加工夹具、加工装置及加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态大概涉及加工夹具、加工装置及加工方法。提供能够提高加工精度的加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态的加工夹具具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部，以及分别连接在上述连接部两端的布线部。

【技术实现步骤摘要】
本申请以日本专利申请2013-059184 (申请日：03/21/2013)为基础，从该申请享 受优先权利益。本申请通过参照该申请包含该申请的全部内容。
后述实施形态大概涉及。
技术介绍
在电子元件或精密加工零件等机械加工中，有时进行要求高的加工精度的沟槽加 工。 在要求高的加工精度的沟槽加工中，有必要准确地知道刀片的刀尖位置。 因此，提出过设置光学地检测刀片的刀尖位置的检测部，在机械加工过程中随时 检测刀片的刀尖位置的技术。 但是，在加工物与加工装置的保持部之间设置粘接带或加工夹具等的情况下，存 在粘接带或加工夹具等的厚度尺寸的偏差成为加工后的沟槽的深度尺寸的误差的原因的 担忧。
技术实现思路
本专利技术想要解决的问题就是要提供一种能够提高加工精度的加工夹具、加工装置 及加工方法。 实施形态的加工夹具具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；检测部，具 备具有导电性、设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部，以及分别连接在上述连接 部两端的布线部。 根据上述结构的，能够提供能够提高加工精度的 加工夹具、加工装置以及加工方法。 【附图说明】 图1为用来举例说明第1实施形态的加工夹具1的示意图； 图2 (a)、（b)为图1中的A-A线剖视图； 图3为用来举例说明检测部3的其他配设形态的示意图； 图4为用来举例说明绝缘层4的其他配设形态的示意图； 图5为用来举例说明第2实施形态的加工夹具11的示意图； 图6为用来举例说明加工装置50的示意图； 图7为用来举例说明刀片53b在Z方向移动量的修正的示意图； 图8为用来举例说明沟槽加工中的误差要因的示意图。 【具体实施方式】 下面参照附图举例说明实施形态。 另外，在各附图中，同样的构成要素添加相同的附图标记，详细的说明适当省略。 并且，各图中箭头X、Y、Z表示互相正交的三个方向。例如，箭头X、Y表示与基部2的面2a 平行的方向，Z表不与基部2的面2a垂直的方向。 [第1实施形态] 图1为用来举例说明第1实施形态的加工夹具1的示意图。 图2 (a)、（b)为图1中的A-A线剖视图。 图3为用来举例说明检测部3的其他配设形态的示意图。 图4为用来举例说明绝缘层4的其他配设形态的示意图。 如图1所示，在加工夹具1上设置有基部2和检测部3。 基部2呈板状。在基部2的一侧设置有面2a。并且，在面2a的中央部分设置有保 持加工物的保持区域2c。基部2的与保持区域2c相反一侧的面2b成为保持在后述加工装 置50的保持部52上的面。 基部2的外形尺寸和形状没有特别限制，能够根据被保持的加工物100的大小和 形状适当变更。 在基部2的保持区域2c中能够设置保持加工物100的装置。 例如，能够在保持区域2c设置贯穿基部2的厚度方向（Z方向）的孔，使用真空泵 等通过孔吸附保持加工物100。这种情况下，也可以用多孔质材料形成基部2的保持区域 2c的部分。 并且，也可以在基部2的内部设置电极，利用静电力吸附保持加工物100。 并且，还可以在基部2的保持区域2c设置粘接层，利用粘接力保持加工物100。 并且，也可以用玻璃等透光性材料形成基部2,用通过紫外线照射容易剥离的粘接 剂固定基部2的保持区域2c和加工物100。 另外，保持加工物100的装置并不局限于举例说明过的装置，能够适当变更。 如图2 (a)所示，在检测部3与基部2之间没有设置绝缘层4的情况下，基部2用 绝缘性材料形成。这种情况下，优选使用尺寸稳定性高的绝缘性材料。作为尺寸稳定性高 的绝缘性材料，能够列举例如玻璃、陶瓷等。 如图2 (b)所示，在在检测部3与基部2之间设置了绝缘层4的情况下，基部2的 材料没有特别限制。但是，优选使用尺寸稳定性高的材料。作为尺寸稳定性高的材料，能够 列举金属、玻璃、陶瓷等。 检测部3检测后述的刀片(旋转刃）53b的刀尖在Z方向（加工物100的厚度方向） 上的位置。 检测部3具有设置在保持区域2c周边的连接部3a以及分别连接在连接部3a两 端的2个布线部3b。 优选连接部3a的基部2侧的面和加工物100的设置面100a实际上位于同一平面。 另外，在本说明书中，实际上同一平面上意味着允许±0. 5μ m左右的差。 布线部3b的与连接部3a连接的一侧的相反侧的端部从基部2的边缘向外面突 出。