【技术实现步骤摘要】
UV LED光源结构和平行光曝光机
本技术涉及曝光机的
，尤其涉及UV LED光源结构和包括该UV LED 光源结构的平行光曝光机。
技术介绍
参照图1所示，为传统平行光曝光机的光源结构1，传统的平行光曝光机，其采用 超高压汞灯10作为光源，该超高压汞灯10首先经过一个椭圆反射镜11聚光，光线汇聚到 一个第一平面镜12上，第一平面镜12把超高压汞灯10光线中热量高的IR光线（红外光 线）部分透射出去，并将超高压汞灯10中的UV光线（紫外光线）反射汇聚到第二平面镜 13上，第二平面镜13再进一步把UV光线几乎无损耗得反射汇聚到一个复眼透镜14上，复 眼透镜14学名叫平行光凸透镜阵列，也叫蝇眼透镜，英文名为fly eyes ;经由复眼透镜14 出来的光线汇聚在第三平面镜15上，并由第三平面镜15反射后，扩散到一个球面镜16上， 球面镜16反射出大面积均匀度高、准直度好（平行半角约1. 5° -5° )的平行光线，平行 光线通过光掩膜板17,即可在曝光玻璃18上显影，从而完成整个曝光的过程。 由上述可知，传统的平行光曝光机中都是...
【技术保护点】
UV LED光源结构，其特征在于，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。
【技术特征摘要】
1. UV LED光源结构，其特征在于，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜， 沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜 依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述 复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组之 间距离的调节机构连接。2. 如权利要求1所述的UV LED光源结构，其特征在于，所述UV LED灯头包括灯头壳， 所述灯头壳的后端中设有开口的安装腔，所述安装腔内设有电路板，所述电路板上连接有 多个所述UV LED灯珠，所述灯珠朝向所述复眼透镜模组布置。3. 如权利要求2所述的UV LED光源结构，其特征在于，多个所述UV LED灯珠与所述复 眼透镜模组之间设有平行光透镜支架，所述平行光透镜支架上设有多个平行光透镜，多个 所述平行光透镜分别对应与多个所述UV LED灯珠正对布置。4. 如权利要求2或3所述的UV LED光源结构，其特征在于，所述灯头壳的前端设有开 口的水冷腔，所述水冷腔的开口封盖有盖板，所述盖板上设有两分别连通所述水冷腔的接 口，两所述接口分别通过水管连接于水冷机构。5...
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