高效的远心光学系统技术方案

本发明专利技术描述一种用于使用区域传感器（或线传感器）的机器视觉系统的新颖架构，所述机器视觉系统具有与远心照明模块复合的远心成像光学器件。该照明模块可包含明场（ｂｒｉｇｈｔ　ｆｉｅｌｄ）照明源和／或暗场（ｄａｒｋ　ｆｉｅｌｄ）照明源。所述远心成像光学器件包含具有孔径光阑的上成像模块及设置置所述上成像模块与物件之间的下成像模块，使得所述光源及所述孔径光阑位于所述下成像模块的背焦平面中。所述下成像模块将所述照明源成像至所述上成像模块的孔径光阑的平面。所述上成像模块的光学轴相对于所述下成像模块偏移。所述远心照明模块的光学轴相对于所述下成像模块的轴往相反方向偏移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及光学检验系统，更具体地，涉及具有与远心(telecentric)成 像光学器件及远心物件照明相结合的区域成像传感器(或线传感器)的光学检验系统的设 计。
技术介绍
在多种电子器件(诸如平板显示器(FPD)及印刷电路板(PCB))的生产工艺 (process)期间，必须在各种工艺步骤之后彻底检验每个器件，以识别和可能校正产品瑕疵 (defect)并且避免若不能修理器件而引起额外的成本。为了检验这类器件，可使用图1示 出的机器视觉检验系统YlOO。如图1所示，一种典型的用于光学地检验物件Y102的机器视觉检验系统YlOO使 用照明模块(HioduIe)YlOl以照明该物件Y102。使用成像光学器件Y103在相机Y104的 位置生成已照明的该物件Y102的影像。该相机Y104将物件的光学影像转换为数位表示 (digital r印resentation)，其由数据处理模块Y105自动地处理该数位表示，以例如识别 物件中的多种生产瑕疵。与这类检验系统相关联的两个主要设计挑战是1.塑形(shaping)照明光以符合顾及了(considering)光与物件之间的相互作用 的成本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于光学地检验物件的系统，所述系统包括：ａ．远心照明系统，具有照明光学轴并且包括光源，所述光源包括配置成用明场照明光来照明所述物件的明场照明光部分；和ｂ．远心光学成像系统，包括成像传感器，并且配置为生成所述物件的明场影像，其中，所述远心光学成像系统还包括具有第一光学轴的第一成像模块和具有第二光学轴的第二光学成像模块，并且所述照明光学轴、所述第一光学轴和所述第二光学轴相对于彼此偏移。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴维·菲什，
申请(专利权)人：奥博泰克有限公司，
类型：发明
国别省市：IL