另外，也可以像图3所示那样，与连接部3a连接的一侧的相反侧的端部设置在基部2 的边缘附近，电气布线13等连接到设置在基部2的边缘附近的端部。 连接部3a及布线部3b的材料只要是导电性材料就没有特别限制。连接部3a及 布线部3b的材料能够采用例如金属等。 连接部3a及布线部3b的形成方法没有特别限制。连接部3a及布线部3b能够例 如用丝网印刷法或电镀法等一体形成。 检测部3至少设置一个。 如果设置多个检测部，能够提高检测精度，进而提高加工精度。 另外，有关检测精度的提1?的详情后面叙述。 在设置多个检测部3的情况下，能够夹着保持区域2c设置多个连接部3a。 在具有X方向和Y方向的尺寸长的平面形状(例如正方形）的加工物100的情况 下，如图1所示，能够分别在加工物100的四个角的各自的附近至少各设置一个连接部3a。 艮P，连接部3a能够在加工物100的四个角一侧夹着保持区域2c设置多个。 根据这样的形态，能够检测包括后述的加工装置50的保持部52的平面度和平行 度的误差的刀片53b的刀尖在Z方向上的位置。 并且，在具有X方向或Y方向的尺寸长的平面形状(例如长方形）的加工物100的 情况下，如图3所示，能够分别在加工物100的长度方向的两端的各自的附近至少各设置一 个连接部3a。即，能够在加工物100的长度方向上夹着保持区域2c设置多个连接部3a。 根据这样的形态，能够检测包括后述的加工装置50的保持部52的平行度的误差 的刀片53b的刀尖在Z方向的位置。 另外，检测部3的配设形态和配设数量并不局限于示例，加工物100的形状和外形 尺寸能够根据必要的检测精度等适当变更。 如图2 (b)所示，绝缘层4至少能够设置在连接部3a与基部2之间。 如上所述，优选连接部3a的基部2侧的面与加工物100的设置面100a实际上在 同一平面上。 因此，能够在例如基部2的面2a的设置连接部3a的区域的上面以及基部2的保 持区域2c的上面设置绝缘层4。这种情况下，能够在设置在基部2的保持区域2c的上面的 绝缘层4上设置用来吸附保持加工物100的孔。 并且，如图4所示，在基部2的保持区域2c从面2a突出的情况下，只要使绝缘层 4的上表面与基部2的保持区域2c实际上在同一平面上就可以。 绝缘层4的材料只要是绝缘性材料就没有特别限制。 如果设置绝缘层4,能够扩大有关基部2的材料选择的自由度。 并且，如后面将要叙述的那样，在检测刀片53b的刀尖在Z方向的位置之际，连接 部3a被切断。因此，如果设置绝缘层4,能够抑制损伤基部2。 并且，通过将被切断的连接部3a、布线部3b以及绝缘层4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工夹具，具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；以及检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部、和分别连接在上述连接部两端的布线部。

【技术特征摘要】
2013.03.21 JP 2013-0591841. 一种加工夹具，具备： 基部，在一个面上具有保持加工物的区域；以及 检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部、和分别连接 在上述连接部两端的布线部。2. 如权利要求1所述的加工夹具，上述检测部设有多个。3. 如权利要求1所述的加工夹具，上述连接部夹着保持上述加工物的区域设有多个。4. 如权利要求1所述的加工夹具，在保持上述加工物的区域的周边还具有倾斜面； 上述连接部设于上述倾斜面。5. 如权利要求4所述的加工夹具，上述倾斜面沿上述基部的厚度尺寸随着向上述基部 的边端变薄的方向倾斜。6. 如权利要求4所述的加工夹具，在上述倾斜面上设置有多个上述检测部。7. 如权利要求1所述的加工夹具，上述连接部在上述加工物的长度方向上夹着保持上 述加工物的区域设有多个。8. 如权利要求1所述的加工夹具，上述连接部分别在保持上述加工物的区域的长度方 向的两端的各自的附近至少各设有一个。9. 如权利要求1所述的加工夹具，上述连接部在上述加工物的四个角一侧夹着保持上 述加工物的区域设有多个。10. 如权利要求1所述的加工夹具，上述连接部分别在保持上述加工物的区域的四个 角的各自的附近至少各设有一个。11. 如权利要求1所述的加工夹具，还具备设置在上述连接部与上述基部之间的绝缘 层。12. 如权利要求11所述的加工夹具，上述基部由从金属、玻璃、陶瓷构成的组中选择的 至少一种材料形成。13. 如权利要求1所述的加工夹具，上述基部由尺寸稳定性高的绝缘性材料形成。14. 如权利要求13所述的加工夹具，上述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：须藤正昭，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP