【技术实现步骤摘要】
—种存储器用化学抛光组合物
本专利技术涉及一种存储器用化学抛光组合物。
技术介绍
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种存储器用化学抛光组合物。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是:一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，调节剂1-3份，水性介质50-55份，纳米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-16份，偶联剂1-7份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.5份。 本专利技术的有益效果是:制备简单，抛光效果明显，性能稳定。 【具体实施方式】 实施例1一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，调节剂1-3份，水性介质50-55份，纳米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-1...
【技术保护点】
一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1‑3份，有机添加剂2‑5份，调节剂1‑3份，水性介质50‑55份，纳米石墨粉1‑2份，氨水7‑13份，氢氧化铝7‑13份，空心玻璃微珠9‑13份，山梨醇11‑18份，聚丙烯7‑10份，聚乙烯9‑16份，甘油1‑8份，二本甲酮7‑16份，偶联剂1‑7份，甲基三乙氧基硅烷14‑19份，钛酸酯偶联剂1‑2份，纳米银0.5份。
【技术特征摘要】
1.一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，调节剂1-3份，水性介质50-55份，纳米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份...
【专利技术属性】
技术研发人员：范向奎，
申请(专利权)人：青岛宝泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。