扫描式UV-LED曝光装置制造方法及图纸

一种扫描式UV-LED曝光装置，包括曝光单元、UV-LED照明单元及循环周期移动环，是运用一以固定速率做周期循环的UV-LED曝光光源，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，并以错位排列增加发光二极管数组光源对于辐射照度的均匀性，以增加曝光均匀性，进而有效提高产品良率；此外，本发明专利技术透过上下曝光台与循环周期移动环的结构设计，可使装置体积缩小，节省生产空间与能源消耗而降低生产成本，利用循环周期移动环带动发光二极管数组光源，使工件在上下曝光台与循环周期移动环之间充分利用空间而可同时进行上下曝光台的曝光，可节省能源并有效地相对增加产速，以提高生产效能。

【技术实现步骤摘要】
扫描式UV-LED曝光装置
本专利技术有关于一种扫描式UV-LED曝光装置，尤指涉及一种具有大面积分割区域曝光功能的LED曝光机，特别指以一固定速率做周期循环的UV-LED曝光光源，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率，以增加曝光均匀性的目的。
技术介绍
以往非UV-LED系统的曝光机台大，所占生产空间也大，导致投资成本相对也增力口。而目前使用紫外线(UV)进行曝光的机台，其曝光制程在未作特殊改良的情况下，曝光光源对于曝光目标区域采分割区域曝光，当光源在不同分割区域移动时，由于须重复进行移动光源一煞车一移动光源的动作，因此容易造成因扫描速度不规律，导致UV光源不稳定，而此种针对某一个LED曝光位置的方式，亦容易使其辐射照度不够而产生曝光均匀性不足的问题，进而降低产品良率；此外，已知技术进行曝光制程时，其光源需要一直开启，故其UV光源寿命短，且在每一次中断后的启动前，皆需要进行暖灯预备动作，以至于光源开/关(0N/0FF)亦不易控制。 鉴于已知技术中光源重叠照明区域的均匀性不足的问题，故，一般无法符合使用者于实际使用时达到增加曝光均匀性而提升能量使用效率目的的所需。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，针对上述现有技术的不足，提供一种扫描式UV-LED曝光装置，以固定速率做周期循环的UV-LED曝光光源，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率，增加曝光均匀性的目的。 本专利技术的次要目的在于，提供一种可使装置体积缩小，节省生产空间与能源消耗、降低生产成本并提高生产效能的扫描式UV-LED曝光装置。 为达以上目的，本专利技术所采用的技术方案是:一种扫描式UV-LED曝光装置，包括曝光单元，其特点是，还包括UV-LED照明单元及循环周期移动环，其中，该曝光单元包含一组彼此间隔的上曝光台与下曝光台，该上下曝光台相对应的两平面用以置放涂布有光阻层的基板，该光阻层由光敏材料组成形成于该基板之上，并以置放该基板的两平面作为线性目标曝光区域；该UV-LED照明单元由二维方向布置的发光二极管数组光源组成，且该发光二极管数组光源由数个彼此平行排列的UV-LED线型灯条构成，而该些UV-LED线型灯条彼此间相互区隔，每一 UV-LED线型灯条包含数颗直线排列于灯条的纵向区域的发光二极管，且每一 UV-LED线型灯条的纵向与该上、下曝光台的线性目标曝光区域的纵向轴线相互垂直；该循环周期移动环设置于该曝光单元中该上曝光台及该下曝光台间隔的中央位置，且其外侧设置以间隔铺设该UV-LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，该循环周期移动环于进行曝光制程时无需停止，而以一固定速率旋转，移动环外侧该UV-LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，以利该发光二极管数组光源以循环扫描方式进行该上、下曝光台的线性目标曝光区域的曝光。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，所述循环周期移动环包括:主动轮，设置于该循环周期移动环的一端，以驱动该循环周期移动环的旋转；托带轮群，设置于该循环周期移动环的内侧，包含数个托带轮，以承载该循环周期移动环以及该循环周期移动环外侧UV-LED线型灯条的重量，并辅助该循环周期移动环旋转顺畅；诱导轮，设置于该循环周期移动环相对该主动轮的另一端，以辅助该循环周期移动环的旋转；以及主动散热组件，设置于该循环周期移动环内部，以对该循环周期移动环进行主动散热。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该循环周期移动环是由该主动轮与该诱导轮而形成上下两层的水平循环周期移动结构。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该些托带轮彼此间隔地设置于该循环周期移动环的内侧，并与该主动轮及该诱导轮之间具有间距区隔。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该主动散热组件为水冷式散热组件或气冷式散热组件。 上述扫描式UV-LED曝光装置于一具体实施例中，该发光二极管由二次光学组件以及发光二极管光源所组成。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该二次光学组件为透镜或反射镜。 上述扫描式UV-LED曝光装置于一具体实施例中，该UV-LED线型灯条为透镜式线型灯条或反射镜式线型灯条。 上述扫描式UV-LED曝光装置于一具体实施例中，该发光二极管数组上方进一步设有扩散板，该扩散板覆盖于各发光二极管的上方。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该扩散板以一整片结构覆盖于各发光二极管的上方。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该扩散板以一肋状结构覆盖于各发光二极管的上方。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该扩散板以数个条状结构覆盖于各发光二极管的上方。 上述扫描式UV-LED曝光装置于前述实施例中，该扩散板为耐UV透光材,并可为石英或玻璃。 上述扫描式UV-LED曝光装置于一具体实施例中，该循环周期移动环于两端点进行向上旋转及向下旋转时，其外侧UV-LED线型灯条在向上旋转处及向下旋转处的各发光二极管可进一步控制为关闭状态。 上述扫描式UV-LED曝光装置于一具体实施例中，该些UV-LED线型灯条以平行该线性目标曝光区域的纵向轴线方向排列。 上述扫描式UV-LED曝光装置于一具体实施例中，该些UV-LED线型灯条中相邻列内的发光二极管错位排列。 【附图说明】 图1是本专利技术的结构示意图。 图2是本专利技术一具体实施例的UV-LED照明单元的俯视示意图。 图3是本专利技术另一具体实施例的UV-LED照明单元的俯视示意图。 标号说明扫描式UV-LED曝光装置100曝光单元10 上曝光台11下曝光台12 线性目标曝光区域13UV-LED照明单元20 发光二极管数组光源21UV-LED线型灯条22 发光二极管23扩散板24 二次光学组件231发光二极管光源232 循环周期移动环30主动轮31 托带轮群32托带轮321 诱导轮33主动散热组件34 【具体实施方式】 请参阅图1至图3所示，分别为本专利技术的结构示意图、本专利技术一具体实施例的UV-LED照明单元的俯视示意图、及本专利技术另一具体实施例的UV-LED照明单元的俯视示意图。如图所示:本专利技术为一种扫描式UV-LED曝光装置，系具有大面积分割区域曝光功能的LED曝光机，可使光源照射的照明光通过光罩所得到的透射光，对应于工件的目标曝光区域做投影照射。该扫描式UV-LED曝光装置100至少包括曝光单元10、UV-LED照明单元20以及循环周期移动环30所构成。 上述所提的曝光单元10包含一组彼此间隔的上曝光台11与下曝光台12，其相对应的两平面用以置放涂布有光阻层的基板(图中未示)，该光阻层由光敏材料组成并形成于该基板之上，并以置放该基板的两平面作为线性目标曝光区域13。 上述所提的UV-LED照明单元20由二维方向布置的发光二极管数组光源21组成，且该发光二极管数组光源21由数个彼此平行排列的UV-LED线型灯条22构成，而该些UV-LED线型灯条22彼此间相互区隔，每一 UV-LED线型灯条22包含数颗直线排列于灯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描式UV‑LED曝光装置，包括曝光单元，其特征在于，还包括UV‑LED照明单元及循环周期移动环，其中，该曝光单元包含一组彼此间隔的上曝光台与下曝光台，该上下曝光台相对应的两平面用以置放涂布有光阻层的基板，该光阻层由光敏材料组成形成于该基板之上，并以置放该基板的两平面作为线性目标曝光区域；该UV‑LED照明单元由二维方向布置的发光二极管数组光源组成，且该发光二极管数组光源由数个彼此平行排列的UV‑LED线型灯条构成，而该些UV‑LED线型灯条彼此间相互区隔，每一UV‑LED线型灯条包含数颗直线排列于灯条的纵向区域的发光二极管，且每一UV‑LED线型灯条的纵向与该上、下曝光台的线性目标曝光区域的纵向轴线相互垂直；该循环周期移动环设置于该曝光单元中该上曝光台及该下曝光台间隔的中央位置，且其外侧设置以间隔铺设该UV‑LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，该循环周期移动环于进行曝光制程时无需停止，而以一固定速率旋转，移动环外侧该UV‑LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，以利该发光二极管数组光源以循环扫描方式进行该上、下曝光台的线性目标曝光区域的曝光。

【技术特征摘要】
1.一种扫描式UV-LED曝光装置，包括曝光单元，其特征在于，还包括UV-LED照明单元及循环周期移动环，其中， 该曝光单元包含一组彼此间隔的上曝光台与下曝光台，该上下曝光台相对应的两平面用以置放涂布有光阻层的基板，该光阻层由光敏材料组成形成于该基板之上，并以置放该基板的两平面作为线性目标曝光区域； 该UV-LED照明单元由二维方向布置的发光二极管数组光源组成，且该发光二极管数组光源由数个彼此平行排列的UV-LED线型灯条构成，而该些UV-LED线型灯条彼此间相互区隔，每一 UV-LED线型灯条包含数颗直线排列于灯条的纵向区域的发光二极管，且每一UV-LED线型灯条的纵向与该上、下曝光台的线性目标曝光区域的纵向轴线相互垂直； 该循环周期移动环设置于该曝光单元中该上曝光台及该下曝光台间隔的中央位置，且其外侧设置以间隔铺设该UV-LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，该循环周期移动环于进行曝光制程时无需停止，而以一固定速率旋转，移动环外侧该UV-LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，以利该发光二极管数组光源以循环扫描方式进行该上、下曝光台的线性目标曝光区域的曝光。2.如权利要求1所述的扫描式UV-LED曝光装置，其特征在于，所述循环周期移动环包括: 主动轮，设置于该循环周期移动环的一端，以驱动该循环周期移动环的旋转； 托带轮群，设置于该循环周期移动环的内侧，包含数个托带轮，以承载该循环周期移动环以及该循环周期移动环外侧UV-LED线型灯条的重量，并辅助该循环周期移动环旋转顺畅； 诱导轮，设置于该循环周期移动环相对该主动轮的另一端，以辅助该循环周期移动环的旋转；以及 主动散热组件，设置于该循环周期移动环内部，以对该循环周期移动环进行主动散热。3.如权利要求2所述的扫描式UV-LED曝光装置，其特征在于，所述循环周期移动环是由该主动轮与该诱导轮而形成上下两层的水平循环周期移动结构。4.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈奇夆，
申请(专利权)人：中央大学，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71