本实用新型专利技术涉及曝光机的技术领域，公开了UV LED光源结构和平行光曝光机，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，沿UV LED光源结构的光路方向，UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜依序布置；UV LED中设有UV LED灯珠，UV LED灯头与复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节UV LED灯头与复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。UV LED灯头放置在复眼透镜模组前方，利用复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，形成了用于曝光的平行光；将该UV LED光源结构运用在现有的平行光曝光机中，不需要客户更新换代设备，不需要大规模改造设备，花最少的代价，即可以获得低温、节能、环保、安全的采用UV LED光源结构的曝光机，避免耽误生产，并且大大降低成本。
【技术实现步骤摘要】
UV LED光源结构和平行光曝光机
本技术涉及曝光机的
，尤其涉及UV LED光源结构和包括该UV LED 光源结构的平行光曝光机。
技术介绍
参照图1所示，为传统平行光曝光机的光源结构1，传统的平行光曝光机，其采用 超高压汞灯10作为光源，该超高压汞灯10首先经过一个椭圆反射镜11聚光，光线汇聚到 一个第一平面镜12上，第一平面镜12把超高压汞灯10光线中热量高的IR光线（红外光 线）部分透射出去，并将超高压汞灯10中的UV光线（紫外光线）反射汇聚到第二平面镜 13上，第二平面镜13再进一步把UV光线几乎无损耗得反射汇聚到一个复眼透镜14上，复 眼透镜14学名叫平行光凸透镜阵列，也叫蝇眼透镜，英文名为fly eyes ;经由复眼透镜14 出来的光线汇聚在第三平面镜15上，并由第三平面镜15反射后，扩散到一个球面镜16上， 球面镜16反射出大面积均匀度高、准直度好（平行半角约1. 5° -5° )的平行光线，平行 光线通过光掩膜板17,即可在曝光玻璃18上显影，从而完成整个曝光的过程。 由上述可知，传统的平行光曝光机中都是采用超高压汞灯光源结构1，其超高压汞 灯10通过复杂的光学结构达到产生大面积平行光线的目的，但是，汞灯10的寿命通常只有 1000个小时左右，因此，使用1-2个月后，则需要替换一次光源。而现有技术中，UV LED (紫 外线发光二极管）的发光效率在有了很大的提升，以日本日亚公司、韩国首尔公司、韩国LG 公司、台湾旭明公司、台湾联盛公司等为代表的365匪波长UV LED的晶元发光效率从前几 年的〈15%，到目前的接近40%，并且，UV LED与超高压汞灯相比，具有以下优势： 1)、UV LED的寿命在20000个小时以上，因此可以避免频繁更换光源的麻烦； 2)、UV LED有效光谱范围窄，其光利用率高，更加节能； 3)、UV LED不含萊，不会产生臭氧，更加环保； 4)、UV LED光源驱动电源中不含有高压，更加安全。 现时科技的发展使得LED UV光源替代超高压汞灯光源成为可能。近两年来，有三 种替代应用方案正在兴起，第一种是以深圳市蓝谱里克科技、深圳市大川光电等为代表的 UV LED扫描式平行光曝光光源结构；第二种是以法国A0TUMARK公司为代表的震动补光式 大面积UV LED平行光曝光光源结构；第三种是以大日本网屏公司为代表的直显式UV LED 曝光光源结构。 上述的三种UV LED光源替代超高压汞灯光源方案，其使用在平行光曝光机中，都 需要彻底改变传统曝光机内部的光学结构，以达到能产生平行光的效果，这样，对于将传统 的超高压汞灯光源结构1的曝光机，其要实现方便快捷的改装成UV LED光源结构的曝光 机，则是无能为力的，其需要重新设计获得平行光的整套光学结构，来完全替代现有的曝光 机内的光学结构，才能够实现获得平行光的效果。但是，目前市面上约99%以上的曝光机都 是采用传统的超高压汞灯光源结构1，并且，用于获得平行光的整套光学结构的价格非常昂 贵，几乎占到整个曝光机成本的1/3,这样，不仅成本较高，且重新设计光学结构，也导致曝 光机结构复杂，且需要中断生产导致耽误生产的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供uv LED光源结构，旨在解决现有技术中的平行光曝光 机采用UV LED光源，需要重新设计光学结构，导致成本过高、结构复杂以及耽误生产的问 题。 本技术是这样实现的，UV LED光源结构，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平 面镜以及球面镜，沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平 面镜以及球面镜依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述 复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。 进一步的，所述UV LED灯头包括灯头壳，所述灯头壳的后端中设有开口的安装腔， 所述安装腔内设有电路板，所述电路板上连接有多个所述UV LED灯珠，所述灯珠朝向所述 复眼透镜模组布置。 进一步的，多个所述UV LED灯珠与所述复眼透镜模组之间设有平行光透镜支架， 所述平行光透镜支架上设有多个平行光透镜，多个所述平行光透镜分别对应与多个所述UV LED灯珠正对布置。 进一步的，所述灯头壳的前端设有开口的水冷腔，所述水冷腔的开口封盖有盖板， 所述盖板上设有两分别连通所述水冷腔的接口，两所述接口分别通过水管连接于水冷机 构。 进一步的，所述水冷腔的底部凸设有多个相邻布置的翅片通道。 进一步的，所述灯头壳中嵌入有用于监测所述灯头壳温度的温度传感器。 进一步的，所述调节机构包括多个相邻平行布置的导向杆，所述导向杆的一端固 定连接于所述复眼透镜模组，另一端朝所述UV LED灯头，且活动穿设于所述UV LED灯头 中。 进一步的，所述灯头壳的端角处设有导向孔，所述导向杆活动穿设于所述导向孔 中，且所述灯头壳上设有锁定孔，所述锁定孔与所述导向孔呈垂直布置，且锁定孔中设有用 于顶住所述导向杆的锁定螺杆。 进一步的，所述UV LED光源结构包括用于给UV LED灯头供电的驱动器，所述驱动 器包括具有内腔的壳体，所述内腔中设有开关电源、驱动电路板以及电性连接于所述温度 传感器且接受其温度信号的温度控制板，所述壳体的侧壁中设有可现实UV LED灯头温度信 息的显示屏。 本技术还提供了平行光曝光机，其包括上述的UV LED光源结构。 与现有技术相比，本技术提供的UV LED光源结构，其直接将UV LED灯头放置 在复眼透镜模组前方，UV LED灯珠发出的光线经由复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，则形 成了用于曝光的平行光；将该UV LED光源结构运用在现有的平行光曝光机中，其可以减去 现有技术中平行光曝光机中的椭圆反射镜以及两个平面镜，使得其光学结构更加简单，不 需要客户更新换代设备，也不需要大规模改造设备，花最少的代价，即可以使得热量大、功 耗高、有污染的采用超高压汞灯的曝光机改造成低温、节能、环保、安全的采用UV LED光源 结构的曝光机，避免耽误生产，并且大大降低成本。 采用上述UV LED光源结构的平行光曝光机，其避免采用超高压汞灯作为光源，具 有低温、节能、环保、安全等优点，其相对节省器件使用，可以节约生产成本及空间。 【附图说明】 图1是现有技术中的平行光曝光机的光源结构的主视示意图； 图2是本技术实施例提供的UV LED光源结构的主视示意图； 图3是本技术实施例提供的UV LED光源结构的部分立体示意图； 图4是本技术实施例提供的UV LED灯头与复眼透镜模组之间的立体爆炸示 意图一； 图5是本技术实施例提供的UV LED灯头与复眼透镜模组之间的立体爆炸示 意图二； 图6是本技术实施例提供的驱动器的立体爆炸图一； 图7是本技术实施例提供的驱动器的立体爆炸图二。 【具体实施方式】 为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及本文档来自技高网...
【技术保护点】
UV LED光源结构，其特征在于，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。
【技术特征摘要】
1. UV LED光源结构，其特征在于，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜， 沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜 依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述 复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组之 间距离的调节机构连接。2. 如权利要求1所述的UV LED光源结构，其特征在于，所述UV LED灯头包括灯头壳， 所述灯头壳的后端中设有开口的安装腔，所述安装腔内设有电路板，所述电路板上连接有 多个所述UV LED灯珠，所述灯珠朝向所述复眼透镜模组布置。3. 如权利要求2所述的UV LED光源结构，其特征在于，多个所述UV LED灯珠与所述复 眼透镜模组之间设有平行光透镜支架，所述平行光透镜支架上设有多个平行光透镜，多个 所述平行光透镜分别对应与多个所述UV LED灯珠正对布置。4. 如权利要求2或3所述的UV LED光源结构，其特征在于，所述灯头壳的前端设有开 口的水冷腔，所述水冷腔的开口封盖有盖板，所述盖板上设有两分别连通所述水冷腔的接 口，两所述接口分别通过水管连接于水冷机构。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：张河生，唐威，张春玲，
申请(专利权)人：张河生，
类型：新型
国别省市：广东;44
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