【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开一种对称式双远心投影光学系统和光刻设备。所述投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组具有负光焦度，第二镜组和第三镜组具有正光焦度；所述后组包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜和第五镜组具有正光焦度，所述第六镜组具有负光焦度；所述前组和后组关于所述孔径光阑对称，并满足一定的关系式。采用本专利技术的投影光学系统，使用性能优良的光学材料时也能有效地校正各项像差，扩大像方视场尺寸，提高成像分辨率；而且镜片口径小，不包含非球面镜片，大幅度降低了加工，检测和装校的难度和成本。【专利说明】一种对称式双远心投影光学系统和光刻设备
本专利技术涉及一种微细加工用光刻设备的光学系统，尤其涉及一种对称式双远心投 影光学系统和应用所述对称式双远心投影光学系统的光刻设备，所述对称式双远心投影光 学系统主要应用于微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，半导体、太阳 能电池、液晶、印刷电路板等光刻...
【技术保护点】
一种对称式双远心投影光学系统，其用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述投影光学系统沿其光轴方向依次包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：所述前组和所述后组关于所述孔径光阑对称，所述前组沿光轴方向依次包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组具有负光焦度，所述第二镜组和所述第三镜组具有正光焦度；所述后组沿光轴方向依次包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和所述第五镜组具有正光焦度，所述第六镜组具有负光焦度；所述第二镜组最靠近像平面的透镜曲面为朝向像平面的凹面，满足：0.6<r4/Hy<8，其中，r4为所述第二镜组最靠近像平面的透镜曲面的曲率半径，Hy...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，徐晓斌，张宏，张辉，
申请(专利权)人：张家港鹏博光电科技有限公司，张家港中贺自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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