平拉力作用而脱落损坏石英杆和石英门，降低了生产成本。 有鉴于此，根据本技术的一个方面，提出了一种卧式炉炉管，包括:炉管腔体；LOAD端，用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体；石英门，设置在所述LOAD端上，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，随所述LOAD端进入所述炉管腔体，并堵塞所述炉管腔体的开口 ；固定底座，设置在所述LOAD端上，所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连，以对所述石英门进行固定；挡板，设置在所述LOAD端上，且设置所述固定底座与所述石英门之间，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口 ；连接件，用于连接所述石英杆与所述挡板。 在该技术方案中，由于在卧式炉的生产过程中，石英门会与炉管腔体粘附在一起，例如在三氯氧磷淀积的工艺中，制程产物磷酸具有粘附性，会将石英门与炉管腔体粘附在一起，则会在LOAD端将产品从炉管腔体内拉出时，造成支撑石英门的石英杆掉落损坏，因此通过使用连接件连接石英杆与挡板，可以在LOAD端拉出方向上对石英杆施加拉力，避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于制程产物的粘附性使石英杆受与LOAD端运动方向相反的水平拉力作用而脱落损坏石英杆和石英门，降低了生产成本。其中，石英门与挡板都起到堵塞炉管腔体开口的作用，但是石英门是进入炉管腔体内堵塞炉管腔体开口，而挡板是在炉管腔体外部堵塞炉管腔体开口。优选地，石英门设置在LOAD端的桨上。 在上述技术方案中，优选地，所述连接件为钢丝。 在上述技术方案中，优选地，所述石英杆上设置有凸起，所述钢丝连接在所述凸起与所述挡板之间。 在该技术方案中，通常情况下石英杆为圆柱体结构，因此通过在石英杆上设置凸起，能够更加方便地将钢丝系在石英杆上。 在上述技术方案中，优选地，所述凸起上设置有至少一个连接孔，所述钢丝通过所述连接孔与所述凸起相连。 在该技术方案中，通过在凸起上设置连接孔，能够更加牢固地将钢丝系在石英杆上，防止滑落。 在上述技术方案中，优选地，所述凸起为围绕所述石英杆设置的圆柱体。 在该技术方案中，优选地，可以在圆柱体凸起上设置多个连接孔，且多个连接孔分布在不同方向上，以使钢丝通过多个连接孔连接凸起与挡板时，石英杆在各个方向上受力均匀。 在上述技术方案中，优选地，所述圆柱体的直径为1.6厘米，所述圆柱体的高度为0.7厘米。 在上述技术方案中，优选地，所述凸起设置在所述石英门与所述挡板之间的石英杆上。 在该技术方案中，由于在P0CL3炉管中石英门通常会与炉管腔体粘附在一起，因此通过在凸起设置在石英门与挡板之间的石英杆上，能够提供石英杆对石英门的拉力。 在上述技术方案中，优选地，所述挡板上设置有开口，所述石英杆通过所述开口连接在所述固定底座和所述石英门之间。 在该技术方案中，挡板上设置的开口需要与石英杆卡合，以使挡板堵塞炉管腔体时，炉管腔体外的气体不能进入炉管腔体内。 在上述技术方案中，优选地，所述挡板为金属挡板。 根据本专利技术的另一方面，还提出了一种卧式炉，其特征在于，包括:上述任一项技术方案中所述的卧式炉炉管。 通过上述技术方案，可以在LOAD端拉出方向上对石英杆施加拉力，避免在将LOAD端从炉管腔体内拉出时，由于石英杆受力不均而脱落损坏石英杆，降低了生产成本。 【专利附图】【附图说明】 图1A示出了相关技术中卧式炉炉管的结构示意图； 图1B示出了相关技术中石英杆的结构示意图； 图2A示出了根据本技术的实施例的卧式炉炉管的结构示意图； 图2B示出了根据本技术的实施例的石英杆的结构示意图。 【具体实施方式】 为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和【具体实施方式】对本技术进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。 在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。 图2A示出了根据本技术的实施例的卧式炉炉管的结构示意图。 如图2A所示，根据本技术的实施例的卧式炉炉管200，包括:炉管腔体(图中未示出)；L0AD端202，用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体；石英门204，设置在所述LOAD端202上，用于在所述LOAD端202将所述产品推入所述炉管腔体内时，随所述LOAD端202进入所述炉管腔体，并堵塞所述炉管腔体的开口 ；固定底座206，设置在所述LOAD端202上，所述固定底座206与所述石英门204通过石英杆相连，以对所述石英门2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卧式炉炉管，其特征在于，包括： 炉管腔体； LOAD端，用于盛放待送入所述炉管腔体内的产品，并可在外力的作用下将所述产品推入或拉出所述炉管腔体； 石英门，设置在所述LOAD端上，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，随所述LOAD端进入所述炉管腔体，并堵塞所述炉管腔体的开口； 固定底座，设置在所述LOAD端上，所述固定底座与所述石英门通过石英杆相连，以对所述石英门进行固定； 挡板，设置在所述LOAD端上，且设置所述固定底座与所述石英门之间，用于在所述LOAD端将所述产品推入所述炉管腔体内时，在所述炉管腔体外堵塞所述炉管腔体的开口； 连接件，用于连接所述石英杆与所述挡板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢石斌，陈春河，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11