本发明公开一种对称式双远心投影光学系统和光刻设备。所述投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组具有负光焦度，第二镜组和第三镜组具有正光焦...

本发明公开一种对称式双远心投影光学系统的倍率调节方法，其包括：1、提供一种对称式双远心投影光学系统，所述投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，前组包括第一至第三镜组，第一镜组具有负光焦度，第二、第三镜组具有正光焦度，后组包括...

本发明公开了一种多晶硅太阳能电池酸腐制绒用光刻胶的去除方法，其步骤为：硅片刻蚀后的有机光刻胶掩膜通过烧结炉在高温下将光刻胶掩膜烧掉，然后采用酸洗去除表面氧化层和残余有机杂质。本发明有机光刻胶掩膜的快速去除方法，是一种纯物理的光刻胶去除方...

本实用新型公开了一种布气烘干炉，包括：炉体及炉腔，所述炉体设有烘干通道，所述炉腔内设有若干组保温隔板，每组保温隔板包括与顶壁相连接的第一保温隔板及与底壁相连接的第二保温隔板，每两相邻的第一保温隔板之间设有第一布气板，所述顶壁设有数个第一...

本实用新型提供一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，该投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度；所述后组包括...

本发明提供一种投影光学系统的倍率调节方法，首先提供一投影光学系统，该投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度；所述后组包括第...

本发明公开了一种布气烘干炉，包括：炉体及炉腔，所述炉体设有烘干通道，所述炉腔内设有若干组保温隔板，每组保温隔板包括与顶壁相连接的第一保温隔板及与底壁相连接的第二保温隔板，每两相邻的第一保温隔板之间设有第一布气板，所述顶壁设有数个第一进气...

本发明提供一种投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，该投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度；所述后组包括第四...