自对准金属层结构、镜片以及镜片模组制造技术

本实用新型专利技术提供了一种自对准金属层结构，包括：衬底，所述衬底包括一导电层，所述导电层上包括一图形；电镀金属层，形成于所述导电层上，所述电镀金属层具有所述图形。本实用新型专利技术还提供一种镜片，包括：玻璃基板，所述玻璃基板包括第一面以及与所述第一面相对的第二面；所述第一面上设置有第一透明导电层，所述第一透明导电层上包括一第一图形；第一遮光层，位于所述第一透明导电层上，所述第一遮光层具有所述第一图形，所述第一遮光层为电镀金属层；所述第二面上设置有第二遮光层，所述第二遮光层中包括第二图形，所述第二图形正对所述第一图形。采用所述镜片的第一图形和第二图形可以精确对准。所述镜片可以用于制备镜片模组。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种自对准金属层结构，包括：衬底，所述衬底包括一导电层，所述导电层上包括一图形；电镀金属层，形成于所述导电层上，所述电镀金属层具有所述图形。本技术还提供一种镜片，包括：玻璃基板，所述玻璃基板包括第一面以及与所述第一面相对的第二面；所述第一面上设置有第一透明导电层，所述第一透明导电层上包括一第一图形；第一遮光层，位于所述第一透明导电层上，所述第一遮光层具有所述第一图形，所述第一遮光层为电镀金属层；所述第二面上设置有第二遮光层，所述第二遮光层中包括第二图形，所述第二图形正对所述第一图形。采用所述镜片的第一图形和第二图形可以精确对准。所述镜片可以用于制备镜片模组。【专利说明】
本技术涉及晶圆制备
，特别涉及一种自对准金属层结构、镜片以及 镜片模组。 自对准金属层结构、镜片以及镜片模组
技术介绍
随着多媒体技术的发展，数码相机、摄影机、具有相机功能的手机越来越受到广大 消费者青睐，在人们对数码相机、摄影机、具有相机功能的手机追求小型化的同时，对其拍 摄出物体的影像质量提出更高要求，即希望拍摄物体的影像画面清晰，而物体的成像质量 在很大程度上取决于数码相机内各光学元件的优劣。 数码相机的镜头一般由至少一个透镜光圈组成，图1是现有技术中晶圆级光学镜 片的示意图。透镜光圈1包括：玻璃基板10,所述玻璃基板10包括第一面101以及与所述 第一面101相对的第二面102 ;所述第一面101上设置有第一遮光层11，所述第一遮光层 11具有第一图形111 ;所述第二面102上设置有第二遮光层12,所述第二遮光层12具有第 二图形121。所述第二图形121正对所述第一图形111，使得光线正好可以从所述第一图形 111和第二图形121中穿过。 然而，在现有技术中，所述第一图形111和第二图形121都是通过光刻-刻蚀的方 法分别在所述第一遮光层11和第二遮光层12上形成，使得无法很好的将所述第一图形111 与第二图形121对准，从而影响透镜模组的光学性能，进而影响数码相机的成像质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自对准金属层结构、镜片以及镜片模组，可以采 用自对准的方法制备电镀金属层（遮光层），从而提高第一图形与第二图形对准的对准精 度。 为解决上述技术问题，本技术提供一种自对准金属层结构，包括： 衬底，所述衬底包括一导电层，所述导电层上包括一图形； 电镀金属层，形成于所述导电层上，所述电镀金属层具有所述图形。 进一步的，在所述自对准金属层结构中，所述导电层为非金属导电层。 进一步的，在所述自对准金属层结构中，所述电镀金属层为电镀铬层、电镀铜层、 电镀钨层、电镀铝层、电镀银层、电镀三氧化二铬层、电镀氮化铊层或电镀氧化银层。 根据本技术的另一面，本技术还提供一种镜片，包括： 玻璃基板，所述玻璃基板包括第一面以及与所述第一面相对的第二面； 所述第一面上设置有第一透明导电层，所述第一透明导电层上包括一第一图形； 第一遮光层，位于所述第一透明导电层上，所述第一遮光层具有所述第一图形，所 述第一遮光层为电镀金属层； 所述第二面上设置有第二遮光层，所述第二遮光层中包括第二图形，所述第二图 形正对所述第一图形。 进一步的，在所述镜片中，所述第二面与所述第二遮光层之间还设置有一第二透 明导电层，所述第二透明导电层具有所述第二图形，所述第二遮光层电镀形成于所述第二 透明导电层上。 进一步的，在所述镜片中，所述第二透明导电层为氧化铟锡透明导电层、氧化铟透 明导电层、氧化锌透明导电层、氧化锌铝透明导电层、氧化锡透明导电层、氧化锡锑透明导 电层或氧化锡氟透明导电层。 进一步的，在所述镜片中，所述第二透明导电层的厚度为0. Ιμπι?2μπι。 进一步的，在所述镜片中，所述第二遮光层为电镀铬层、电镀铜层、电镀钨层、电镀 铝层、电镀银层、电镀三氧化二铬层、电镀氮化铊层或电镀氧化银层。 进一步的，在所述镜片中，所述第二遮光层的厚度为0.05μπι?Ιμπι。 进一步的，在所述镜片中，所述第二图形的宽度为0. 1mm?50mm。 进一步的，在所述镜片中，所述第一透明导电层为氧化铟锡透明导电层、氧化铟透 明导电层、氧化锌透明导电层、氧化锌铝透明导电层、氧化锡透明导电层、氧化锡锑透明导 电层或氧化锡氟透明导电层。 进一步的，在所述镜片中，所述第一透明导电层的厚度为0. Ιμπι?2μπι。 进一步的，在所述镜片中，所述第一遮光层为电镀铬层、电镀铜层、电镀钨层、电镀 铝层、电镀银层、电镀三氧化二铬层、电镀氮化铊层或电镀氧化银层。 进一步的，在所述镜片中，所述第一遮光层的厚度为0.05μπι?Ιμπι。 进一步的，在所述镜片中，所述第一图形的宽度为0. 1mm?50mm。 根据本技术的另一面，本技术还提供一种镜片模组，包括如上所述的任 意一项镜片。 与现有技术相比，本技术提供的自对准金属层结构、镜片以及镜片模组具有 以下优点： 1.在本技术提供的自对准金属层结构中，在所述导电层上制备所述图形，然 后进行电镀工艺，对所述导电层通电，所述导电层作为电极，电镀液在所述导电层的表面析 出金属，从而在所述导电层上自对准地生长出所述电镀金属层，由于所述导电层具有所述 图形，所以，所述电镀金属层亦具有所述图形，避免对金属进行刻蚀，提高所述图形的精准 度。 2.在本技术提供的镜片中，采用上述自对准金属层结构的制备方法制备遮光 层，所述玻璃基板包括第一面以及与所述第一面相对的第二面，所述第一面上具有所述第 一图形，在所述第二面上制备一透明导电层，在所述透明导电层上制备正对所述第一图形 的一第二图形，因为所述第一透明导电层的材质透明，所以，透过所述透明导电层和玻璃基 板，很容易找到所述第一图形的位置，从而对照所述第一图形的位置，在所述透明导电层上 制备出位置精准的所述第二图形，从而提高镜片模组的光学性能；并且，在所述透明导电层 上制备所述第二图形，相比采用黑光阻制备所述第二图形的方法，所述第二图形的关键尺 寸（Critical Dimension，简称⑶）精准，所述第二图形的形貌好，使得电镀的所述第二遮光 层中的所述第二图形的关键尺寸精准，形貌好。 3.在本技术提供的镜片中，采用上述自对准金属层结构的制备方法制备遮光 层，可以避免使用所述黑光阻。首先，由于所述黑光阻的粘度高，所述黑光阻容易吸附颗粒 (patical)，形成缺陷（defect)，所以，采用上述自对准金属层结构的制备方法制备遮光层， 避免使用所述黑光阻，所形成的所述遮光层的缺陷少；其次，当在所述黑光阻上制备所述第 二图形时，往往采用手工的方法，手工制备所述第二图形的方法的缺陷率高，采用上述自对 准金属层结构的制备方法制备遮光层，避免在所述黑光阻上制备所述第二图形，有利于减 少缺陷；接着，所述黑光阻与所述玻璃基板的附着力差，并且，所述黑光阻与其它光学组件 (如镜头）的附着力差，所以，采用上述自对准金属层结构的制备方法制备遮光层，电镀的 所述遮光层与所述玻璃基板的附着力好，且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自对准金属层结构，其特征在于，包括：衬底，所述衬底包括一导电层，所述导电层上包括一图形；电镀金属层，形成于所述导电层上，所述电镀金属层具有所述图形。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟嘉明，林建邦，
申请(专利权)人：豪威光电子科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31