【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种四叶像差变形镜装置,包括光学元件(1)和可变形镜框(2),其特征在于,还包括八个致动器(3)、八个位移传感器(4)、上固定板(6)和下固定板(5);所述光学元件(1)与可变形镜框(2)之间通过胶粘或压紧的方式组成镜框组件,所述上固定板(6)和下固定板(5)分别通过螺钉固定在可变形镜框(2)上,所述上固定板(6)上设置有四个周向90°分布的致动器(3),所述下固定板(5)上设置有四个周向90°分布的致动器(3),所述上固定板(6)和下固定板(5)上的八个致动器(3)周向45°分布,所述致动器(3)沿光学元件(1)的光轴方向设置,输入位移垂直作用在可变形镜框(2)上;所述八个位移传感器(4)分别设置在上固定板(6)和下固定板(5)上,与所述八个致动器(3)相对。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘震宇,赵磊,谢军,杨怀江,隋永新,张巍,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林;22
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