光学元件、分析装置、分析方法及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学元件、分析装置、分析方法及电子设备。提供基于由光照射激励的表面等离子体的光的增强度大的光学元件。本发明专利技术的光学元件（100）包括以第一方向为厚度方向的金属层（10），沿第一方向与金属层（10）分离设置的金属粒子（30），以及使金属层（10）和金属粒子（30）分离的透光层（20），金属粒子（30）的第一方向的大小T满足3nm≤T≤14nm的关系，金属粒子（30）的与第一方向正交的第二方向的大小D满足30nm≤D＜50nm的关系。

【技术实现步骤摘要】
光学元件、分析装置、分析方法及电子设备
[0001 ] 本专利技术涉及光学元件、分析装置、分析方法及电子设备。
技术介绍
以医疗/健康领域为首，在环境、食品、治安等领域中，正寻求高灵敏度、高精度、迅速且简便地检测微量物质的传感技术。作为传感的对象的微量物质分支非常多，例如细菌、病毒、蛋白质、核酸、各种抗原/抗体等生物体关联物质，以及包含无机分子、有机分子、高分子的各种化合物都是传感的对象。现有技术中，经过采样、分析、解析进行微量物质的检测，需要专用的装置，且要求检查操作者熟练，因此大多难以当场分析。因此，到得到检查结果为止需要很长时期(数日以上)。在传感技术中，对迅速且简便的要求非常强，因此希望开发能够与该要求对应的传感器。例如，由于期待比较容易集成化、不易受到检查/测定环境的影响，因此对利用表面等离子体共振(SPR:Surface Plasmon Resonance)的传感器,和利用表面增强拉曼散射(SERS:Surface 一 Enhanced Raman Scattering)的传感器的关注不断提高。作为这样的传感器，专利文献I中公开了具备在基板上形成的等离子体共振镜、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学元件，其特征在于，包括：金属层，以第一方向为厚度方向；金属粒子，沿所述第一方向与所述金属层分离设置；以及透光层，使所述金属层和所述金属粒子分离，所述金属粒子的所述第一方向的大小T满足3nm≤T≤14nm的关系，所述金属粒子的与所述第一方向正交的第二方向的大小D满足30nm≤D＜50nm的关系。

【技术特征摘要】
2013.02.27 JP 2013-0367681.一种光学元件，其特征在于， 包括: 金属层，以第一方向为厚度方向； 金属粒子，沿所述第一方向与所述金属层分离设置；以及 透光层，使所述金属层和所述金属粒子分离， 所述金属粒子的所述第一方向的大小T满足3nm≤T≤14nm的关系， 所述金属粒子的与所述第一方向正交的第二方向的大小D满足30nm ≤ D < 50nm的关系O2.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于， 所述D满足30nm ≤ D ≤ 40nm的关系。3.根据权利要求1或2所述的光学元件，其特征在于， 所述T满足3nm ≤ T ≤ 6nm的关系。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学元件，其特征在于， 所述金属粒子在所述第二方向以及与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向具有间距P而配置成矩阵状， 所述P满足60nm ≤ P ≤ 140nm的关系。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学元件，其特征在于， 所述透光层包含氧化硅， 所述透光层的所述第一方向的厚度G满足IOnm ≤ G ≤ 150nm、或200nm ≤ G ≤ 350nm的关系。6.根据权利要求1至4中任一项所述的光学元件，其特征在于， 所述透光层是具有正的介电常数的电介质， 二级峰的增强度SQRT比初级峰增强度SQRT大或相等， 所述透光层的所述第一方向的厚度G设定为在所述二级峰的增强度SQRT的厚度。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光学元件，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉本守，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP