【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池石墨舟
[〇〇〇1] 本技术涉及建材领域,具体说是一种太阳能电池石墨舟。
技术介绍
目前,光伏市场对晶硅电池外观要求越来越高,由于色差问题导致许多高效电池 片不能满足市场外观要求,色差问题主要是指每片电池片存在颜色差异,主要由硅片薄膜 厚度不同导致。现阶段管式PECVD和板式PECVD均存在镀膜色差问题,管式PECVD尤为严 重,已成为影响产品良率的重要因素之一。管式镀膜色差主要和进气和加热方式有关。目前 气体进气口分布在靠近炉口的不锈钢圈上,因此相对于石墨舟中间,靠近石墨舟外侧区域 气体流量较大;炉管采取外部加热控温,石墨舟外侧靠近反应腔壁,因此相对于石墨舟中间 位置,石墨舟外侧温度更高。以上原因导致现阶段镀膜存在的主要问题是:同一石墨舟内, 最外侧舟叶镀膜膜厚偏厚,最内侧舟叶膜厚偏薄,严重时膜厚差异达到5%以上。
技术实现思路
技术目的:从改变石墨舟结构入手提出解决方案,并提供一种太阳能电池石 墨舟,很好地改善了石墨舟的镀膜均匀性,并解决了现有石墨舟镀膜存在的外侧舟叶膜厚 偏厚、内侧舟叶膜厚偏薄的问题。 技术方案:为解决上述技术问题,本 ...
【技术保护点】
一种太阳能电池石墨舟,包括两个以上的舟叶,其特征在于:舟叶间距为渐变式结构,舟叶间距由石墨舟最外侧舟叶(1)向石墨舟最中心舟叶(2)依次减小:舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶(1)的一侧到石墨舟最中心舟叶(2)分别用D1、D2、D3...Dn表示,舟叶间距从石墨舟最外侧舟叶(1)的另一侧到石墨舟最中心舟叶(2)分别用D1’、D2’、D3’...Dn’表示,其中,Dn与Dn’相邻;其中, D1=D1’>D2=D2’ >D3=D3’ ...>DN=DN’;且D1 ‑D2 =D2 ‑D3 = ... =Dn‑1 –Dn =N。
【技术特征摘要】
1. 一种太阳能电池石墨舟,包括两个以上的舟叶,其特征在于:舟叶间距为渐变式结 构,舟叶间距由石墨舟最外侧舟叶(1)向石墨舟最中心舟叶(2)依次减小:舟叶间距从石墨 舟最外侧舟叶(1)的一侧到石墨舟最中心舟叶(2)分别用Dp D2、D3. . .Dn表示,舟叶间距从 石墨舟最外侧舟叶(1)的另一侧到石墨舟最中心舟叶(2)分别用Di,、D 2,、D3,. . . Dn,表不,其 中,Dn 与...
【专利技术属性】
技术研发人员:张辉,杨红冬,刘仁中,张斌,邢国强,
申请(专利权)人:奥特斯维能源太仓有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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