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本发明提供一种加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态大概涉及加工夹具、加工装置及加工方法。提供能够提高加工精度的加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态的加工夹具具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；检测部，具有导电性，具备设置在保持上...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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